CN205313663U - 一种金属有机化学气相沉积设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积设备，包括箱体，所述箱体上设有反应腔，所述箱体的上端设有与反应腔连通的安装口，所述箱体的上端一侧设有进水管，所述安装口的上端设有预热装置，所述预热装置的一侧设有进气管，所述安装口内壁远离预热装置的一侧螺纹连接有出气装置，所述反应腔的底部设有凹槽，所述凹槽的底部通过连接轴连接有反应板，所述凹槽的下方通过导热板分隔形成加热腔。本实用新型该装置操作简单，通过箱体、反应板、导热板、绝热板、出水管、出气管、反应腔、出气装置、进气管、预热装置和进水口的配合，使得整个装置可以让化学反应的更加明显且彻底，为使用者提供了一种高效且快速的金属有机化学气相沉积设备。
Description
技术领域
本实用新型涉及沉积设备技术领域，尤其涉及一种金属有机化学气相沉积设备。
背景技术
金属有机化学气相沉积是制备混合半导体器件、金属、及金属氧化物薄膜材料的一种技术。，加热系统是MOCVD设备的重要组成部分，它能否快速、均匀加热衬底，直接影响薄膜沉积的质量、厚度一致性，以及芯片的性能，传统的MOCVD存在因加热器问题导致薄膜材料形成质量差的问题，而且传统的加热器的使用寿命短，需要定期更换，使用不便，需在MOCVD设备中设置过滤装置，由过滤装置对反应腔中产生的固体废弃物进行过滤，避免固体废弃物到达真空泵，对真空泵造成损坏从而影响反应腔压力，并且大多的金属有机化学气相沉积设备不能使得化学反应处于一种适宜的温度下，从而对反应造成一定的损失。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种金属有机化学气相沉积设备。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种金属有机化学气相沉积设备，包括箱体，所述箱体上设有反应腔，所述箱体的上端设有与反应腔连通的安装口，所述箱体的上端一侧设有进水管，所述安装口的上端设有预热装置，所述预热装置的一侧设有进气管，所述安装口内壁远离预热装置的一侧螺纹连接有出气装置，所述反应腔的底部设有凹槽，所述凹槽的底部通过连接轴连接有反应板，所述凹槽的下方通过导热板分隔形成加热腔，所述加热腔的内壁上覆盖有绝热板，所述箱体上设有与凹槽连通的出气管，所述箱体上设有与反应腔连通的出水管。
优选地，所述进水管和箱体为一体成型。
优选地，所述箱体的底面设有防滑纹。
优选地，所述进气管、出气管和出水管上均设有阀门。
本实用新型中，使用者使用该装置时，可以将将水从进水管上注入，进而使得水进入反应腔中，在反应板上可以充分反应，进而将进气管打开，使得反应气体进入预热装置，进而使得反应气体可以在一定的温度下，使得反应进行的更加彻底，并且底部的加热腔，也会使得整个反应板上的温度处于一定的温度下，进而使得反应在适宜的温度下，并且出气管和出水管也会不断地将反应中剩余的水和反应气体进行回收，实现反应更加彻底有效，该装置操作简单，通过箱体、反应板、导热板、绝热板、出水管、出气管、反应腔、出气装置、进气管、预热装置和进水管的配合，使得整个装置可以让化学反应的更加明显且彻底，为使用者提供了一种高效且快速的金属有机化学气相沉积设备。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种金属有机化学气相沉积设备的结构示意图。
图中：1箱体、2反应板、3导热板、4绝热板、5出水管、6出气管、7反应腔、8出气装置、9进气管、10预热装置、11进水管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1，一种金属有机化学气相沉积设备，包括箱体1，箱体1的底面设有防滑纹，箱体1上设有反应腔7，箱体1的上端设有与反应腔7连通的安装口，箱体1的上端一侧设有进水管11，进水管11和箱体1为一体成型，安装口的上端设有预热装置10，预热装置10的一侧设有进气管9，安装口远离预热装置10的一侧螺纹连接有出气装置8，反应腔7的底部设有凹槽，凹槽的底部通过连接轴连接有反应板2，凹槽的下方通过导热板3分隔形成加热腔，加热腔的内壁上覆盖有绝热板4，箱体1上设有与凹槽连通的出气管6，箱体1上设有与反应腔7连通的出水管5，进气管9、出气管6和出水管5上均设有阀门。
本实用新型中使用者使用该装置时，可以将将水从进水管11上注入，进而使得水进入反应腔7中，在反应板2上可以充分反应，进而将进气管9打开，使得反应气体进入预热装置10，进而使得反应气体可以在一定的温度下，使得反应进行的更加彻底，并且底部的加热腔，也会使得整个反应板2上的温度处于一定的温度下，进而使得反应在适宜的温度下，并且出气管6和出水管5也会不断地将反应中剩余的水和反应气体进行回收，实现反应更加彻底有效。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括箱体（1），所述箱体（1）上设有反应腔（7），其特征在于，所述箱体（1）的上端设有与反应腔（7）连通的安装口，所述箱体（1）的上端一侧设有进水管（11），所述安装口的上端设有预热装置（10），所述预热装置（10）的一侧设有进气管（9），所述安装口内壁远离预热装置（10）的一侧螺纹连接有出气装置（8），所述反应腔（7）的底部设有凹槽，所述凹槽的底部通过连接轴连接有反应板（2），所述凹槽的下方通过导热板（3）分隔形成加热腔，所述加热腔的内壁上覆盖有绝热板（4），所述箱体（1）上设有与凹槽连通的出气管（6），所述箱体（1）上设有与反应腔（7）连通的出水管（5）。
2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述进水管（11）和箱体（1）为一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述箱体（1）的底面设有防滑纹。
4.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述进气管（9）、出气管（6）和出水管（5）上均设有阀门。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108866511A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-11-23 | 陆挚译 | 一种化学气相沉积装置 |
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| CN108866511A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-11-23 | 陆挚译 | 一种化学气相沉积装置 |
| CN108866511B (zh) * | 2018-09-04 | 2020-08-28 | 金华职业技术学院 | 一种化学气相沉积装置 |
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