CN205680665U - 改善方阻均匀性的石英舟 - Google Patents

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徐义胜
黄浩
衡阳
郑旭然
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Abstract

一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板，侧板上设置有套管，两个侧板之间通过槽棒连接，槽棒上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿；所述侧板、槽棒、套管及槽齿上均开设有通孔，其中：所述侧板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟内部设置，所述槽齿上通孔的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿设置。本实用新型在石英舟实体材料部分增设通孔，增强了扩散炉管内反应气体的流动性，硅片方阻均匀性因而得到改善。

Description

改善方阻均匀性的石英舟
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产，尤其涉及一种改善方阻均匀性的石英舟。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。
现有技术中，晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括：清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试。其中，扩散制结是晶体硅太阳能电池生产过程中的一道核心工序。现有的扩散工序普遍采用高温扩散炉进行扩散，即把硅片放置在炉管中，这需要使用石英舟。现有的石英舟包括两个侧板，两侧板上设置有套管，两侧板之间通过槽棒连接，槽棒上设置有用于定位硅片的槽齿。相比于旧的200片扩散石英舟，业界现今推广的400片扩散石英舟硅片片与片之间间隙更小，不利于气流流动，方阻均匀性也因此变差，从而影响到现场的方阻管控，对于电池片的电性能也会有负面影响。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种改善方阻均匀性的石英舟。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板，侧板上设置有套管，两个侧板之间通过槽棒连接，槽棒上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿；
所述侧板、槽棒、套管及槽齿上均开设有通孔，其中：所述侧板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟内部设置，所述槽齿上通孔的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿设置。
上述方案中，所述侧板、槽棒、套管及槽齿上的通孔的内径依次递减。
上述方案中，各侧板上通孔在侧板上均匀分布，通孔的总体积占该侧板体积的10~50%。
上述方案中，各槽棒上通孔在槽棒上均匀分布，通孔的总体积占该槽棒体积的10~50%。
上述方案中，各套管上通孔在套管上均匀分布，通孔的总体积占该套管体积的10~50%。
上述方案中，各槽齿上通孔在槽齿上均匀分布，通孔的总体积占该槽齿体积的10~50%。
上述方案中，所述通孔为圆孔，所述侧板、槽棒、套管及槽齿上通孔的内径依次为10~6毫米、6~3毫米、3~1毫米、1~0.5毫米。
上述方案中，所述槽棒上通孔的轴线水平且垂直于槽棒的轴线布置。
上述方案中，所述槽齿上通孔的轴线水平且平行于槽棒的轴线布置。
上述方案中，所述通孔的截面形状不限，除了圆孔以外，也可以是方孔、多边形孔或者其他形状的通孔。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1．本实用新型在石英舟实体材料部分增设通孔，增强了扩散炉管内反应气体的流动性，硅片方阻均匀性因而得到改善；
2. 本实用新型大大减轻了重量，有利于现场的搬运等操作；
3. 本实用新型结构简单，只需在现有的石英舟上做加工即可。
附图说明
图1为本实用新型实施例一结构示意图。
图2为图1的A-A向剖视图。
图3为图1的B-B向剖视图。
图4为图3的C处放大图。
图5为图3的C处剖视放大图。
其中：1、侧板；2、套管；3、槽棒；4、槽齿；5、通孔。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例一：
参见图1~5所示，一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板1，侧板1上设置有套管2，两个侧板1之间通过槽棒3连接，槽棒3上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿4；
所述侧板1、槽棒3、套管2及槽齿4上均开设有通孔5，其中：所述侧板1、槽棒3及套管2上的通孔5朝向石英舟内部设置，所述槽齿4上通孔5的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿4设置。
所述槽棒3上通孔5的轴线水平且垂直于槽棒3的轴线布置。
所述槽齿4上通孔5的轴线水平且平行于槽棒3的轴线布置。
所述侧板1上通孔5的轴线水平且平行于槽棒3的轴线布置。
所述套管2上通孔5的轴线水平且平行于槽棒3的轴线布置。
所述侧板1、槽棒3、套管2及槽齿4上的通孔5的内径依次递减。
各侧板1上通孔5在侧板1上均匀分布，通孔5的总体积占该侧板1体积的40%。
各槽棒3上通孔5在槽棒3上均匀分布，通孔5的总体积占该槽棒3体积的30%。
各套管2上通孔5在套管2上均匀分布，通孔5的总体积占该套管2体积的25%。
各槽齿4上通孔5在槽齿4上均匀分布，通孔5的总体积占该槽齿4体积的20%。
所述通孔5为圆孔，所述侧板1、槽棒3、套管2及槽齿4上通孔5的内径依次为8毫米、5毫米、2毫米、0.8毫米。
所述通孔5的截面形状不限，除了圆孔以外，也可以是方孔、多边形孔或者其他形状的通孔5。

Claims (10)

1.一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板，侧板上设置有套管，两个侧板之间通过槽棒连接，槽棒上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿；其特征在于：
所述侧板、槽棒、套管及槽齿上均开设有通孔，其中：所述侧板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟内部设置，所述槽齿上通孔的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿设置。
2.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：所述侧板、槽棒、套管及槽齿上的通孔的内径依次递减。
3.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：各侧板上通孔在侧板上均匀分布，通孔的总体积占该侧板体积的10~50%。
4.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：各槽棒上通孔在槽棒上均匀分布，通孔的总体积占该槽棒体积的10~50%。
5.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：各套管上通孔在套管上均匀分布，通孔的总体积占该套管体积的10~50%。
6.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：各槽齿上通孔在槽齿上均匀分布，通孔的总体积占该槽齿体积的10~50%。
7.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：所述通孔为圆孔，所述侧板、槽棒、套管及槽齿上通孔的内径依次为10~6毫米、6~3毫米、3~1毫米、1~0.5毫米。
8.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：所述槽棒上通孔的轴线水平且垂直于槽棒的轴线布置。
9.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：所述槽齿上通孔的轴线水平且平行于槽棒的轴线布置。
10.根据权利要求1所述的改善方阻均匀性的石英舟，其特征在于：所述通孔的截面为多边形。
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