CN203284280U - 一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，包括：二级RO水箱（1）；脱气膜装置（3）；UV元件（2），其安装于二级RO水箱与脱气膜装置之间的输送管路；EDI装置（4），其接于脱气膜装置的出口端；氮封水箱（5），其接于EDI装置的出口端；抛光混床（6），其接于氮封水箱的出口端；终端超滤器（8），其安装于超纯水设备的末端；UV杀菌装置（7），其安装于抛光混床与终端超滤器之间的输送管路；所述终端超滤器与氮封水箱之间设有循环回路管道。本实用新型的有益效果是：由于整套系统中增加185UV除TOC装置和脱气膜装置，并且循环回路管道采用PVDF洁净管道，保证超纯水的所有用水点水质大于18MΩ·cm。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置。
背景技术
在太阳能光伏行业需要超纯水设备--单／多晶硅、硅片切割、太阳能电池、半导体硅材料工艺超纯水。
在电子工业需要超纯水设备--半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线框架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器、件等生产工艺用超纯水。
在国防科技中尖端的工业生产，如航空工业，他们因研究的需要，要模拟万米以上的高空环境，这样就需要超纯水的水来制造云层或近地太空环境。
在国家支持的尖端生物研究，比方说很多保密的免疫疫苗生产、尖端药物研究、大型的超洁净实验室等，这些都要求水中不含有任何的杂质的超纯水。
生产与光有关的企业，如相机镜头、高级镜片、微观环境显示灯等，都要用到超纯的水来进行冲刷，这样的行业比较闭塞，需要有十足的客户资源才能做好。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，包括：
二级RO水箱（1）；
脱气膜装置（3）；
UV元件（2），其安装于二级RO水箱与脱气膜装置之间的输送管路；
EDI装置（4），其接于脱气膜装置的出口端；
氮封水箱（5），其接于EDI装置的出口端；
抛光混床（6），其接于氮封水箱的出口端；
终端超滤器（8），其安装于超纯水设备的末端；
UV杀菌装置（7），其安装于抛光混床与终端超滤器之间的输送管路；
所述终端超滤器与氮封水箱之间设有循环回路管道。
进一步，所述UV元件的波长为185nm，185nm紫外线去除水中的有机物原理如下列反应式：
TOC+ UV→ CO2 + H2O。
利用紫外射线将水中的碳水化合物的碳键打断，在足够的照射剂量照射下，绝大部分有机物被分解成CO2和H2O, CO2被脱气膜装置除去，水中残留TOC降至ppb级,而其它被离子化的物质，接下来由后续工艺设备吸附净化。
进一步，所述UV杀菌装置波长为254nm的紫外线杀菌器。
进一步，超纯水设备的输送管路采用不锈钢制成。
进一步，所述循环回路管道采用PVDF管道。
本实用新型具有如下有益效果：
1、由于整套系统中增加185UV除TOC装置和脱气膜装置，并且循环回路管道采用PVDF洁净管道，保证超纯水的所有用水点水质大于18MΩ·cm。
2、整个超纯水设备不仅仅能够产出高质量的超纯水，而且采用循环回路设计，能够有效的对于设备中的超纯水进行保存。
3、保证所有用水点>18MΩ·cm，短时间能达到18.2 MΩ·cm理论 值。
4、由于反渗透膜无法滤除水中溶解的CO2、O2和其他气体，在反渗透系统后专门设计脱气膜装置，它对水中的CO2脱出率可达到85%以上，同时对DO也有很高的脱除率。
附图说明
图1为一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其包括：二级RO水箱1；脱气膜装置3；UV元件2，其安装于二级RO水箱与脱气膜装置之间的输送管路；EDI装置4，其接于脱气膜装置的出口端；氮封水箱5，其接于EDI装置的出口端；抛光混床6，其接于氮封水箱的出口端；终端超滤器8，其安装于超纯水设备的末端；UV杀菌装置7，其安装于抛光混床与终端超滤器之间的输送管路；所述终端超滤器与氮封水箱之间设有循环回路管道9，所述循环回路管道采用PVDF管道，至用水点的所有超纯水再循环进入氮封水箱，确保用水点水质指标大于18MΩ·cm。
作为UV元件，其具备波长为185nm的紫外光，能够与水发生化学反应，而生成的强氧化能力的羟基自由基OH-，它能有效的击碎有机物的C-H-O链，使得有机物变成无机盐而被EDI装置或精混床脱除，在高纯水和超纯水制取工艺中，应用185nm的紫外光去除TOC，将二级RO水箱产水中的有机物氧化，降解为带电物质而被EDI装置和抛光树脂清除。在整个超纯水制取工艺中，应用185nm的紫外光去除TOC装置是脱除TOC而获取电子一级水的可靠保证。
纯水中的O2、CO2等气体对太阳能电池硅片制造工艺有很大损害， 并且这些气体附着在树脂颗粒周围，会严重影响EDI装置的纯水室中的离子交换树脂的交换能力，因此对O2、CO2等气体的脱除就显得异常重要。本超纯水设备采用的脱气膜由于只透气不透水，对气体种类没有选择性，可以在负压下将溶解在水中的各种气体以微小气泡的形式逸出，大大提高了脱气效率，且成本低、体积小，DO脱除率可达95%以上。
细菌在不流动的水中或纯水管道设备的拐弯、死角、缝隙部分极易滋生和繁殖，为了保护产水水质稳定，必须要考虑纯水循环流动时有足够流量和压力，仅仅制造超纯水还不够完善，还应该具有输送和保存高纯水和超纯水的方法，鉴于此，我们在抛光混床前设置超纯水循环回路，在循环回路中设置波长为254nm的紫外线杀菌器和终端超滤器，可以保证各个用水点的水质达到要求。
超纯水设备的输送管路采用不锈钢制成。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅限于上述实施方式，凡是属于本实用新型原理的技术方案均属于本实用新型的保护范围。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理的前提下进行的若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，包括：
二级RO水箱（1）；
脱气膜装置（3）；
UV元件（2），其安装于二级RO水箱与脱气膜装置之间的输送管路；
EDI装置（4），其接于脱气膜装置的出口端；
氮封水箱（5），其接于EDI装置的出口端；
抛光混床（6），其接于氮封水箱的出口端；
终端超滤器（8），其安装于超纯水设备的末端；
UV杀菌装置（7），其安装于抛光混床与终端超滤器之间的输送管路；
所述终端超滤器与氮封水箱之间设有循环回路管道。
2.如权利要求1所述的一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，所述UV元件的波长为185nm。
3.如权利要求1所述的一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，所述UV杀菌装置波长为254nm的紫外线杀菌器。
4.如权利要求1所述的一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，超纯水设备的输送管路采用不锈钢制成。
5.如权利要求1所述的一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，所述循环回路管道采用PVDF管道。
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| CN106242100A (zh) * | 2015-06-05 | 2016-12-21 | 北京九章环境工程股份有限公司 | 一种碎屑岩油藏注水处理装置及其方法 |
| CN110156221A (zh) * | 2018-02-14 | 2019-08-23 | 湖州市腾跃环保科技有限公司 | 一体化的智能型超纯水系统 |
| CN110542270A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-12-06 | 扬州派斯特换热设备有限公司 | 一种pcw系统专用冷却机组 |
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