CN106708127A - 一种液体温控装置 - Google Patents

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    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G05D23/20—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature

Abstract

本发明提供一种液体温控装置，通过设置多根可以进行独立控制的加热装置及冷却装置，实现对流过所述加热装置及所述冷却装置的所述液体的温度进行精确控制，实现所述液体的温度控制在设定温度的±0.2℃～±3℃以内。同时，通过将所述温度控制器设于所述储液罐的外部，实现所述液体的流动，进而降低所述冷却装置与所述液体之间的热电阻，增加所述冷却装置的传热效率。同时，由于传热效率的增加，进一步的实现所述液体的准确控温。

Description

一种液体温控装置
技术领域
本发明涉及温度控制领域，尤其涉及一种液体温控装置。
背景技术
在现有的液晶面板的基板制作过程中，经常需要对基板进行湿法蚀刻，以得到所需的图案。而刻蚀液必须有相对稳定的一个温度，以保证所述基板在一定时间内实现相同的蚀刻效果。因此，就必须对所述蚀刻液进行一定的温度控制。
目前，一般的温控装置中的温控装置位于存放刻蚀液的储液罐中，冷却装置是一个整体设置的，且多个所述加热装置及所述冷却装置均统一控制。即多个所述加热装置同时工作或停止，多个所述冷却装置同时工作或停止，使得所述温控装置的温度控制精度较低，一般只能控制所述刻蚀液的温度在设定温度的±3℃以上。
发明内容
本发明的目的在于提供一种液体温控装置，提高所述液体温控装置的温度控制精度。
为了解决上述问题，本发明提供一种液体温控装置，包括储液罐、与所述储液罐连接的温度控制器及与所述温度控制器连接的液压泵，所述储液罐与所述温度控制器及所述液压泵之间通过管道进行连接形成循环系统，所述温度控制器包括可进行独立工作的多个加热装置及与每个所述加热装置相对应的冷却装置。
其中，所述温度控制器位于所述储液罐外部。
其中，所述温度控制器还包括多个控温管道，每一个加热装置与其相对应的冷却装置均位于所述控温管道内，多个所述控温管道串联连接。
其中，所述液体温控装置还包括两个温度感应器，所述每一温度传感器与所述管道连接，两个温度感应器分别位于所述温度控制器的两端。
其中，所述加热装置为石英加热棒。
其中，所述冷却装置为冷却水管道，每一所述冷却水管道缠绕于每一所述加热装置外部。
其中，所述管道包括进液管及出液管，所述进液管及所述出液管的一端连接所述储液罐，另一端连接所述控温管道。
其中，所述管道及所述冷却水管道为PVC管或PFC管。
其中，所述液体温控装置控制所述液体温度为设定温度的±0.2℃。
其中，所述冷却装置的传热系数为230W/m2·K。
本发明提供的所述液体温控装置，通过设置多根可以进行分别工作，独立控制的加热装置及冷却装置，实现对流过所述加热装置及所述冷却装置的所述液体的温度进行精确控制，实现所述液体的温度控制在设定温度的±0.2℃～±3℃以内。同时，通过将所述温度控制器设于所述储液罐的外部，实现所述液体的流动，进而降低所述冷却装置与所述液体之间的热电阻，增加所述冷却装置的传热效率。同时，由于传热效率的增加，进一步的实现所述液体的准确控温。
附图说明
为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。
图1是本发明实施例的结构示意图；
图2是本发明实施例中所述温度控制器的结构示意图。
具体实施例
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本申请的限制。
本发明提供一种液体温控装置，所述液体温控装置可以用于需要对存储于储液罐内的液体进行温度控制。
请参阅图1，本发明提供一种液体温控装置100。所述液体温控装置100包括储液罐10，与所述储液罐10连接的温度控制器20，与所述温度控制器20连接的液压泵30，所述储液罐10与所述温度控制器20及所述液压泵30之间通过管道进行连接，形成循环系统。通过所述温度控制器控制装于所述储液罐内的刻蚀液的温度，使所述刻蚀液满足基板刻蚀的要求，并实现所述刻蚀液高效及精确的温度控制。
所述储液罐10为具有一定形状的容器，用于临时存储液体。本实施例中，所述储液罐10为一个圆柱状罐体，用于存储用于基板刻蚀的刻蚀液，其材料为PVC、PFC或其它可以用于存储刻蚀液的材料。可以理解的是，若所述液体温控装置用于对其它液体进行控温，可相应调整所述储液罐的材料，且所述储液罐10可以为其它形状结构，如箱体结构等。所述管道包括包括进液管道11及出液管道12。所述储液罐10与所述进液管道11及所述出液管道12的一端连接。所述储液罐10上连接有一进液管道11及一出液管道12，所述出液管道12上连接一个液压泵30。本实施例中，所述储液罐10上还连接通过一传送管道14与一输液泵15连接，所述输液泵15通过所述传送管道14来抽取所述储液罐10中的蚀刻液，通过抽取出的所述蚀刻液对基板进行蚀刻。
所述温度控制器20位于所述储液罐10的外部。其中，所述温度控制器20包括可进行独立工作的多个加热装置21及与每个所述加热装置21相对应的冷却装置22。并且所述温度控制器20还包括多个控温管道23，每一个加热装置21与其相对应的冷却装置22均位于所述控温管道23内，多个所述加热装置21与冷却装置22所对应的多个所述控温管道23串联连接。每个所述控温管道23上均有一个进水口231及一个出水口232。所述进水口231中的任一个与所述进液管道11的另一端相连，所述出水口232中的人一个与所述出液管道12相连，从而通过所述进液管道11及所述出液管道12实现所述温度控制器20与所述储液罐10的连接。每个所述控温管道23的所述进水口231及所述出水口232中，除分别于所述进液管道11及所述出液管道12连接的所述进水口231及所述出水口232以外，其余的每个所述控温管道23的所述进水口231分别与另一所述控温管道23的所述出水口232连接，从而实现多个所述控温管道23的串联连接。所述控温管道23为PVC管或PFC管。本实施例中，所述控温管道23有三个，所述控温管道23为PVC管。
进行温度控制时，位于所述储液罐10中的液体从所述进液管道11通过与之连接的所述进水口231进入串联的各所述控温管道23中，并通过位于各所述控温管道23内的所述加热装置21或所述冷却装置22对所述液体的温度进行调整，以得到合适的液体温度。进一步的，将进行温度调整后的所述液体通过所述液压泵30的抽取作业，从所述出水口232经由所述出液管道12回流至所述储液罐10中。本实施例中，所述加热装置21为石英加热棒，所述冷却装置22为冷却水管道，每一所述冷却水管道均缠绕于与每一个其相对应的所述加热装置21上。可以理解的是，为了适应所述了液体温控装置的大小或者增强冷却效果，可以在每一所述加热装置上设置多个所述冷却装置。其中，所述冷却水管道为PVC管或PFA管。本实施例中，所述冷却水管道为PFA管。
所述冷却水管道通过缠绕的卷曲形状，可以实现增大与所述冷却装置22与所述液体之间的接触面积，从而提高换热效率。并且，通过使每一所述冷却水管道均缠绕于与每一个其相对应的所述加热装置21上，更进一步的增加了所述冷却装置22与所述液体之间的接触面积，进一步增加了换热效率。并且，由于把所述温度控制器20设于所述所述储液罐10的外部，与现有技术中将温度控制器直接布置于所述储液罐10的内部的装置相比，通过将所述温度控制器20位于所述储液罐10的外部，可以实现液体所述储液罐10内的液体在所述加热装置21及所述冷却装置22表面更高效的流动，从而提高传热效率。经测试，本实施例中，所述冷却装置的传热系数为230W/m2·K，而在同样的冷却水流量下，现有技术中所述冷却装置的传热系数仅为为123W/m2·K。进一步的，由于所述温度控制器20位于所述储液罐10的外部，使得所述储液罐10内除液体外无其它的东西，从而为所述储液罐10的保养提供了便利，去除了所述储液罐10的保养死角，从而提高所述储液罐10中液体的品质。
并且，由于多个所述加热装置21及所述冷却装置22均可进行独立工作。即在对液体的温度进行精确控制时，可以仅使一个或者两个所述加热装置21或所述冷却装置22进行工作，从而使液体的温度进行缓慢的增加或降低，实现对流经所述加热装置21及所述冷却装置22的液体更为精确的控温，可以实现控制所述液体温度在设定温度的±0.2℃～±3℃以内。本实施例中，对于所述液体的控温最精确可达±0.2℃。可以理解的是，通过改变加热或冷却装置的种类或者其数量，可以实现进一步的提高所述温度控制器20的控温精度。
进一步的，所述液体温控装置100还包括两根位于所述温度控制器20两端的温度传感器40。靠近所述进水口231一端的所述温度传感器40用于测量进入所述控温管道23中的所述液体的温度。若所述液体的温度比设定值更高，开启所述加热装置21来对所述液体进行加热，并且，则根据其温度差控制所述加热装置21的工作数量；若所述液体的温度比设定值更低，则开启所述冷却装置22来对所述液体进行降温，同样的，根据其温度差控制所述降温装置22的工作数量以进行温度的缓慢变化，实现更准确的控温。靠近所述出水口232一端的的所述温度传感器40用于测量实现温度调节后的所述液体的温度，并通过该温度传感器40的结果适量调节所述加热装置21或所述冷却装置22，以实现更高精度的控温。
以上所述为本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种液体温控装置，其特征在于，所述液体温控装置包括储液罐、与所述储液罐连接的温度控制器及与所述温度控制器连接的液压泵，所述储液罐、所述温度控制器及所述液压泵之间通过管道进行连接形成循环系统，所述温度控制器包括可进行独立工作的多个加热装置及与每个所述加热装置相对应的冷却装置。
2.如权利要求1所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述温度控制器位于所述储液罐外部。
3.如权利要求1或2所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述温度控制器还包括多个控温管道，每一个加热装置与其相对应的冷却装置均位于同一所述控温管道内，多个所述控温管道串联连接。
4.如权利要求3所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述液体温控装置还包括两个温度感应器，所述温度传感器插入所述控温管道内，两个温度感应器分别位于所述温度控制器的两端。
5.如权利要求1所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述冷却装置缠绕于每一所述加热装置外部。
6.如权利要求5所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述加热装置为石英加热棒，所述冷却装置为冷却水管道。
7.如权利要求6所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述冷却水管道为PVC管或PFC管。
8.如权利要求1所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述管道包括进液管道及出液管道，所述进液管道及所述出液管道的一端均连接所述储液罐，另一端连接所述控温管道。
9.如权利要求1所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述液体温控装置控制所述液体温度为设定温度的±0.2℃。
10.如权利要求1所述的一种液体温控装置，其特征在于，所述冷却装置的传热系数为230W/m2·K。
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