CN205223405U - 一种单晶炉用直线导轨测径仪 - Google Patents
一种单晶炉用直线导轨测径仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205223405U CN205223405U CN201520678754.2U CN201520678754U CN205223405U CN 205223405 U CN205223405 U CN 205223405U CN 201520678754 U CN201520678754 U CN 201520678754U CN 205223405 U CN205223405 U CN 205223405U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- linear guide
- single crystal
- caliper
- crystal growing
- growing furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Abstract
本实用新型的目的是开发一种直线导轨式单晶炉用测径仪，解决了传统电子标尺滑动过程中不稳定，长时间使用后标尺变形，影响测量精度的问题。具体的方案为：一种单晶炉用直线导轨测径仪，包括一测径仪基座，测径仪基座上设置有直线导轨，直线导轨上设置有标尺,滑块安装在直线导轨上并沿直线导轨运动，滑块上还固定有光学镜头。本实用新型在基座上设有标尺及直线导轨，将镜头安装在滑块上，通过直线导轨上的滑块进行滑动，从而读出准确的数据，既便于操作，又增强了直尺的稳定性，防止直尺变形，从而提高测量精度。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，特别涉及一种单晶炉用直线导轨测径仪。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。单晶成型后，一般采用外带测径仪测取其单晶的直径。
现有技术是在单晶炉观察窗口安装电子数显测径仪来测量单晶硅棒直径。现有的技术测量过程中不稳定、容易松动使得测量存在误差、安装不牢靠、标尺变形等问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是开发一种直线导轨式单晶炉用测径仪，解决了传统电子标尺滑动过程中不稳定，长时间使用后标尺变形，影响测量精度的问题。主要由基座、直线导轨、标尺、滑块以及镜头几部分组成。
具体的方案为：一种单晶炉用直线导轨测径仪，包括
一测径仪基座，
测径仪基座上设置有直线导轨，直线导轨上设置有标尺,滑块安装在直线导轨上并沿直线导轨运动，滑块上还固定有光学镜头。
如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述直线导轨用沉头螺丝固定在测径仪基座上；
如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述光学镜头的支架与滑块通过焊接固定在一起；
如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述滑块与标尺之间在垂直方向上有设定有3～5mm距离；
如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述测径仪基座水平两端设置有测径仪基座固定孔；
本实用新型在基座上设有标尺及直线导轨，将镜头安装在滑块上，通过直线导轨上的滑块进行滑动，从而读出准确的数据，既便于操作，又增强了直尺的稳定性，防止直尺变形，从而提高测量精度。
说明书附图
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做详细说明。
参照图1，各个部件的名称为：
测径仪基座固定孔1滑块2
光学镜头3测径仪基座4
直线导轨5标尺6
沉头螺丝7
在使用时，测径仪基座4置于单晶炉主观察窗之上，两端均有基座固定螺丝，用基座固定螺丝安装在测径仪基座固定孔1固定后，测径仪基座4不会再左右晃动。直线导轨5用沉头螺丝7固定在测径仪基座4上，光学镜头3与滑块2焊接在一起。滑块2可以在直线导轨5上来回滑动自如，解决了数显测径仪滑块在标尺上滑动不灵活的问题。滑块2与标尺6之间在垂直方向上有一定距离，解决了数显测径仪标尺长时间承重变形的问题。通过光学镜头3定位单晶硅棒左右两条切线，滑块2滑动的位移来计算测量单晶硅棒的直径。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种单晶炉用直线导轨测径仪，其特征在于：包括
一测径仪基座(4)，
测径仪基座(4)上设置有直线导轨(5)，直线导轨(5)上设置有标尺(6),滑块(2)安装在直线导轨(5)上并沿直线导轨(5)运动，滑块(2)上还固定有光学镜头(3)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，其特征在于：所述直线导轨(5)用沉头螺丝(7)固定在测径仪基座(4)上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，其特征在于：所述光学镜头(3)的支架与滑块(2)通过焊接固定在一起。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，其特征在于：所述滑块(2)与标尺(6)之间在垂直方向上有设定有3～5mm距离。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，其特征在于：所述测径仪基座(4)水平两端设置有测径仪基座(4)固定孔(1)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520678754.2U CN205223405U (zh) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | 一种单晶炉用直线导轨测径仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520678754.2U CN205223405U (zh) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | 一种单晶炉用直线导轨测径仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205223405U true CN205223405U (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=55898482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520678754.2U Expired - Fee Related CN205223405U (zh) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | 一种单晶炉用直线导轨测径仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205223405U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110004492A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-07-12 | 苏州新美光纳米科技有限公司 | 长晶炉内监测方法及长晶炉 |
-
2015
- 2015-09-02 CN CN201520678754.2U patent/CN205223405U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110004492A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-07-12 | 苏州新美光纳米科技有限公司 | 长晶炉内监测方法及长晶炉 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203396314U (zh) | 一种拉绳式位移计标定装置 | |
| CN110528070B (zh) | 直拉单晶直径测量方法 | |
| CN2917582Y (zh) | 数字显示式脑立体定位仪 | |
| CN205223405U (zh) | 一种单晶炉用直线导轨测径仪 | |
| CN209147900U (zh) | 一种轴承外圈的斜面和滚槽检测装置 | |
| CN215767015U (zh) | 一种隧道拱顶沉降测量辅助装置 | |
| CN216406226U (zh) | 一种建筑施工用砌砖方向校准确定工具 | |
| CN206073869U (zh) | 坩埚底部厚度检测装置 | |
| CN210796695U (zh) | 一种单晶炉用直线导轨测径仪 | |
| CN204555924U (zh) | 一种基于图像处理的摩擦片内外径测量系统 | |
| CN210154989U (zh) | 一种液体表面张力系数测量装置 | |
| CN204567036U (zh) | 一种数学教学中学生专用的几何绘图圆规 | |
| CN209727088U (zh) | 一种城市规划用的定线测量塔尺 | |
| CN206438202U (zh) | 一种多晶铸锭炉余料测量装置 | |
| CN207564682U (zh) | 一种轨枕外形尺寸控制及测量装置 | |
| CN204881528U (zh) | 坩埚液位测量仪 | |
| CN209307513U (zh) | 一种用于多晶长晶测试的装置 | |
| CN204128456U (zh) | 一种测量玻璃原板宽的装置 | |
| CN206627063U (zh) | 测量装置及基板玻璃垂度测量设备 | |
| CN207556506U (zh) | 一种轴箱体与构架基准面间隙尺寸测量装置 | |
| CN220153424U (zh) | 一种碳化硅单晶生长炉高精度籽晶位测量装置 | |
| CN202158836U (zh) | 一种测量晶体位置的装置 | |
| CN219015142U (zh) | 一种建筑工程造价专用测量尺 | |
| CN218973480U (zh) | 一种横坡度检测仪 | |
| CN204240887U (zh) | 一种压制螺纹钢辊环槽肋测量工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160511 Termination date: 20170902 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |