CN205435447U - 乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置 - Google Patents

乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，包括压缩机、洗涤净化装置、吸附净化装置、深冷液化装置、精馏提纯装置。所述压缩机进口通入原料气，其出口连接所述洗涤净化装置的入口；所述洗涤净化装置的出口连接所述吸附净化装置的入口，所述吸附净化装置的出口连接所述深冷液化装置的入口；所述深冷液化装置的出口连接所述精馏提纯装置的入口，所述精馏提纯装置的出口输出氧化二氮。本实用新型分离提纯操作简单、工作效率高、提纯精度高、能耗低。

Description

乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置
技术领域
本实用新型涉及化工技术领域，具体涉及一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置。
背景技术
己二酸尾气中含有较高浓度的N2O，现采用分解成O2、N2的方式处理。针对现在生产高清晰度显示屏的电子工业需要大量高纯度(电子级)N2O，将尾气中部分的N2O分离、提纯为电子级的产品液体N2O为亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此，本申请提供一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，该装置分离提纯操作简单、工作效率高、提纯精度高、能耗低。
为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，包括压缩机、洗涤净化装置、吸附净化装置、深冷液化装置、精馏提纯装置；
所述压缩机进口通入原料气，其出口连接所述洗涤净化装置的入口；所述洗涤净化装置的出口连接所述吸附净化装置的入口，所述吸附净化装置的出口连接所述深冷液化装置的入口；所述深冷液化装置的出口连接所述精馏提纯装置的入口，所述精馏提纯装置的出口输出氧化二氮。
进一步地，所述压缩机将0.1Mpa的原料气压缩至1.65MPa。
进一步地，所述洗涤净化装置充入强碱碱液、脱盐水；气体先经强碱碱液洗涤，再经脱盐水洗涤。
进一步地，所述吸附净化装置包括吸附塔、再生塔；所述再生塔采用升温吹扫方式再生。
进一步地，所述深冷液化装置内部设置有冷箱，所述冷箱的入口通过内抛光的管线连接所述吸附净化装置的出口。
进一步地，所述精馏提纯装置设置有过滤装置，所述过滤装置的过滤度为0.1μm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型所述提纯装置，将原料气中的含有CO2、NO、NO2等酸性气体，经洗涤净化装置采用强碱液洗涤去除，水分等采用吸附干燥去除，其它O2、N2、CO等低沸点杂质组分，采用深冷液化分离，高纯电子级的N2O采用低温精馏提纯得到。分离提纯操作简单、工作效率高、提纯精度高、能耗低。
附图说明
图1是本实用新型乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置结构示意图。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
参见图1，本实用新型所描述的是一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，包括压缩机1、洗涤净化装置2、吸附净化装置3、深冷液化装置4、精馏提纯装置5。其中，压缩机1进口通入原料气，其出口连接洗涤净化装置2的入口；洗涤净化装置2的出口连接吸附净化装置3的入口，吸附净化装置3的出口连接深冷液化装置4的入口；深冷液化装置4的出口连接精馏提纯装置5的入口，精馏提纯装置5的出口输出氧化二氮。
本实用新型所述压缩机1将0.1Mpa的原料气压缩至1.65MPa。所述洗涤净化装置2充入强碱碱液、脱盐水；气体先经强碱碱液洗涤，再经脱盐水洗涤。所述吸附净化装置3包括吸附塔、再生塔；所述再生塔采用升温吹扫方式再生。所述深冷液化装置4内部设置有冷箱，所述冷箱的入口通过内抛光的管线连接所述吸附净化装置3的出口。所述精馏提纯装置5设置有过滤装置，所述过滤装置的过滤度为0.1μm。
本实用新型氧化二氮分离提纯的工艺流程具体如下：
将0.1MPa的原料气，经过缓冲、压缩至1.65MPa,，输入洗涤净化装置2，采用强碱碱液，分三级循环洗涤，将气体中CO2、NO、NO2等酸性气体洗涤降至0.1ppm以下。碱洗后的气体再采用脱盐水进一步洗涤，去除夹带的碱液。本实用新型所述的强碱溶液为NaOH、KOH等溶液。
洗涤净化后的气体输入吸附净化装置3，采用变温吸附进行纯化，进一步脱除气体中的CO2、NO、NO2、H2O等杂质，使气体净化达到工艺要求。变温吸附采用2塔工艺，一塔吸附，一塔升温吹扫再生，再生吹扫气采用冷箱来的驰放气，采用电加热方式。变温吸附利用分子筛强大的吸附能力，将气体中杂质去除到0.1ppm。变温吸附纯化气体再经过精密过滤器，将气体可能携带的杂质组分过滤去除。
净化完成的气体采用内抛光的洁净管线进入深冷液化装置4的冷箱，气体经过换热、液化、气液分离，得到液体N2O，输入精馏提纯装置。精馏提纯装置采用规整填料，低温下经精馏提纯，得到满足ULSI级的N2O的液体。液体再经过0.1μm的精密过滤，送往产品储罐。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，上述优选实施方式不应视为对本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的精神和范围内，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：包括压缩机、洗涤净化装置、吸附净化装置、深冷液化装置、精馏提纯装置；
所述压缩机进口通入原料气，其出口连接所述洗涤净化装置的入口；所述洗涤净化装置的出口连接所述吸附净化装置的入口，所述吸附净化装置的出口连接所述深冷液化装置的入口；所述深冷液化装置的出口连接所述精馏提纯装置的入口，所述精馏提纯装置的出口输出氧化二氮。
2.根据权利要求1所述的乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：所述压缩机将0.1Mpa的原料气压缩至1.65MPa。
3.根据权利要求1所述的乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：所述洗涤净化装置充入强碱碱液、脱盐水；气体先经强碱碱液洗涤，再经脱盐水洗涤。
4.根据权利要求1所述的乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：所述吸附净化装置包括吸附塔、再生塔；所述再生塔采用升温吹扫方式再生。
5.根据权利要求1所述的乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：所述深冷液化装置内部设置有冷箱，所述冷箱的入口通过内抛光的管线连接所述吸附净化装置的出口。
6.根据权利要求1所述的乙二酸尾气中氧化二氮分离提纯装置，其特征在于：所述精馏提纯装置设置有过滤装置，所述过滤装置的过滤度为0.1μm。
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