CN205211708U - 温度控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种温度控制装置。本实用新型温度控制装置，包括：用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环泵；所述加热装置包含加热回路以及加热器，所述加热回路包括加热箱和导热管；所述导热管的两端均与所述加热箱连接，且所述导热管至少一部分位于所述贮液箱外，且能够对处于所述贮液箱内部的刻蚀液进行加热，所述加热器固定于所述加热箱内部，能够对所述加热箱的内部的液体进行加热，所述循环泵设置在所述加热回路上，且用于为所述加热回路内的液体流动提供动力。本实用新型实现了降低生产过程的危险性，显著提高了安全性的效果。

Description

温度控制装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种温度控制装置。

背景技术

目前，在平板显示及半导体行业中，生产过程中多种工序中均会用到液体材料的传输和供给，例如涂覆光刻胶、显影液喷涂和晶片处理等等，其中晶片处理的工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀两种。

湿法刻蚀主要利用液态化学试剂与被刻蚀材料发生化学反应进行刻蚀的技术，湿法刻蚀工艺主要是通过湿法刻蚀设备进行实现的。湿法刻蚀设备中设置有放置刻蚀液的贮液箱，通过在贮液箱中安装加热器对刻蚀液加热。

现有技术中的贮液箱，由于加热器安装在贮液箱的内部，导致加热器容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性。

实用新型内容

本实用新型提供一种温度控制装置，以解决现有技术中贮液箱，由于加热器安状在贮液箱的内部，导致加热器容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题。

本实用新型提供一种温度控制装置，包括：用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环泵；

所述加热装置包含加热回路以及加热器，所述加热回路包括加热箱和导热管；

所述导热管的两端均与所述加热箱连接，且所述导热管至少一部分位于所述贮液箱外，且能够对处于所述贮液箱内部的刻蚀液进行加热，所述加热器固定于所述加热箱内部，能够对所述加热箱的内部的液体进行加热，所述循环泵设置在所述加热回路上，且用于为所述加热回路内的液体流动提供动力。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：第一阀门；所述第一阀门设置于所述加热箱与所述贮液箱之间，且所述导热管内的液体由所述加热箱经所述第一阀门流向所述贮液箱。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：输出管和第二阀门；所述输出管与所述加热箱连接，用于将所述加热箱内的液体排出，所述第二阀门设置在所述输出管上。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：用于产生冷却介质的冷却单元和输送管；

所述循环泵设置在所述导热管上，所述输送管与所述导热管的连接部位位于所述第一阀门与所述循环泵之间；所述冷却单元与所述输送管连接。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：第三阀门；所述第三阀门设置在所述输送管上。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：输入管；

所述输入管与所述加热箱连接。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：第四阀门，所述第四阀门设置在所述输入管上。

进一步地，上述温度控制装置中，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门以及第四阀门各自为手动阀门或自动阀门。

进一步地，上述温度控制装置中，所述装置还包括：温度计；

所述温度计设置在所述贮液箱内。

进一步地，上述温度控制装置中，按照所述加热管内的液体流向，所述导热管的液体流出端位于所述加热箱的上部，所述导热管的液体流入端位于所述加热箱的下部。

本实用新型温度控制装置，包括用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环泵，加热装置包含加热回路以及加热器，加热回路包括加热箱和导热管，导热管的两端均与加热箱连接，且导热管至少一部分位于贮液箱外，且能够对处于贮液箱内部的刻蚀液进行加热，加热器固定于加热箱内部，能够对加热箱的内部的液体进行加热，循环泵设置在加热回路上，且用于为加热回路内的液体流动提供动力，解决了现有技术中的贮液箱，由于加热器安装在贮液箱的内部，导致加热器容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题，实现了降低生产过程的危险性，显著提高了安全性的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型温度控制装置实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型温度控制装置实施例二的结构示意图；

图3为本实用新型温度控制装置实施例三的结构示意图。

附图标记：

10--贮液箱

11--加热装置

110--加热回路

1100--加热箱

1101--导热管

111--加热器

12--循环泵

13--第一阀门

14--输出管

15--第二阀门

16--冷却单元

17--输送管

18--第三阀门

19--输入管

20--第四阀门

21--温度计

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

图1为本实用新型温度控制装置实施例一的结构示意图，如图1所示，本实施例的温度控制装置，包括：用于盛放刻蚀液的贮液箱10、加热装置11和循环泵12。

其中，加热装置11包含加热回路110以及加热器111，本实施例中使用的加热器111既要避免与刻蚀液直接接触，又不能够脱离液体直接对贮液箱10进行加热，因此，通过设置加热回路110来传递加热器111产生的热量，从而对贮液箱10内的刻蚀液以热传递的方式进行加热。加热回路110包括加热箱1100和导热管1101，具体地，导热管1101的两端均与加热箱1100连接，且导热管1101至少一部分位于贮液箱10外，例如，导热管1101至少一部分位于贮液箱10外的底部、导热管1101至少一部分缠绕在贮液箱10的侧壁等方式，加热箱1100内的经过加热的液体流入导热管1101后，经过贮液箱10的位置，利用热传递的方式对贮液箱10内部的刻蚀液进行加热，通过这种方式，避免加热器111与刻蚀液直接接触，从而解决了现有技术中的加热装置11因为加热器111内置在贮液箱10中使得刻蚀液将加热器111腐蚀，造成刻蚀液泄露的问题。实现了降低生产过程的危险性的同时提高安全性、节约成本的效果。

本实施例中的加热器111固定于加热箱1100内部，例如，加热器111可以固定在加热箱1100的底部，也可以固定在加热箱111的侧壁上，还可以固定在加热箱1100的中心等，固定位置以生产过程中实际应用为准，在本实施例中只是示例性说明，通过加热器111能够对加热箱1100的内部的液体进行加热，经过加热的液体流入导热管1101中，实现了为加热贮液箱10内的刻蚀液提供热量的效果。并且，因加热回路110中加热箱1100的内部的液体在经过导热管1101后，通过热传递的方式对贮液箱10内的刻蚀液进行加热，当导热管1101内的液体温度降低后，因导热管1101内的液体没有流动性，从而导致无法对贮液箱内10内的刻蚀液持续加热。因此，需要设置循环泵12，循环泵12设置在加热回路110上，可以设置在加热回路110的上游、中游或下游，当循环泵12开始工作时，其产生的动力用于为加热回路110内的液体流动，即加热箱1100中被加热的液体流入导热管1101，对贮液箱10进行加热后，流回加热箱1100中，形成循环回路，实现了可以持续对贮液箱10内的刻蚀液进行加热的效果。

本实施例的温度控制装置实现了降低生产过程的危险性的同时显著提高了安全性、节约了生产成本的效果。

实施例二

图2为本实用新型温度控制装置实施例二的结构示意图，如图2所示，在上述实施例一的基础上，进一步地，本实施例的温度控制装置还包括：第一阀门13；输出管14和第二阀门15；输入管19和第四阀门20。

当需要对贮液箱10内的刻蚀液停止加热时，上述实施例中温度控制装置中设置的结构存在无法快速停止加热的问题，因此，通过设置第一阀门13来实现快速停止加热，第一阀门13设置于加热箱1100与贮液箱10之间，且导热管1101内的液体由加热箱1100经第一阀门13流向贮液箱10，这样设置的目的在于当需要停止加热时，关闭第一阀门13就将导热管1101内流动的液体从源头切断，使其无法流向贮液箱10，从而实现了对贮液箱10内的刻蚀液快速停止加热的效果。

另外，当温度控制装置第一次使用时，加热箱1100内还未注入液体时，如果没有设置第一阀门13，则液体可以直接流入导热管1101中，导致不能很好的对贮液箱10内的刻蚀液进行加热，因此需要关闭第一阀门13和循环泵12，待加热箱1100内的液体温度可以达到对贮液箱10内的刻蚀液进行加热的温度后，打开第一阀门13和循环泵12，使得经加热后的液体可以经由导热管1101对贮液箱10内的刻蚀液进行加热，从而实现了提高加热效率的效果。

需要更换加热箱1100内的液体或需要将加热箱内1100内的液体排出时，因温度控制装置中没有设置方便于加热箱1100内的液体排出的结构，因此在本实施例中还设置有输出管14，输出管14与加热箱1100连接，用于将加热箱1100内的液体排出，实现了快速、便利的将加热箱1100内的液体排出的效果，优选将输出管14设置在加热箱1100的侧面下部或底部，以使得加热箱1100内的液体可以完全排出，避免加热箱1100中残余液体，影响液体排出的效果。

设置输出管14后，当需要将加热箱1100中的液体部分排出时，现有的结构操作起来存在一定的困难，因此可以在输出管14上设置第二阀门15，以使得用户可以方便的对加热箱1100内液体的排出进行控制，实现了提高本实施例中温度控制装置的便利性及可控制性的效果。

当首次使用温度控制设备需要向加热箱1100中注入待加热的液体时，或者当需要再次向加热箱1100中注入待加热的液体时，可以通过输入管19向加热箱1100中输入液体，使得在向加热箱1100中输入液体时，可以方便用户操作，实现了提高本实施例中温度控制装置便利性的效果。

为了实现随时停止向加热箱1100中输入加热所需的液体，可以在输入管19上设置第四阀门20，其操作过程为打开第四阀门20，加热所需的液体可以流入加热箱1100中，当需要停止向加热箱1100中输入加热所需的液体时，关闭第四阀门20即可，方便用户控制向加热箱1100中注入液体，实现了提高本实施例中温度控制装置的便利性及可控制性的效果。

本实施例的温度控制装置，解决了现有技术中的贮液箱10，由于加热器111安装在贮液箱10的内部，导致加热器111容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题，实现了降低生产过程的危险性，提高了安全性和可控制性的效果的同时增强了操作的便利性。

实施例三

图3为本实用新型温度控制装置实施例三的结构示意图，如图2所示，在上述实施例二的基础上，进一步地，本实施例的温度控制装置还包括：产生冷却介质的冷却单元16、输送管17、第三阀门18和温度计21。

其中，在对加热箱1100内的液体不断加热的过程中，液体也通过导热管1101不断的对贮液箱10内的刻蚀液进行加热，通过设置在贮液箱10内的温度计21，测量贮液箱10内刻蚀液的温度，可以将温度计21的显示温度的部分设置在贮液箱10的外部，更有利于随时观察贮液箱10内刻蚀液的温度，实现了用户在生产过程中可以很直观的了解工艺进程，有利于用户操控该温度控制装置，提高生产效率。

当贮液箱10内的刻蚀液的温度高于工业生产所需要的温度时，就需要对贮液箱10内的刻蚀液进行降温，因此，为了实现迅速对贮液箱10内温度过高的刻蚀液进行降温，可以设置冷却单元16。冷却单元16与输送管17连接，用于向导热管1101中输送冷却液体，为了使得冷却单元16生成的冷却液体可以顺利的流入导热管1101的同时加热箱1100内的液体不会流入导热管1101，循环泵12设置在导热管1101上，并且输送管17需要连接在导热管1101位于第一阀门13与循环泵12之间的部分，这样设置的目的在于，需要对贮液箱10内的刻蚀液降温时，关闭第一阀门13，停止将加热箱1100内的液体继续流入导热管1101，在循环泵12的作用下，冷却单元16中生产的冷却液体可以经由输送管17进入导热管1101中，经过热量转换，对贮液箱10内的刻蚀液进行降温。实现了可以迅速对贮液箱10内的刻蚀液降温的效果。

当冷却单元16产生的冷却液体持续输入导热管1101中，导热管1101以及加热箱1100将会变为充满状态，因此，可以将输出管14上设置的第二阀门15打开，以利于当加热箱1100内的液体充满后，刻蚀液的温度还没有降低到工业生产所需的温度时，继续由输送管17向导热管1101中进入冷却液体，原加热箱1100内充满的液体可以经由输出管14输出，其实现了可以迅速对贮液箱10内的刻蚀液降温的效果。

当需要停止对贮液箱10内的刻蚀液降温时，就需要停止向导热管1101中流入冷却液体，因此，为了便于操作，可以在输送管17上设置第三阀门18。关闭第三阀门18后，即停止向导热管1101中流入冷却液体，进而停止对贮液箱10内的刻蚀液进行降温的操作，实现了用户可以根据需要进行控制的效果，提高了可操作性的同时便于控制。

本实施例的温度控制装置，在上述实施例的基础上，解决了现有技术中贮液箱10，由于加热器安装在贮液箱10的内部，导致加热器111容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题，实现了降低生产过程的危险性，显著提高了安全性、可操作性和可控制性的效果，并且能够提高生产效率。

在实际工业生产过程中的装置较为庞大，为了达到更好的加热与循环的效果，优选可以将导热管1101的一端位于加热箱1100的上部，使得导热管1101内的液体可以从加热箱1100的上部流入加热箱1100中，导热管1101的另一端位于加热箱1100的下部，使得导热管1101内的液体从加热箱1100的下部流出，流向循环泵12，使得加热回路110中的加热箱1100中的液体在重力的作用下有更好的循环效果，例如图1-3中所示的导热管1101的位置。

在实施例二和实施例三的温度控制装置中，第一阀门13、第二阀门15、第三阀门18和第四阀门20均可以设置为手动阀门或自动阀门。使用自动阀门既可以实现现场控制，也可以实现远距离控制，可以对单一阀门进行控制，也可以对多阀门进行集中控制，使用方便、精确度高。当自动阀门控制失灵或出现故障，会给工业生产造成一定的危险性，因此，也可以使用手动阀门来代替，提高安全系数。进一步地，也可以采用在同一位置设置自动阀门与手动阀门，在有利于操控的同时，提高安全系数。

本实用新型的温度控制装置使用方法流程之一：当需要对加热箱1100内的液体进行更换时，关闭第一阀门13和第三阀门18，打开第二阀门15，使得加热箱1100中的液体从输出管14中流出加热箱1100，当加热箱1100中的液体流尽后，打开第四阀门20，从输入管19中注入待加热的液体。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种温度控制装置，其特征在于，包括：用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环泵；

所述加热装置包含加热回路以及加热器，所述加热回路包括加热箱和导热管；

所述导热管的两端均与所述加热箱连接，且所述导热管至少一部分位于所述贮液箱外，且能够对处于所述贮液箱内部的刻蚀液进行加热，所述加热器固定于所述加热箱内部，能够对所述加热箱的内部的液体进行加热，所述循环泵设置在所述加热回路上，且用于为所述加热回路内的液体流动提供动力。

2.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：第一阀门；所述第一阀门设置于所述加热箱与所述贮液箱之间，且所述导热管内的液体由所述加热箱经所述第一阀门流向所述贮液箱。

3.根据权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：输出管和第二阀门；所述输出管与所述加热箱连接，用于将所述加热箱内的液体排出，所述第二阀门设置在所述输出管上。

4.根据权利要求3所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：用于产生冷却介质的冷却单元和输送管；

所述循环泵设置在所述导热管上，所述输送管与所述导热管的连接部位位于所述第一阀门与所述循环泵之间；所述冷却单元与所述输送管连接。

5.根据权利要求4所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：第三阀门；所述第三阀门设置在所述输送管上。

6.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：输入管；

所述输入管与所述加热箱连接。

7.根据权利要求6所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：第四阀门，所述第四阀门设置在所述输入管上。

8.根据权利要求7所述的温度控制装置，其特在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门以及第四阀门各自为手动阀门或自动阀门。

9.根据权利要求1-8任一项所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括：温度计；

所述温度计设置在所述贮液箱内。

10.根据权利要求1-8任一项所述的温度控制装置，其特征在于，按照所述加热管内的液体流向，所述导热管的液体流出端位于所述加热箱的上部，所述导热管的液体流入端位于所述加热箱的下部。