CN205482163U - 一种用于防止硅芯氧化的加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅芯生产技术领域，具体涉及一种用于防止硅芯氧化的加热装置。本实用新型的主要技术方案为：一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括:工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。采用本实用新型可以防止硅芯氧化，提升硅芯质量。

Description

一种用于防止硅芯氧化的加热装置

技术领域

本实用新型涉及硅芯生产技术领域，尤其涉及一种用于防止硅芯氧化的加热装置。

背景技术

随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大，硅料的需求量越来越大。硅料的纯度对最终产品的质量至关重要，有些硅料表面附带有很多杂质，对之必须用酸洗的方法将表面杂质去除，然后再进行清洗。清洗过的硅料在存储前须经过加热烘干处理，以去除附着在硅料上的水份，防止硅料氧化。目前市场上加热装置的箱体均为金属材料，易产生金属杂质；由于硅芯表面吸附能力非常强，加热时易与吸附在表面的金属化学反应，从而严重影响硅芯的质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于防止硅芯氧化的加热装置，主要目的在于防止硅芯氧化，提升硅芯质量。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括:

工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；

支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；

加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；

加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；

风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。

进一步地，所述加热组件上设有防护机构，用于防止所述加热组件爆炸影响 硅芯。

进一步地，所述工作箱的顶部设有悬挂机构，用于悬吊所述工作箱。

进一步地，所述工作箱上设置有密封板，用于密封所述工作箱的开口；

所述工作箱的至少一侧设置有所述开口。

进一步地，所述工作箱的底部设置有行走机构，用于所述工作箱的移动。

进一步地，所述支架上平行地设置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。

进一步地，还包括：

照明装置，设置在所述工作箱的顶部内侧。

进一步地，还包括：

感温元件，设置在所述工作箱内，用于检测所述工作箱内的温度。

进一步地，所述进气孔分布在所述工作箱的两侧。

进一步地，所述加热组件具有不锈钢加热管。

借由上述技术方案，本实用新型用于防止硅芯氧化的加热装置至少具有下列优点：

结构简单，成本低，使用方便，可以防止硅芯氧化，提升硅芯质量。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种用于防止硅芯氧化的加热装置的示意图。

图中所示：

1为工作箱，1-1为开口，1-2为进气孔，1-3为排气孔，1-4为密封板，2为支架，3为悬挂机构4为加热组件，4-1为防护机构，5为行走机构，6为加热腔，7为风机，8为感温元件，9为照明装置，10为温度控制器。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1所示，本实用新型的一个实施例提出的一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括:工作箱1、支架2、加热腔6、加热组件4和风机7。

工作箱1为具有开口1-1的容器，工作箱1的开口1-1用于硅芯的放入和取出；工作箱1的顶部具有排气孔1-3，用于排气；底部具有进气孔1-2，用于进气；工作箱1为聚四氟乙烯材料，防止对硅芯污染；工作箱1的壁厚至少为3mm。

支架2设置在工作箱1内，用于支撑硅芯；本实施例优选将支架2固定在工作箱1的底部；支架2为聚四氟乙烯材料，防止对硅芯污染；

加热腔6设置在工作箱1的底部，加热腔6通过紧固件固定地连接在工作箱1的底部外侧；通过进气孔1-2与工作箱1连通；加热组件4设置在加热腔6中，用于供热，加热加热腔6中的气流；加热组件4的温度由设置在工作箱1外壁的温度控制器10控制，操作人员根据需要对加热组件4的加热温度进行调节。

风机7的出风口与加热腔6连通，使气流通过加热腔6加热后，在通过进气孔1-2流入工作箱1，用于给硅芯加热。风机7可以设置在工作箱1附近的地面上，避免对工作箱1进行振动，风机7被电机驱动转动。

作为上述实施例的优选，加热组件4上设有防护机构4-1，用于防止加热组件4爆炸影响硅芯。防护机构4-1优选聚四氟乙烯材料的板件，当然也不排除为钢化玻璃材料的板件。

作为上述实施例的优选，工作箱1的顶部设有悬挂机构3，用于悬吊工作箱1，本实施例优选悬挂机构3为吊环或吊钩；吊环或吊钩分别设置在工作箱1顶部的四角上。

作为上述实施例的优选，工作箱1上设置有密封板1-4，用于密封工作箱1的 开口1-1；在对硅芯进行加热处理时，需要将工作箱1上的开口1-1密封，以使工作箱1内的气流稳定流动。工作箱1的至少一侧设置有开口1-1，本实施例优选工作箱1的相对两侧设置有开口1-1，以方便硅芯棒料的抽取和放入。

作为上述实施例的优选，工作箱1的底部设置有行走机构5，用于工作箱1的移动。本实施例优选行走机构5为橡胶行走轮，方便移动，成本较低；当然也不排除为刚性滚轮，在地面的导轨上行走，使工作箱1进行移动。本实施例安装4个能载重至少1吨的车轮，便于转运。

作为上述实施例的优选，支架2上平行地设置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。凹槽或通孔平行设置，可以放置多个硅芯棒料，以同时对多个硅芯进行加热。

作为上述实施例的优选，还包括：照明装置9；

照明装置9设置在工作箱1的顶部内侧，用于操作人员对硅芯进行操作时，进行照明。

作为上述实施例的优选，还包括：感温元件8。

感温元件8设置在工作箱1内，用于检测工作箱1内的温度，以使操作人员实时掌握工作箱1内的温度，以进行及时调节。

作为上述实施例的优选，进气孔1-2分布在工作箱1的两侧，热气流从工作箱1的两侧进入工作箱1，对工作箱1内的硅芯进行加热，然后气流从工作箱1的顶部排出，使对硅芯的加热更均匀。

作为上述实施例的优选，加热组件4具有不锈钢加热管。优选304不锈钢管。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，包括:

工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；

支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；

加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；

加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；

风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。

2.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述加热组件上设有防护机构，用于防止所述加热组件爆炸影响硅芯。

3.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述工作箱的顶部设有悬挂机构，用于悬吊所述工作箱。

4.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述工作箱上设置有密封板，用于密封所述工作箱的开口；

所述工作箱的至少一侧设置有所述开口。

5.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述工作箱的底部设置有行走机构，用于所述工作箱的移动。

6.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述支架上平行地设置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。

7.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，还包括：

照明装置，设置在所述工作箱的顶部内侧。

8.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，还包括：

感温元件，设置在所述工作箱内，用于检测所述工作箱内的温度。

9.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，

所述进气孔分布在所述工作箱的两侧。

10.根据权利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，所述加热组件具有不锈钢加热管。