CN205520820U - 一种ito靶材磨边倒角机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种ITO靶材磨边倒角机，包括电机机架、三个磨头电机、三个金刚石砂轮、平台机架、调速电机、丝杆、工作平台和直线导轨，三个磨头电机分别通过滑动组件安装在电机机架上，三个金刚石砂轮分别安装在三个磨头电机上，直线导轨安装在平台机架上，工作平台通过滑块安装在直线导轨上，丝杆与调速电机连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接；三个磨头电机的中轴线与工作平台平面的位置关系分别为：呈向上30～60度角、平行、呈向下30～60度角。本实用新型的磨边倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以内，可以同时完成倒上棱角、磨边和倒下棱角的工作，能够提高ITO靶材磨边倒角工序的工作效率和工作质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种磨边倒角机，特别涉及一种ITO靶材磨边倒角机。
背景技术
ITO靶材烧结完成后会有一定程度的变形，所以需要对其进行切割和平面研磨以达到客户要求的尺寸，尺寸精度一般在±0.1mm。完成切割后的靶材，侧面会有切割痕，不仅影响美观，还容易在使用过程中引起微裂纹，影响后续使用。ITO靶材为陶瓷靶材，属脆硬材料，切割加工后，必须进行倒角处理，否则在后续操作过程中极易发生崩边。手工对靶材进行磨边倒角，工作效率低，劳动强度大，质量也不稳定。市售的可用于磨削大尺寸陶瓷板材的磨边倒角机，尺寸精度很难控制在±0.1mm。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是：提供一种ITO靶材磨边倒角机，该磨边倒角机的磨边倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以内，可提高ITO靶材磨边倒角工序的工作效率和工作质量。
解决上述技术问题的技术方案是：一种ITO靶材磨边倒角机，包括电机机架、三个磨头电机、三个金刚石砂轮、平台机架、调速电机、丝杆、工作平台和直线导轨，所述的三个磨头电机分别通过滑动组件安装在电机机架上，三个金刚石砂轮分别安装在三个磨头电机上，所述的直线导轨安装在平台机架上，工作平台通过滑块安装在直线导轨上，丝杆与调速电机连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接；三个磨头电机中，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向上30～60度角，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面平行，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向下30～60度角。
所述的滑动组件包括滑道、转轴和与滑道配合滑动一字拖板，所述的滑道安装在电机机架上，一字拖板安装在滑道上，一字拖板与转轴通过螺纹连接，磨头电机安装在一字拖板上。
所述的丝杆两端通过安装座安装在平台机架上。
所述的调速电机安装在平台机架上。
所述的直线导轨的精度级数为精密级。
所述的磨头电机为精密磨头电机。
本实用新型的磨边倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以内，且通过设置三个不同角度的磨头电机，可以同时完成倒上棱角、磨边和倒下棱角的工作，与手工磨边倒角相比，能够大大提高ITO靶材磨边倒角工序的工作效率，降低工人的劳动强度，还能有效的保证工作质量。
下面，结合附图和实施例对本实用新型之一种ITO靶材磨边倒角机的技术特征作进一步的说明。
附图说明
图1：本实用新型之一种ITO靶材磨边倒角机立体图。
图2：本实用新型之一种ITO靶材磨边倒角机主视图。
图3：本实用新型之一种ITO靶材磨边倒角机左视图。
图4：本实用新型之一种ITO靶材磨边倒角机俯视图。
图中：1-平台机架，2-直线导轨，3-电机机架，4-滑道，5-一字拖板，6-转轴，7-磨头电机，8-金刚石砂轮，9-工作平台，10-丝杆，11-调速电机，12-安装座，13-滑块。
具体实施方式
实施例1：一种ITO靶材磨边倒角机，如图1-图4所示，包括电机机架3、三个磨头电机7、三个金刚石砂轮8、平台机架1、调速电机11、丝杆10、工作平台9和直线导轨2，所述的直线导轨的精度级数为精密级，所述的磨头电机为精密磨头电机，所述的三个磨头电机7分别通过滑动组件安装在电机机架3上，三个金刚石砂轮8分别安装在三个磨头电机上，所述的直线导轨2安装在平台机架1上，工作平台9通过滑块13安装在直线导轨2上，丝杆10与调速电机11连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接，通过丝杆的正反转可以实现工作平台的左右移动，丝杆两端通过安装座12安装在平台机架上，调速电机安装在平台机架上。三个磨头电机中，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向上45度角，用于倒下棱角；其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面平行，用于磨边；其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向下45度角，用于倒上棱角。
本实施例中，所述的滑动组件包括滑道4、转轴6和与滑道配合滑动一字拖板5，所述的滑道安装在电机机架上，一字拖板安装在滑道上，一字拖板与转轴通过螺纹连接，磨头电机7安装在一字拖板5上，通过转动转轴6可以实现一字拖板5在滑道4上的前进和后退。作为一种变换，也可以采用其他结构便于磨头电机前进和后退的滑动组件。
作为本实施例的一种变换，所述的用于倒上棱角和用于倒下棱角的磨头电机的中轴线与工作平台平面之间的角度还可以根据实际情况进行调整，一般为呈向上30～60度角和呈向下30～60度角。
采用本实用新型进行磨边倒角的过程是：将ITO靶材放置在工作平台9上，需要加工的一边露出工作台5-30mm，并调整好位置使待加工边与直线导轨2平行，用夹具固定住。通过旋转一字拖板5上的转轴6，使一字拖板带动磨头电机7前进或后退。启动调速电机11，带动丝杆10转动，使工作平台9沿直线导轨2做直线运动，使固定在其上的ITO靶材依次经过三个金刚石砂轮8，实现磨边和对上下棱边进行倒角。
Claims (6)
1.一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：包括电机机架（3）、三个磨头电机（7）、三个金刚石砂轮（8）、平台机架（1）、调速电机（11）、丝杆（10）、工作平台（9）和直线导轨（2），所述的三个磨头电机（7）分别通过滑动组件安装在电机机架（3）上，三个金刚石砂轮（8）分别安装在三个磨头电机上，所述的直线导轨（2）安装在平台机架（1）上，工作平台（9）通过滑块（13）安装在直线导轨（2）上，丝杆（10）与调速电机（11）连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接；三个磨头电机中，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向上30～60度角，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面平行，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向下30～60度角。
2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：所述的滑动组件包括滑道（4）、转轴（6）和与滑道配合滑动一字拖板（5），所述的滑道安装在电机机架上，一字拖板安装在滑道上，一字拖板与转轴通过螺纹连接，磨头电机（7）安装在一字拖板（5）上。
3.根据权利要求1或2所述的一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：所述的丝杆两端通过安装座（12）安装在平台机架上。
4.根据权利要求1或2所述的一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：所述的调速电机安装在平台机架上。
5.根据权利要求1或2所述的一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：所述的直线导轨的精度级数为精密级。
6.根据权利要求1或2所述的一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：所述的磨头电机为精密磨头电机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620223241.7U CN205520820U (zh) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 一种ito靶材磨边倒角机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620223241.7U CN205520820U (zh) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 一种ito靶材磨边倒角机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205520820U true CN205520820U (zh) | 2016-08-31 |
Family
ID=56784303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620223241.7U Active CN205520820U (zh) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 一种ito靶材磨边倒角机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205520820U (zh) |
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2016
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