CN205711033U - 一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台。该装置通过螺栓将两块石墨平台连接在一起，并将坩埚固定于两块石墨平台之间，当石墨受热膨胀时，由于螺栓的固定，石墨平台不会发生位置平移，从而保障了坩埚位置的稳定性。另外，该坩埚平台具有结构简单，使用方便等优点。
Description
技术领域
本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台。
背景技术
人造SiC通常是在坩埚中进行生产的，坩埚是通过石墨平台进行支撑的，石墨平台起到均热作用，在SiC生长过程中，需要反复对坩埚进行加热和冷却，石墨平台也需要经历反复不断的膨胀和收缩，石墨平台的膨胀和收缩会导致坩埚的中心位置发生偏移，使得坩埚在使用过程中不稳定，容易晃动，一旦坩埚在使用过程中发生晃动，极易导致坩埚内的温场不均匀，严重影响SiC的质量。
基于上述问题，设计发明一种新型的SiC生长坩埚平台就显得尤为必要。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本申请提供了一种新型的SiC生长坩埚平台，该装置通过螺栓将两块石墨平台连接在一起，并将坩埚固定于两块石墨平台之间，当石墨受热膨胀时，由于螺栓的固定，石墨平台不会发生位置平移，从而保障了坩埚位置的稳定性。另外，该坩埚平台具有结构简单，使用方便等优点。
为了实现上述目的，本申请采取的技术方案如下：
一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台，包括第一石墨平台和第二石墨平台，所述的第一石墨平台和第二石墨平台通过两个螺栓连接在一起，两根螺栓分别贯穿第一石墨平台和第二石墨平台的两侧，在第二石墨平台的一侧为螺帽，在第一石墨平台的一侧为螺母；在螺帽与第二石墨平台之间设有弹簧；
所述的第一石墨平台和第二石墨平台放置在不锈钢底座上，且不锈钢底座上开设有通气孔，通气孔起到通风散热的作用；
所述的第一石墨平台和第二石墨平台相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆正好形成放置坩埚的空间；
所述的坩埚上设置有通电钮，用于通电而对坩埚加热；
由于两个石墨平台通过螺栓连接在一起，对石墨平台起到了固定作用，而第二石墨平台外侧弹簧的设置，使得石墨平台受热膨胀时，会想着外侧移动，而弹簧能缓冲这种压力，而避免了螺帽对石墨平台的挤压，也避免了石墨平台对坩埚的挤压，避免了坩埚由于受压过大而破碎；
在不锈钢底座上设置通风孔，起到通风散热的作用。
综上所述，本申请提供的SiC生长坩埚，具有稳定性好，通风散热性能优良，结构简单，使用方便等优点。
附图说明
图1为一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台主视示意图；
图2为一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台俯视示意图；
附图标记
图中1为第一石墨平台，2为螺栓，3为第二石墨平台，4为螺帽，5为弹簧，6为不锈钢底座，7为通风孔，8为坩埚，9为通电钮。
具体实施例
实施例1
一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台，包括第一石墨平台1和第二石墨平台3，所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3通过两个螺栓2连接在一起，两根螺栓2分别贯穿第一石墨平台1和第二石墨平台3的两侧，在第二石墨平台3的一侧为螺帽4，在第一石墨平台1的一侧为螺母；在螺帽4与第二石墨平台3之间设有弹簧5；
所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3放置在不锈钢底座6上，且不锈钢底座6上开设有通气孔7，通气孔7起到通风散热的作用；
所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆正好形成放置坩埚8的空间；
所述的坩埚8上设置有通电钮9，用于通电而对坩埚加热；
由于两个石墨平台通过螺栓连接在一起，对石墨平台起到了固定作用，而第二石墨平台外侧弹簧的设置，使得石墨平台受热膨胀时，会想着外侧移动，而弹簧能缓冲这种压力，而避免了螺帽对石墨平台的挤压，也避免了石墨平台对坩埚的挤压，避免了坩埚由于受压过大而破碎；
在不锈钢底座上设置通风孔，起到通风散热的作用。
综上所述，本申请提供的SiC生长坩埚，具有稳定性好，通风散热性能优良，结构简单，使用方便等优点。
Claims (3)
1.一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台，其特征在于，包括第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)，所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)通过两个螺栓(2)连接在一起，两根螺栓(2)分别贯穿第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)的两侧，在第二石墨平台(3)的一侧为螺帽(4)，在第一石墨平台(1)的一侧为螺母；在螺帽(4)与第二石墨平台(3)之间设有弹簧(5)；所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆正好形成放置坩埚(8)的空间。
2.如权利要求1所述的稳定性能好的SiC生长坩埚平台，其特征在于，所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)放置在不锈钢底座(6)上，且不锈钢底座(6)上开设有通气孔(7)。
3.如权利要求1所述的稳定性能好的SiC生长坩埚平台，其特征在于，所述的坩埚(8)上设置有通电钮(9)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620382505.3U CN205711033U (zh) | 2016-04-29 | 2016-04-29 | 一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台 |
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| CN201620382505.3U CN205711033U (zh) | 2016-04-29 | 2016-04-29 | 一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN205711033U true CN205711033U (zh) | 2016-11-23 |
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ID=57332826
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201620382505.3U Active CN205711033U (zh) | 2016-04-29 | 2016-04-29 | 一种稳定性能好的SiC生长坩埚平台 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN205711033U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637410A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-10 | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 | 坩埚装置 |
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2016
- 2016-04-29 CN CN201620382505.3U patent/CN205711033U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637410A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-10 | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 | 坩埚装置 |
| CN106637410B (zh) * | 2016-12-30 | 2019-03-26 | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 | 坩埚装置 |
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