CN205674012U - 一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘，储液盘内设有储液槽，支撑架上设有若干输液管，上基盘顶部设有法兰盘，法兰盘上设有若干支撑柱，上基盘与储液盘之间设有若干导液管，上固结磨料磨盘上设有若干通孔，第二转轴外设有外齿轮，第二转轴外设有支撑座，支撑座上设有若干下基盘支撑，下基盘底部设有若干凹槽，下基盘上设有下固结磨料磨盘，支撑筒上设有若干内齿；本实用新型利于降低生产成本，减少晶片划痕，提高晶片质量和加工效率。

Description

一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，属于蓝宝石窗口片生产加工技术领域。

背景技术

蓝宝石（Sapphire）晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。

蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征：1.高光学透射率，蓝宝石晶体有很好的透光性能，其透光范围为0.15～7.5微米，覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段；2.高耐磨性，膨胀系数仅为5X10-6/度，熔点为2050°C，工作温度可达1900°C，具有优秀的耐热冲击和耐高温性能；3.很好的机械性能，其硬度可达莫氏9级，同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度，同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能，抗辐射性能、电绝缘性能；随着蓝宝石应用领域的发展，对蓝宝石研磨厚度去除效率、外观等要求也越来越严格。

传统的蓝宝石减薄加工采用球墨铸铁配合碳化硼研磨液加工，由于球墨铸铁材质硬，碳化硼颗粒在研磨过程中菱角容易磨损，存在加工效率低、晶片外观划痕多、返修多、研磨液用量多成本高等不足。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，利于降低生产成本，减少晶片划痕，提高晶片质量和加工效率。

本实用新型是通过如下的技术方案予以实现的：

一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘，其中，所述储液盘内设有储液槽，所述第一转轴底部与储液盘相连，所述第一转轴外设有支撑架，所述支撑架上设有若干输液管，所述若干输液管底部置于储液槽内，且绕储液盘一周均匀间隔设置，所述输液管上设有截流阀；

所述上基盘顶部设有法兰盘，所述法兰盘上设有若干支撑柱，所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置，且顶部与储液盘相连，所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管，所述导液管与储液槽连通，所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连，所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔，所述上固结磨料磨盘上设有若干通孔，所述若干通孔与导液管对应连通；

所述第二转轴置于支撑筒中心，且与轴孔相对设置，所述第二转轴外设有外齿轮，所述第二转轴外设有支撑座，所述支撑座上设有若干下基盘支撑，所述下基盘底部设有若干凹槽，所述凹槽与下基盘支撑配合，所述下基盘上设有下固结磨料磨盘，所述支撑筒上设有若干内齿，所述若干内齿与外齿轮在同一水平面上。

上述一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，其中，所述若干通孔呈多层环形相互交错设置。

上述一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，其中，所述支撑座顶部呈圆锥形，所述下基盘支撑包括支撑凸起和支撑面板。

本实用新型的有益效果为：

将切割后的蓝宝石工件薄片置于下固结磨料磨盘上，通过从输液管内输送浓度为20%研磨液，通过截流阀控制流量5L/min，至储液槽内，并从导液管流至上固结磨料磨盘通孔，控制第一转轴旋转，带动下固结磨料磨盘旋转，控制第二转轴旋转，带动与外齿轮配合的蓝宝石工件，在支撑筒内齿上旋转，实现上固结磨料磨盘和下固结磨料磨盘对蓝宝石减薄加工。

本实用新型采用固结磨料磨盘，硬度较低，表面分布的研磨通孔有利于过程中研磨液碳化硼颗粒可以镶嵌在表面，有效的减少碳化硼颗粒菱角磨损，减少晶片划痕，利于提升晶片外观质量

本实用新型相较传统球墨铸铁加工方法的30%研磨液，流量15L/min，大大减少了研磨液用量，提高装置使用寿命，降低成本，同时提高研磨效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型上固结磨料磨盘俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。

一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴1、储液盘2、上基盘3、上固结磨料磨盘4、支撑筒5、第二转轴6和下基盘7，其中，所述储液盘2内设有储液槽8，所述第一转轴1底部与储液盘2相连，所述第一转轴1外设有支撑架9，所述支撑架9上设有若干输液管10，所述若干输液管10底部置于储液槽8内，且绕储液盘2一周均匀间隔设置，所述输液管10上设有截流阀12；

所述上基盘3顶部设有法兰盘13，所述法兰盘13上设有若干支撑柱14，所述若干支撑柱14绕法兰盘13一周均匀间隔设置，且顶部与储液盘2相连，所述上基盘3与储液盘2之间设有若干导液管15，所述导液管15与储液槽8连通；

所述上固结磨料磨盘4顶部与上基盘3底部相连，所述上固结磨料磨盘4和上基盘3中心均设有轴孔16，所述上固结磨料磨盘4上设有若干通孔17，所述若干通孔17与导液管15对应连通，所述若干通孔17呈多层环形相互交错设置；

所述第二转轴6置于支撑筒5中心，且与轴孔16相对设置，所述第二转轴6外设有外齿轮18，所述第二转轴6外设有支撑座19，所述支撑座19上设有若干下基盘支撑20，所述支撑座19顶部呈圆锥形，所述下基盘支撑20包括支撑凸起21和支撑面板22；

所述下基盘7底部设有若干凹槽23，所述凹槽23与下基盘支撑20配合，所述下基盘7上设有下固结磨料磨盘24，所述支撑筒5上设有若干内齿25，所述若干内齿25与外齿轮18在同一水平面上。

本实用新型的工作方式为：

将切割后的蓝宝石工件薄片置于下固结磨料磨盘上，通过从输液管内输送浓度为20%研磨液，通过截流阀控制流量5L/min，至储液槽内，并从导液管流至上固结磨料磨盘通孔，控制第一转轴旋转，带动下固结磨料磨盘旋转，控制第二转轴旋转，带动与外齿轮配合的蓝宝石工件，在支撑筒内齿上旋转，实现上固结磨料磨盘和下固结磨料磨盘对蓝宝石减薄加工。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘，其特征为，所述储液盘内设有储液槽，所述第一转轴底部与储液盘相连，所述第一转轴外设有支撑架，所述支撑架上设有若干输液管，所述若干输液管底部置于储液槽内，且绕储液盘一周均匀间隔设置，所述输液管上设有截流阀；

所述上基盘顶部设有法兰盘，所述法兰盘上设有若干支撑柱，所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置，且顶部与储液盘相连，所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管，所述导液管与储液槽连通，所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连，所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔，所述上固结磨料磨盘上设有若干通孔，所述若干通孔与导液管对应连通；

所述第二转轴置于支撑筒中心，且与轴孔相对设置，所述第二转轴外设有外齿轮，所述第二转轴外设有支撑座，所述支撑座上设有若干下基盘支撑，所述下基盘底部设有若干凹槽，所述凹槽与下基盘支撑配合，所述下基盘上设有下固结磨料磨盘，所述支撑筒上设有若干内齿，所述若干内齿与外齿轮在同一水平面上。

2.如权利要求1所述的一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，其特征为，所述若干通孔呈多层环形相互交错设置。

3.如权利要求1所述的一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，其特征为，所述支撑座顶部呈圆锥形，所述下基盘支撑包括支撑凸起和支撑面板。