CN205605484U - 具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座（1），外减振胶圈（2a），内减振胶圈（2b），密封圈（3），减振环（4），轴承（5），减振弹簧（6），压弹盖（7），轴承锁紧螺母（8），主轴（9），其中减振环（4）上设有下弹簧定位槽（401）和轴向限位环（402），压弹盖（7）上设有上弹簧定位槽（701），压弹盖（7）通过减振弹簧（6）将减振环（4）和轴承（5）压紧，减振环（4）与轴承座（1）之间留有一定的轴向间隙。该实用新型的减振结构对轴系部件具有轴向和径向双重减振功能，装配工艺简单、减振性好、工作可靠度高。

Description

具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构

技术领域

本实用新型涉及一种立式分子泵上轴承减振结构。具体地说是一种装配工艺简单、减振性好、工作可靠度高的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构。

背景技术

分子泵属于一种高速高精密高端真空获得设备，转子工作转速高达每分钟数万转，甚至小微型分子泵转子工作转速可高达每分钟十几万转，其设计技术及工艺技术要求很高，转子及整机需经过严格的精密动平衡调试，为了确保其工作可靠度及动平衡质量，轴系部件的支撑结构设计尤为重要。市场上现有立式分子泵的上轴承支撑结构基本都为单向减振结构，即转子部件高速工作时，仅有径向的减振胶圈为其提供一定的减振作用。如图1所示，上轴承与减振环并列安装在轴承座上，减振环对轴承无轴向限位结构，减振环上装有内外减振胶圈，为轴系部件高速工作时提供径向减振作用，压弹盖与减振环之间在轴向方向上需留有一定的间隙，以供轴系部件高速工作时由于减振胶圈的摩擦作用而引起的减振环的上下轻微移动。这种结构由于轴承在轴向方向上处于自由状态，高速工作时，轴向的移动缺少约束限制，减振性较差，工作可靠度较低，且为了保证压弹盖与减振环之间的轴向预设间隙，装配时压弹盖需配制，装配工艺繁琐，效率低下。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中上轴承支撑结构装配工艺繁琐、减振性差、工作可靠度相对较低的问题，提供一种装配工艺简单、减振性好、工作可靠度高的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构。

为解决上述技术问题，本实用新型的一种具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座；外减振胶圈；内减振胶圈；密封圈；减振环；轴承；压弹盖；轴承锁紧螺母；主轴；还包括减振弹簧，所述压弹盖通过所述减振弹簧将所述减振环和所述轴承压紧。

上述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，所述减振环上设有下弹簧定位槽，且所述下弹簧定位槽沿周向均匀分布。

上述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，所述减振环上还设有用于限制轴承轴向移动的轴向限位环。

上述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，所述压弹盖上设有上弹簧定位槽，且所述上弹簧定位槽沿周向均匀分布。

上述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，所述下弹簧定位槽与所述上弹簧定位槽对应，且所述减振弹簧沿周向均匀安装在所述下弹簧定位槽和所述上弹簧定位槽之间。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本实用新型所述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构在所述压弹盖与所述减振环之间设有均匀布置的减振弹簧，所述减振环上部设有轴向限位环，用于限制轴承的轴向移动，所述减振环下部与所述轴承座之间留有一定的轴向安装间隙，所述压弹盖通过所述减振弹簧将所述减振环和所述轴承压紧。轴系部件高速工作时，该轴承支撑结构起到一种双重柔性支撑的作用，同时具备径向和轴向的双重减振吸能功能，减振性好、工作可靠度高，且由于所述压弹盖与所述减振环之间通过所述减振弹簧接触装配，所述压弹盖不需配制，直接按设计加工制作即可，装配工艺简单，装配效率高。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中，

图1是现有技术的立式分子泵上轴承减振结构示意图；

图2是本实用新型的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构示意图。

图中附图标记表示为：1-轴承座、2a-外减振胶圈、2b-内减振胶圈、3-密封圈、4-减振环、401-下弹簧定位槽、402-轴向限位环、5-轴承、6-减振弹簧、7-压弹盖、701-上弹簧定位槽、8-轴承锁紧螺母、9-主轴。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图2所示，本实用新型的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座1；外减振胶圈2a；内减振胶圈2b；密封圈3；减振环4；轴承5；压弹盖7；轴承锁紧螺母8；主轴9；还包括减振弹簧6。所述减振环4上设有用于限制轴承轴向移动的轴向限位环402和下弹簧定位槽401，且所述下弹簧定位槽401沿周向均匀分布；所述压弹盖7上设有上弹簧定位槽701，且所述上弹簧定位槽701沿周向均匀分布，并与所述下弹簧定位槽401对应，所述减振弹簧6沿周向均匀安装在所述下弹簧定位槽401和所述上弹簧定位槽701之间；所述压弹盖7通过所述减振弹簧6将所述减振环4和所述轴承5压紧；所述减振环4下部与所述轴承座1之间留有一定的轴向安装间隙。由于采用径向和轴向的双重柔性支撑结构，轴系部件高速工作时，该轴承支撑结构同时具备径向和轴向的双重减振吸能功能，减振性好、工作可靠度高，且由于所述压弹盖7与所述减振环4之间通过所述减振弹簧6接触装配，所述压弹盖7不需配制，直接按设计加工制作即可，装配工艺简单，装配效率高。

本实用新型的实施例不限制所述减振环4对所述轴承5的轴向限位约束方式，技术人员可根据实际需要采用不同的轴向限位约束方式。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (4)

1.一种具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座（1）；外减振胶圈（2a）；内减振胶圈（2b）；密封圈（3）；减振环（4）；轴承（5）；压弹盖（7）；轴承锁紧螺母（8）；主轴（9），其特征在于：还包括减振弹簧（6），所述压弹盖（7）通过所述减振弹簧（6）将所述减振环（4）和所述轴承（5）压紧。

2.根据权利要求1所述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，其特征在于：所述减振环（4）上设有下弹簧定位槽（401），所述压弹盖（7）上设有上弹簧定位槽（701），且所述下弹簧定位槽（401）与所述上弹簧定位槽（701）均沿周向均匀分布。

3.根据权利要求1所述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，其特征在于：所述减振环（4）上还设有用于限制轴承（5）轴向移动的轴向限位环（402）。

4.根据权利要求2所述的具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，其特征在于：所述下弹簧定位槽（401）与所述上弹簧定位槽（701）对应，且所述减振弹簧（6）沿周向均匀安装在所述下弹簧定位槽（401）和所述上弹簧定位槽（701）之间。