CN205413411U - 双流体喷管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种双流体喷管，包括：管道，包括管体和隔板，所述隔板沿所述管体的延伸方向设置在所述管体内并将所述管体的内部分隔成第一腔体和第二腔体；第一流体接头，安装在所述第一腔体的一端；第二流体接头，安装在所述第二腔体的一端；喷头，包括本体，所述本体的一端突出于所述管体的外部，另一端穿过所述第一腔体后安装在所述隔板的通孔处，所述本体内部形成有相互连通的第一通道和第二通道，其中，所述第一腔体与所述第一通道连通，所述第二腔体与所述第二通道连通。本实用新型可将压缩空气和药水的快速混合，以产生高流速、高打力、微细的喷雾，同时配管简单、设置空间小，且方便清洁保养。
Description
技术领域
本实用新型涉及电路板制造领域，特别涉及一种双流体喷管。
背景技术
在印刷电路板、晶片、液晶面板湿制程设备的显影、蚀刻或精密清洗中，常见的喷淋方式是使用一流体喷管喷洗，这种清洗方式是利用水泵将药水(或水)打到一流体喷管内，经喷嘴形成所需喷射角度，将药水打到工件表面，进而显影/蚀刻/或清洗工件。
现有技术中的单流体喷管的工作原理是：带压力的药水或水进入喷管内，经喷嘴流出形成所需喷射角度，把这些药水打到所需加工的工件表面，进而显影/蚀刻/或清洗工件。但是，现有的单流体喷管流速较低，喷出的药水粒子径大，打力小，不利于精细线路显影、蚀刻或工件表面的清洁；在印刷电路板的显影、蚀刻或精密清洗流程中最小只能处理线宽线距：50微米/50微米，无法达到行业所需。
实用新型内容
本实用新型提供了一种双流体喷管，以解决现有技术单流体喷管喷出的流体打力小，不利于清洁精细线路显影、蚀刻或工件表面的问题。
为解决上述问题，作为本实用新型的一个方面，提供了一种双流体喷管，包括：管道，包括管体和隔板，所述隔板沿所述管体的延伸方向设置在所述管体内并将所述管体的内部分隔成第一腔体和第二腔体；第一流体接头，安装在所述第一腔体的一端；第二流体接头，安装在所述第二腔体的一端；喷头，包括本体，所述本体的一端突出于所述管体的外部，另一端穿过所述第一腔体后安装在所述隔板的通孔处，所述本体内部形成有相互连通的第一通道和第二通道，其中，所述第一腔体与所述第一通道连通，所述第二腔体与所述第二通道连通。
优选地，所述喷头还包括喷嘴芯，所述喷嘴芯通过锁紧螺母安装到所述本体的所述一端。
优选地，所述喷头还包括定位套，所述喷嘴芯的一端穿过所述锁紧螺母上的安装孔，所述定位套安装在所述喷嘴芯的外部，且所述定位套位于所述安装孔处。
优选地，所述第一通道与所述第二通道垂直设置。
优选地，所述管体具有矩形的截面，所述隔板为平板。
优选地，所述管道上安装有多个所述喷头。
优选地，所述第一腔体的另一端及所述第二腔体的另一端分别安装有一个堵头。
本实用新型可将压缩空气和药水的快速混合，以产生高流速、高打力、微细的喷雾，同时配管简单、设置空间小，且方便清洁保养。
附图说明
图1示意性地示出了本实用新型的整体结构示意图；
图2示意性地示出了图1的A-A剖视图；
图3示意性地示出了本实用新型的侧视图；
图4示意性地示出了图2的B部放大图。
图中附图标记：1、管体；2、隔板；3、第一腔体；4、第二腔体；5、第一流体接头；6、第二流体接头；7、喷头；8、本体；9、第一通道；10、第二通道；11、喷嘴芯；12、锁紧螺母；13、定位套；14、堵头。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
请参考图1至图4，本实用新型提供了一种双流体喷管，包括：管道，包括管体1和隔板2，所述隔板2沿所述管体1的延伸方向设置在所述管体1内并将所述管体1的内部分隔成第一腔体3和第二腔体4；第一流体接头5，安装在所述第一腔体3的一端；第二流体接头6，安装在所述第二腔体4的一端；喷头7，包括本体8，所述本体8的一端突出于所述管体1的外部，另一端穿过所述第一腔体3后安装在所述隔板2的通孔处，所述本体8内部形成有相互连通的第一通道9和第二通道10，其中，所述第一腔体3与所述第一通道9连通，所述第二腔体4与所述第二通道10连通。
使用时，药水自第一流体接头5进入第一腔体3中，而压缩空气自第二流体接头6进入第二腔体4。于是，药水和压缩空气在本体8内混合后，经喷头7向外喷出，并形成所需喷射角度的高流速高打力的细微喷雾。这些细微喷雾打到工件表面，进而形成显影/蚀刻/或清洗工件。本实用新型采用双流体喷管喷射时，平均流速是单流体喷管的2倍，平均打力是单流体喷管的3倍、喷雾粒径是单流体喷管的0.5倍，因而可得到高流速、高打力、微细的喷雾。
可见，采用上述技术方案，本实用新型可将压缩空气和药水的快速混合，以产生高流速、高打力、微细的喷雾，同时配管简单、设置空间小，且方便清洁保养。
优选地，所述喷头7还包括喷嘴芯11，所述喷嘴芯11通过锁紧螺母12安装到所述本体8的所述一端。
优选地，所述喷头7还包括定位套13，所述喷嘴芯11的一端穿过所述锁紧螺母12上的安装孔，所述定位套13安装在所述喷嘴芯11的外部，且所述定位套13位于所述安装孔处。
优选地，所述第一通道9与所述第二通道10垂直设置。优选地，所述管体1具有矩形的截面，所述隔板2为平板。
优选地，所述管道上安装有多个所述喷头7。这样，可以大范围进行喷射。
优选地，所述第一腔体3的另一端及所述第二腔体4的另一端分别安装有一个堵头14。保养时，拆下堵头14，用风枪吹压缩空气到管体1内，清洁里面的异物。
本实用新型特别适用于印刷电路板、晶片、液晶面板的显影、蚀刻、清洗制程中使用，可通过其高流速、高打力、微细喷雾的特性，处理更细微的线路(比如可处理线宽线距：20微米/20微米)，符合目前智能电子领域(特别是可穿戴电子)轻薄细小的要求。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种双流体喷管，其特征在于，包括：
管道，包括管体(1)和隔板(2)，所述隔板(2)沿所述管体(1)的延伸方向设置在所述管体(1)内并将所述管体(1)的内部分隔成第一腔体(3)和第二腔体(4)；
第一流体接头(5)，安装在所述第一腔体(3)的一端；
第二流体接头(6)，安装在所述第二腔体(4)的一端；
喷头(7)，包括本体(8)，所述本体(8)的一端突出于所述管体(1)的外部，另一端穿过所述第一腔体(3)后安装在所述隔板(2)的通孔处，所述本体(8)内部形成有相互连通的第一通道(9)和第二通道(10)，其中，所述第一腔体(3)与所述第一通道(9)连通，所述第二腔体(4)与所述第二通道(10)连通。
2.根据权利要求1所述的双流体喷管，其特征在于，所述喷头(7)还包括喷嘴芯(11)，所述喷嘴芯(11)通过锁紧螺母(12)安装到所述本体(8)的所述一端。
3.根据权利要求2所述的双流体喷管，其特征在于，所述喷头(7)还包括定位套(13)，所述喷嘴芯(11)的一端穿过所述锁紧螺母(12)上的安装孔，所述定位套(13)安装在所述喷嘴芯(11)的外部，且所述定位套(13)位于所述安装孔处。
4.根据权利要求1所述的双流体喷管，其特征在于，所述第一通道(9)与所述第二通道(10)垂直设置。
5.根据权利要求1所述的双流体喷管，其特征在于，所述管体(1)具有矩形的截面，所述隔板(2)为平板。
6.根据权利要求1所述的双流体喷管，其特征在于，所述管道上安装有多个所述喷头(7)。
7.根据权利要求1所述的双流体喷管，其特征在于，所述第一腔体(3)的另一端及所述第二腔体(4)的另一端分别安装有一个堵头(14)。
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|---|---|---|---|
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| CN201620217275.5U CN205413411U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 双流体喷管 |
Publications (1)
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ID=56520695
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106984453A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-28 | 上海知瀚环保科技发展有限公司 | 矩阵式喷头 |
| CN113385467A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台 |
| CN114682405A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-07-01 | 大连理工大学 | 一种内部旋流交叉孔喷射器 |
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2016
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| CN113385467A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台 |
| CN113385467B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-05-03 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台 |
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