CN205342231U - 一种碳化硅切割装置 - Google Patents

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宗艳民
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Shandong Tianyue Advanced Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅切割装置,包括花岗岩机座、伺服驱动机构和激光切割升降机构,所述伺服驱动机构设置在花岗岩机座的上端,所述激光切割升降机构通过支架固定在伺服驱动机构的上端,所述直流伺服电机与NC控制装置电性连接,所述转动轴套与滚珠丝杠传动连接,所述激光发生器的下端设有激光切割头,所述花岗岩机座的左侧设有激光器电源,所述激光器电源分别与激光发生器和NC控制装置电性连接。本实用新型大大提高了切割工艺中对于碳化硅切割位点精确度的控制,提高了碳化硅切割后的尺寸精度;可以调整激光切割过程中切割点转移速度和位置,提高了切割工作效率。

Description

一种碳化硅切割装置
技术领域
本实用新型属于碳化硅切割技术领域,具体涉及一种碳化硅切割装置。
背景技术
碳化硅是由三氧化二铝结晶而成的硬度极高的透明材料,由于其莫氏硬度仅次于金刚石,作为一般设备的显示面板时可以起到很好的防划花的作用。但碳化硅的高硬度也使得其加工过程变得十分困难,通常需要使用先进的纳米激光器进行切割。但是由于碳化硅硬度极高,切割成超薄的玻面时,其切割边缘非常容易出现细微的裂缝,进而导致切割后的碳化硅边缘存在缺陷,在后续的装配过程中容易碎裂。
同时,现有的碳化硅切割装置主要通过金刚石涂层线切割碳化硅,然而,一方面由于金刚石本身较为昂贵,另一方面由于是接触式切割,金刚石涂层线损耗到一定程度后需更换,造成切割成本高。另外,靠金刚石涂层线来回磨损切割碳化硅工作效率较低。而且现有的碳化硅切割装置灵活性差,不能够实现水平和竖直方向移动,也不能够对比较大的碳化硅切割。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅切割装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种碳化硅切割装置,包括花岗岩机座、伺服驱动机构和激光切割升降机构,所述花岗岩机座正面的右侧设有NC控制装置,所述伺服驱动机构设置在花岗岩机座的上端,所述激光切割升降机构通过支架固定在伺服驱动机构的上端,所述激光切割升降机构包括直流伺服电机、滚珠丝杠、转动轴套和激光发生器,所述直流伺服电机安装在支架的顶部,且所述直流伺服电机与NC控制装置电性连接,所述滚珠丝杠通过联轴器与直流伺服电机的输出轴转动连接,所述转动轴套与滚珠丝杠传动连接,所述激光发生器设置在转动轴套的下端,所述激光发生器的下端设有激光切割头,所述花岗岩机座的左侧设有激光器电源,所述激光器电源分别与激光发生器和NC控制装置电性连接。
优选的,所述伺服驱动机构包括轴承座、丝杆、转动螺母和伺服电机,所述轴承座固定在花岗岩机座上端的左侧,且所述轴承座内部的轴承与丝杆转动连接,所述丝杆通过联轴器与伺服电机转动连接,所述伺服电机与NC控制装置电性连接,所述转动螺母通过螺纹与丝杆传动连接。
优选的,所述转动螺母的上端通过螺栓固定有滑块。
优选的,所述伺服驱动机构上设有滑轨,所述滑轨设置在丝杆的两侧。
优选的,所述滑块与滑轨滑动连接。
优选的,所述滚珠丝杠的下端设有圆形凸块,所述圆形凸块和滚珠丝杠外径比为1.5:1。
优选的,所述花岗岩机座的工作台上还设有光学观测器,所述光学观测器与NC控制装置电性连接。
本实用新型的技术效果和优点:该碳化硅切割装置,其光学观测器可以控制碳化硅在切割过程中切割位点的精度,保证激光切割的精度达到最优,同时在切割精度可控的范围内提高切割速度,提高工作效率,降低碳化硅加工成本;通过设置的伺服驱动机构能够使激光切割升降机构在水平方向移动,而且利用伺服驱动原理,稳定性好,精度高,可控可调;通过设置的激光切割升降机构能够使激光切割头在竖直方向移动。因此,本实用新型大大提高了切割工艺中对于碳化硅切割位点精确度的控制,提高了碳化硅切割后的尺寸精度;可以调整激光切割过程中切割点转移速度和位置,提高了切割工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中:1花岗岩机座、2NC控制装置、3伺服驱动机构、31轴承座、32丝杆、33转动螺母、34滑块、35伺服电机、36滑轨、4激光切割升降机构、41直流伺服电机、42滚珠丝杠、43转动轴套、44激光发生器、45激光切割头、5激光器电源、6光学观测器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1所示的一种碳化硅切割装置,包括花岗岩机座1、伺服驱动机构3和激光切割升降机构4,所述花岗岩机座1正面的右侧设有NC控制装置2,所述伺服驱动机构3设置在花岗岩机座1的上端,所述伺服驱动机构3包括轴承座31、丝杆32、转动螺母33和伺服电机35,所述轴承座31固定在花岗岩机座1上端的左侧,且所述轴承座31内部的轴承与丝杆32转动连接,所述丝杆32通过联轴器与伺服电机35转动连接,所述伺服电机35与NC控制装置2电性连接,所述转动螺母33通过螺纹与丝杆32传动连接,所述转动螺母33的上端通过螺栓固定有滑块34,所述伺服驱动机构3上设有滑轨36,所述滑轨36设置在丝杆32的两侧,所述滑块34与滑轨36滑动连接,所述激光切割升降机构4通过支架固定在伺服驱动机构3的上端,所述激光切割升降机构4包括直流伺服电机41、滚珠丝杠42、转动轴套43和激光发生器44,所述直流伺服电机41安装在支架的顶部,且所述直流伺服电机41与NC控制装置2电性连接,所述滚珠丝杠42通过联轴器与直流伺服电机41的输出轴转动连接,所述滚珠丝杠42的下端设有圆形凸块,圆形凸块和滚珠丝杠42外径比为1.5:1,所述转动轴套43与滚珠丝杠42传动连接,所述激光发生器44设置在转动轴套43的下端,所述激光发生器44的下端设有激光切割头45,所述花岗岩机座1的左侧设有激光器电源5,所述激光器电源5分别与激光发生器44和NC控制装置2电性连接,所述花岗岩机座1的工作台上还设有光学观测器6,所述光学观测器6与NC控制装置2电性连接。该碳化硅切割装置,其光学观测器6可以控制碳化硅在切割过程中切割位点的精度,保证激光切割的精度达到最优,同时在切割精度可控的范围内提高切割速度,提高工作效率,降低碳化硅加工成本;通过设置的伺服驱动机构3能够使激光切割升降机构4在水平方向移动,而且利用伺服驱动原理,稳定性好,精度高,可控可调;通过设置的激光切割升降机构4能够使激光切割头45在竖直方向移动。因此,本实用新型大大提高了切割工艺中对于碳化硅切割位点精确度的控制,提高了碳化硅切割后的尺寸精度;可以调整激光切割过程中切割点转移速度和位置,提高了切割工作效率。
本实施例中的其他部分采用已有技术,在此不再赘述。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种碳化硅切割装置,包括花岗岩机座(1)、伺服驱动机构(3)和激光切割升降机构(4),所述花岗岩机座(1)正面的右侧设有NC控制装置(2),其特征在于:所述伺服驱动机构(3)设置在花岗岩机座(1)的上端,所述激光切割升降机构(4)通过支架固定在伺服驱动机构(3)的上端,所述激光切割升降机构(4)包括直流伺服电机(41)、滚珠丝杠(42)、转动轴套(43)和激光发生器(44),所述直流伺服电机(41)安装在支架的顶部,且所述直流伺服电机(41)与NC控制装置(2)电性连接,所述滚珠丝杠(42)通过联轴器与直流伺服电机(41)的输出轴转动连接,所述转动轴套(43)与滚珠丝杠(42)传动连接,所述激光发生器(44)设置在转动轴套(43)的下端,所述激光发生器(44)的下端设有激光切割头(45),所述花岗岩机座(1)的左侧设有激光器电源(5),所述激光器电源(5)分别与激光发生器(44)和NC控制装置(2)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述伺服驱动机构(3)包括轴承座(31)、丝杆(32)、转动螺母(33)和伺服电机(35),所述轴承座(31)固定在花岗岩机座(1)上端的左侧,且所述轴承座(31)内部的轴承与丝杆(32)转动连接,所述丝杆(32)通过联轴器与伺服电机(35)转动连接,所述伺服电机(35)与NC控制装置(2)电性连接,所述转动螺母(33)通过螺纹与丝杆(32)传动连接。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述转动螺母(33)的上端通过螺栓固定有滑块(34)。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述伺服驱动机构(3)上设有滑轨(36),所述滑轨(36)设置在丝杆(32)的两侧。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述滑块(34)与滑轨(36)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述滚珠丝杠(42)的下端设有圆形凸块,圆形凸块和滚珠丝杠(42)外径比为1.5:1。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅切割装置,其特征在于:所述花岗岩机座(1)的工作台上还设有光学观测器(6),所述光学观测器(6)与NC控制装置(2)电性连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN110067026A (zh) * 2019-04-26 2019-07-30 山东天岳先进材料科技有限公司 一种碳化硅单晶及其pvt长晶方法
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