CN205328725U

CN205328725U - 一种用于电子工业的超纯水处理系统

Info

Publication number: CN205328725U
Application number: CN201520983665.9U
Authority: CN
Inventors: 刘远飞
Original assignee: DONGGUAN YINGYUAN WATER TREATMENT Co Ltd
Current assignee: DONGGUAN YINGYUAN WATER TREATMENT Co Ltd
Priority date: 2015-11-30
Filing date: 2015-11-30
Publication date: 2016-06-22
Anticipated expiration: 2025-11-30

Abstract

本实用新型属水处理技术领域，涉及一种超纯水处理系统，具体涉及一种用于电子工业的超纯水处理系统。本实用新型一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统。本实用新型通过设置预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统，可实现出水水质稳定，自动化程度高，连续运行，操作简单，终端产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，可避免二次污染。

Description

一种用于电子工业的超纯水处理系统

技术领域

本实用新型属水处理技术领域，涉及一种超纯水处理系统，具体涉及一种用于电子工业的超纯水处理系统。

背景技术

现有的电子工业用超纯水设备主要用于单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线框架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水，产水水质电导阻率≤18MΩ·cm，且在水处理过程中有二次污染，出水水质不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，避免二次污染，出水水质稳定，用于电子工业的超纯水处理系统，以解决现有技术中的不足之处。

本实用新型采用的技术方案是：一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统；

所述预处理系统用于去除原水中的颗粒物、有机胶体和氧化性物质，由通过管路依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化水过滤器以及保安过滤器构成；

所述RO系统的主要作用是脱盐，去除原水中约98％的盐类和有机物，去除水中可能含有的颗粒物，安装于保安过滤器后，由通过管路依次连接的一级高压泵、一级RO反渗透装置、一级纯水箱、二级高压泵、二级RO反渗透装置、二级纯水箱构成；

所述EDI系统其主要作用是降低水的电导率，使出水水质达到高纯水要求，安装于二级纯水箱后，由通过管路依次连接的EDI增压泵、EDI装置、EDI超纯水箱、超纯水供水泵构成；

所述供水系统，安装在超纯水供水泵后，由通过管路依次连接的杀菌装置、抛光混床、精密过滤器构成，精密过滤器通过管路连接至用水点；

所述自动控制系统设有控制柜和PLC自动控制器，连接自动控制预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统。

本实用新型进一步改进之处还在于：

所述软化水过滤器与保安过滤器之间通过管路连接有阻垢装置。

所述一级RO反渗透装置与一级纯水箱之间通过管路连接有PH调节装置。

所述杀菌装置采用过流式紫外灯。

所述一级纯水箱、二级纯水箱、EDI超纯水箱采用PE材料制作。

所述精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯。

本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：

1、本实用新型通过设置预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统，可实现出水水质稳定，自动化程度高，连续运行，操作简单，终端产水水质电导阻率≥18MΩ·cm，可避免二次污染。

2、过流式紫外灯能杀菌消毒，同时能分解水中多余的臭氧，使直饮水中臭氧浓度保持在安全范围内。

3、一级纯水箱、二级纯水箱对系统的给水起调节作用，采用PE材料制作，不会产生第二次污染。

4、EDI超纯水箱用于存储EDI系统制取的超纯水，为后面的供水系统提高更好的稳定性，采用PE材料制作，不会产生第二次污染。

5、精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯，能滤除微滤和热源，使进入管网的水更干净卫生。

附图说明

图1是本实用新型水处理流程方框图。

1.原水箱，2.原水泵，3.石英砂过滤器，4.活性炭过滤器，

5.软化水过滤器，6.阻垢装置，7.保安过滤器，

8.一级高压泵，9.一级RO反渗透装置，10.PH调节装置，

11.一级纯水箱，12.二级高压泵，13.二级RO反渗透装置，

14.二级纯水箱，15.EDI增压泵，16.EDI装置，

17.EDI超纯水箱，18.超纯水供水泵，19.杀菌装置，

21.精密过滤器，22.用水点。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

如图1所示，一种用于电子工业的超纯水处理系统，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统；

所述预处理系统由通过管路依次连接的原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、软化水过滤器5以及保安过滤器7构成，所述软化水过滤器5与保安过滤器7之间通过管路连接有阻垢装置6；

所述RO系统，安装于保安过滤器7后，由通过管路依次连接的一级高压泵8、一级RO反渗透装置9、一级纯水箱11、二级高压泵12、二级RO反渗透装置13、二级纯水箱14构成，所述一级RO反渗透装置9与一级纯水箱11之间通过管路连接有PH调节装置10，所述一级纯水箱11、二级纯水箱14采用PE材料制作，不会产生第二次污染；

所述EDI系统，安装于二级纯水箱14后，由通过管路依次连接的EDI增压泵15、EDI装置16、EDI超纯水箱17、超纯水供水泵18构成，所述EDI超纯水箱17存储EDI系统制取的超纯水，为后面的供水系统提高更好的稳定性，采用PE材料制作，不会产生第二次污染；

所述供水系统，安装在超纯水供水泵18后，由通过管路依次连接的杀菌装置19、抛光混床20、精密过滤器21构成，精密过滤器21通过管路连接至用水点22，所述杀菌装置19采用过流式紫外灯，能分解水中多余的臭氧，使直饮水中臭氧浓度保持在安全范围内，所述精密过滤器21内装有0.22μm微滤滤芯，能滤除微滤和热源，使进入管网的水更干净卫生；

本实用新型水处理过程：原水首先依次经过预处理系统中的原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、软化水过滤器5、阻垢装置6以及保安过滤器7，原水中的颗粒物、有机胶体和氧化性物质被去除；然后依次经过RO系统中的一级高压泵8、一级RO反渗透装置9、PH调节装置10、一级纯水箱11、二级高压泵12、二级RO反渗透装置13、二级纯水箱14，原水中约98％的盐类和有机物以及水中含有的颗粒物去除；再依次经过EDI系统中的EDI增压泵15、EDI装置16、EDI超纯水箱17、超纯水供水泵18，水的电阻导率提高，出水水质达到高纯水要求；最后依次经过供水系统中的杀菌装置19、抛光混床20、精密过滤器21，进一步杀菌过滤和提高水的电导阻率，电导阻率≥18MΩ·cm；上述预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统在自动控制系统PLC自动控制器的控制下自动、安全可靠的运行。

上述实施方式只是实用新型的一个实施例，不是用来限制本实用新型的实施与权利范围，凡依据实用新型申请专利保护范围所述的内容做出的等效变化和修饰，均应包括在本实用新型申请专利范围内。

Claims

1.一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，包括预处理系统、RO系统、EDI系统、供水系统以及自动控制系统；

所述预处理系统由通过管路依次连接的原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化水过滤器以及保安过滤器构成；

所述RO系统，安装于保安过滤器后，由通过管路依次连接的一级高压泵、一级RO反渗透装置、一级纯水箱、二级高压泵、二级RO反渗透装置、二级纯水箱构成；

所述EDI系统，安装于二级纯水箱后，由通过管路依次连接的EDI增压泵、EDI装置、EDI超纯水箱、超纯水供水泵构成；

2.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述软化水过滤器与保安过滤器之间通过管路连接有阻垢装置。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述一级RO反渗透装置与一级纯水箱之间通过管路连接有PH调节装置。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述杀菌装置采用过流式紫外灯。

5.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述一级纯水箱、二级纯水箱、EDI超纯水箱采用PE材料制作。

6.根据权利要求1所述的一种用于电子工业的超纯水处理系统，其特征在于，所述精密过滤器内装有0.22μm微滤滤芯。