CN205333796U - 一种无探针检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种无探针检测系统，其设置在工件固定台(1)上方，包括由四根相互垂直的横杆(2)组成的方形横梁(4)，其特征在于，还包括轴臂(6)，探针组件(8)，测量臂(10)第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及第四动力装置，本实用新型摒弃了现有技术中探针位置固定不可调的设计，采用活动探针，并在每一次检测过程中，对检测点进行位置确定，从而防止因位置不准确而影响测试结果。

Description

一种无探针检测系统

技术领域

本实用新型涉及一种无探针检测系统。

背景技术

在集成电路产业链中，集成电路测试是唯一一个贯穿集成电路生产和应用全过程的产业。如果集成电路设计没有通过原型的验证测试，就不可能投入量产；量产中，如果没有通过探针测试台的中测，就无法在下一个工序中进行封装；而封装后的成品测试(成测)又是集成电路产品的最后工序，只有测试合格的电路才可能作为正式的集成电路产品出厂。而在随后的市场流通和工程应用中，集成电路还必须经过多种不同应用目标和不同使用条件的综合性或特需性测试。

现有技术中的集成电路的检测都是通过具有探针的测试仪，测试时，探针被压到电子产品的电路板上。其主要功能为检测电子产品在制造过程中所发生的缺陷，电子产品的缺陷势必要在出货前完成筛选，以增加产品的良率，否则会使产品无法发挥预期的功能，更严重者，可能因为一个不当的产品而使整批产品遭到退货，断送商机，甚至影响商誉。所以电子产品的检测成功与否很大程度上取决于探针质量的好坏，探针在使用过程中，容易出现与产品接触不良或者在使用多次后，出现磨损等现象从而导致测试不稳定，这对电子产品的测试具有非常大的影响。

因此亟需研究出一种能够降低上述缺点的检测系统。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够防止探针接触不良或磨损等导致测试不稳定的测试系统。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种无探针检测系统，其设置在工件固定台上方，包括由四根相互垂直的横杆组成的方形横梁，其特征在于，还包括：

-轴臂，至少设有两个，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆滑动连接；

-探针组件，其滑动连接在轴臂的底部，所述探针组件包括升降机构以及连接在所述升降机构下方的探针；

-测量臂，位于所述轴臂的正下方，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆滑动连接，所述测量臂的下方滑动连接有能够感测到工件上被测试点的光电测头，所述光电测头上还设有用于测量其分别到两个相互垂直的所述横杆距离的测距装置；

-第一动力装置和第二动力装置，分别用于驱动所述轴臂在所述横杆上的滑动以及所述探针组件在所述轴臂上的滑动，第一动力装置和第二驱动装置均通过PLC控制运动；

-第三动力装置和第四动力装置，分别用于分别驱动所述测量臂在所述横杆上的滑动以及所述光电侧头在所测量臂上的滑动。

作为本实用新型的进一步改进，所述所述第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及第四动力装置均为直线电机。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降装置为气缸。

本实用新型的有益效果在于，本实用新型摒弃了现有技术中探针位置固定不可调的设计，采用活动探针，并在每一次检测过程中，对检测点进行位置确定，从而防止因位置不准确而影响测试结果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

其中：1-固定台；2-横杆；4-横梁；6-轴臂；8-探针组件；10-测量臂；12-光电测头。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型包括由四根相互垂直的横杆2组成的方形横梁4，其特征在于，还包括：

-轴臂6，至少设有两个，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆2滑动连接；

-探针组件8，其滑动连接在轴臂6的底部，所述探针组件8包括升降机构以及连接在所述升降机构下方的探针；

-测量臂10，位于所述轴臂6的正下方，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆2滑动连接，所述测量臂10的下方滑动连接有能够感测到工件上被测试点的光电测头12，所述光电测头12上还设有用于测量其分别到两个相互垂直的所述横杆2距离的测距装置；

-第一动力装置和第二动力装置，分别用于驱动所述轴臂6在所述横杆2上的滑动以及所述探针组件8在所述轴臂6上的滑动，第一动力装置和第二驱动装置均通过PLC控制运动；

-第三动力装置和第四动力装置，分别用于分别驱动所述测量臂10在所述横杆2上的滑动以及所述光电侧头在所测量臂10上的滑动。

作为本实用新型的进一步改进，所述所述第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及第四动力装置均为直线电机。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降装置为气缸。

本实用新型的具体原来如下：

(1)待测点定位，通过第三动力装置和第四动力装置分别驱动测量臂10和光电测头12运动，当光电测头12位于待测点正上方时，光电测头12控制第三动力装置和第四动力装置停止运动，然后测距装置测量其分别到垂直的横杆2的距离，X1，Y1，建立坐标系(X1,Y1)，如此获得每个待测点的坐标(X2,Y2)、(X3,Y3)...(Xn,Yn)。

(2)探针运动，每个横杆2、轴臂6上第一动力装置、第二动力装置分别在PLC的作用下，运动到上述的坐标(X1,Y1)(X2,Y2)、(X3,Y3)...(Xn,Yn)的正上方，通过升降气缸运动，与待测点接触，完成测量。

本实用新型公开了一种无探针检测系统，其设置在工件固定台(1)上方，包括由四根相互垂直的横杆(2)组成的方形横梁(4)，其特征在于，还包括：轴臂(6)，至少设有两个，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆(2)滑动连接；探针组件(8)，其滑动连接在轴臂(6)的底部，所述探针组件(8)包括升降机构以及连接在所述升降机构下方的探针以及测量臂(10)，本实用新型摒弃了现有技术中探针位置固定不可调的设计，采用活动探针，并在每一次检测过程中，对检测点进行位置确定，从而防止因位置不准确而影响测试结果。

Claims (3)

1.一种无探针检测系统，其设置在工件固定台(1)上方，包括由四根相互垂直的横杆(2)组成的方形横梁(4)，其特征在于，还包括：

-轴臂(6)，至少设有两个，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆(2)滑动连接；

-探针组件(8)，其滑动连接在轴臂(6)的底部，所述探针组件(8)包括升降机构以及连接在所述升降机构下方的探针；

-测量臂(10)，位于所述轴臂(6)的正下方，且其首尾分别与两根相互平行的所述横杆(2)滑动连接，所述测量臂(10)的下方滑动连接有能够感测到工件上被测试点的光电测头(12)，所述光电测头(12)上还设有用于测量其分别到两个相互垂直的所述横杆(2)距离的测距装置；

-第一动力装置和第二动力装置，分别用于驱动所述轴臂(6)在所述横杆(2)上的滑动以及所述探针组件(8)在所述轴臂(6)上的滑动，第一动力装置和第二驱动装置均通过PLC控制运动；

-第三动力装置和第四动力装置，分别用于分别驱动所述测量臂(10)在所述横杆(2)上的滑动以及所述光电侧头在所测量臂(10)上的滑动。

2.根据权利要求1所述的一种无探针检测系统，其特征在于，所述第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及第四动力装置均为直线电机。

3.根据权利要求1所述的一种无探针检测系统，其特征在于，所述升降装置为气缸。