CN205650575U - 一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置 - Google Patents

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CN205650575U CN201620402878.2U CN201620402878U CN205650575U CN 205650575 U CN205650575 U CN 205650575U CN 201620402878 U CN201620402878 U CN 201620402878U CN 205650575 U CN205650575 U CN 205650575U
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魏小涛
王宏杰
周志虎
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Abstract

一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置,包括吸尘罩,吸尘罩经吸气管连接吸尘器,所述吸尘罩内设有支撑连接柱,支撑连接柱下端连接吹气罩,吹气罩底部设有若干个吹气孔,吹气罩经压缩干燥空气CDA气管连接压缩干燥空气CDA气源,所述吹气罩底部设有支撑滑动轮。解决了薄膜电池沉积炉内部表面硅粉清除的问题,具有结构简单、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特点,且降低了因硅粉导致下一批薄膜电池成膜质量变差的影响,进而提高薄膜电池产品性能及质量。

Description

一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置。
背景技术
[0002]在薄膜太阳能电池生产过程中,由于工艺本身因素,薄膜电池核心膜层成膜设备一沉积炉内部不可避免会有硅粉产生,在下一批次薄膜电池核心膜层成膜时,硅粉会影响膜层生长,导致成膜质量变差,进而影响薄膜电池产品的电性能,如果长时间不清理,硅粉会越积越多,对成膜工艺的影响越来越大。
[0003]因此在下一批薄膜电池成膜之前,需要把残留在沉积炉内部表面上的硅粉清除干净,降低硅粉在核心膜层成膜过程中对膜层质量的影响。因为沉积炉温度在250°C,为了提高设备的使用效率,不能待设备降温后进行清洁,所以常规的清洁方式无法对处于高温状态的沉积炉表面进行有效的清洁。临时措施是用改装成不锈钢吸头的吸尘器进行沉积炉内部硅粉的清洁,但是这样做会有一个较大的弊端,对沉积炉内部表面有损伤而且清洁效果不理想,得不偿失。因此对薄膜电池成膜设备一沉积炉内部表面清洁是薄膜太阳能电池生产工艺中不可忽略的问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型其目的就在于提供一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置,解决了薄膜电池沉积炉内部表面硅粉清除的问题,具有结构简单、使用方便、清理硅粉效率高、速度快的特点,且降低了因硅粉导致下一批薄膜电池成膜质量变差的影响,进而提高薄膜电池产品性能及质量。
[0005] 实现上述目的而采取的技术方案,包括吸尘罩,吸尘罩经吸气管连接吸尘器,所述吸尘罩内设有支撑连接柱,支撑连接柱下端连接吹气罩,吹气罩底部设有若干个吹气孔,吹气罩经压缩干燥空气⑶A气管连接压缩干燥空气⑶A气源,所述吹气罩底部设有支撑滑动轮。
[0006] 有益效果
[0007]与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
[0008]本实用新型采用一种新型沉积炉硅粉清洁装置,在薄膜太阳能电池生产中,当上一批薄膜电池成膜后并流向下一个工序后,利用该装置进行沉积炉内部表面硅粉的清除,降低因硅粉导致下一批薄膜电池成膜质量变差的影响,进而提高薄膜电池产品性能及质量。本装置可在高温条件下工作,清理硅粉效率高、速度快。
附图说明
[0009]下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
[0010]图1为本装置结构示意剖面图;
[0011 ]图2为本装置结构示意仰视图。
具体实施方式
[0012] 本装置包括吸尘罩7,吸尘罩7经吸气管5连接吸尘器,如图1、图2所示,所述吸尘罩7内设有支撑连接柱6,支撑连接柱6下端连接吹气罩8,吹气罩8底部设有若干个吹气孔2,吹气罩8经压缩干燥空气⑶A气管4连接压缩干燥空气⑶A气源,所述吹气罩8底部设有支撑滑动轮3。
[0013] 所述吸尘罩7、吹气罩8为半球形,吸尘罩7与吹气罩8之间空腔为吸气口 I,所述若干个吹气孔2为环形布置。
[0014]所述吸尘罩7、吹气罩8、支撑滑动轮3、压缩干燥空气CDA气管4、吸气管5、支撑连接柱6为不锈钢材质。
[0015]为了在高温条件下工作,本装置的主要部件材质均为不锈钢。
[0016]该装置工作前,先把压缩干燥空气⑶A气管4连接压缩干燥空气⑶A气源,吸气管5连接吸尘器。工作时把该装置放入沉积炉内部,该装置依靠支撑滑动轮3在沉积炉内部移动,进行沉积炉不同区域内硅粉的清理。沉积炉内部表面的硅粉由吹气孔2吹入的压缩干燥空气CDA的作用下漂浮或被扬起,然后在吸尘器产生的吸力作用下,由吸气口 I进入吸气管5,最终被吸尘器清理掉。

Claims (3)

1.一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置,包括吸尘罩(7),吸尘罩(7)经吸气管(5)连接吸尘器,其特征在于,所述吸尘罩(7)内设有支撑连接柱(6),支撑连接柱(6)下端连接吹气罩(8),吹气罩(8)底部设有若干个吹气孔(2),吹气罩(8)经压缩干燥空气⑶A气管(4)连接压缩干燥空气CDA气源,所述吹气罩(8)底部设有支撑滑动轮(3)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置,其特征在于,所述吸尘罩(7)、吹气罩(8)为半球形,吸尘罩(7)与吹气罩(8)之间空腔为吸气口(I),所述若干个吹气孔(2)为环形布置。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜电池沉积炉硅粉清洁装置,其特征在于,所述吸尘罩(7)、吹气罩(8)、支撑滑动轮(3)、压缩干燥空气⑶A气管(4)、吸气管(5)、支撑连接柱(6)为不锈钢材质。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110811408A (zh) * 2019-11-06 2020-02-21 常州固高智能装备技术研究院有限公司 一种防止磨损的扫地机器人

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