CN205081103U - 一种用于放置片状元件的托盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于放置片状元件的托盘，包括：基板；固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。本实用新型的用于放置片状元件的托盘，与现有技术相比，解决了外部的机械手将片状元件放置在托盘上和从托盘上抓取时效率低且托盘易被损坏的技术问题。

Description

一种用于放置片状元件的托盘

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及到一种用于放置片状元件的托盘。

背景技术

异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。在异质结太阳能电池的制备工艺中，包括清洗制绒、PECVD、物理气相沉积、丝网印刷、退火等工艺步骤；其中，等离子体增强化学气相沉积工艺(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称PECVD)是最核心的工艺之一。在PECVD工艺过程中需要用到承载硅片的托盘，如图1和图2所示，包括基板10，基板的表面设置有若干用于承载硅片的凹槽20。在PECVD工艺过程中，首先，机械手将硅片放置在托盘的凹槽20内；之后，将托盘传送至PECVD设备内对硅片的上表面进行镀膜；然后，将硅片翻面，对硅片的上表面进行镀膜；在镀膜工艺完成后，托盘被传出PECVD设备，由机械手将硅片从托盘上抓取至传送带，进行下一工艺。在这个过程中，机械手需要多次将硅片放置在托盘的凹槽内，多次从托盘的凹槽内抓取硅片。由于凹槽槽壁的存在，机械手会与凹槽槽壁多次接触，一方面，导致机械手对硅片放置和抓取的效率低，另一方面，导致托盘容易损坏。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于放置片状元件的托盘，与现有技术相比，解决了外部的机械手将片状元件放置在托盘上和从托盘上抓取时效率低且托盘易被损坏的技术问题。

本实用新型公开了以下技术方案：

一种用于放置片状元件的托盘，包括：

基板；

固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。

优选的，所述限位组件的阻挡件之间用于放置圆形片状元件时，所述限位组件的阻挡件位于同一个圆的圆周上且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角小于180度。

优选的，所述限位组件的阻挡件之间用于放置多边形片状元件时，所述多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件。

优选的，所述多边形片状元件是方形片状元件，所述限位组件的阻挡件至少为四个且分别设置在所述方形片状元件的四个边的外侧。

优选的，四个所述阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。

优选的，所述限位组件是多个且呈阵列排布。

优选的，相邻行的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件，相邻列的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件。

优选的，所述阻挡件的边缘为倒边或所述阻挡件的端部是倒角。

优选的，所述阻挡件和所述基板第一表面通过粘接剂固定。

优选的，所述阻挡件和所述基板第一表面通过硅胶固定。

优选的，所述阻挡件的厚度是0.2mm-1mm之间的任一值。

优选的，所述阻挡件的厚度是0.7mm。

优选的，所述基板是玻璃基板，所述阻挡件是玻璃阻挡件或陶瓷阻挡件。

本实用新型的用于放置片状元件的托盘，包括基板和固定在基板第一表面的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，每个所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。这样，外部的机械手可以自上而下在每个限位组件的阻挡件之间放置片状元件，可以自下而上从每个限位组件的阻挡件之间取出片状元件，当片状元件放置在限位组件的阻挡件之间时，由于阻挡件的存在，可以阻挡片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间，即每个所述限位组件的阻挡件之间可以对片状元件进行限位；由于所述限位组件的阻挡件之间是分离设置的，即阻挡件之间是有存在间隔的，这样，在外部的机械手对片状元件放置和抓取的过程中，外部的机械手可以通过阻挡件之间间隔进行放置和抓取，减少了机械手与托盘的接触，提高了外部的机械手放置和抓取片状元件的效率，同时，托盘不容易损坏，提高了托盘的使用寿命。

附图说明

图1为现有的托盘的俯视图；

图2为图1托盘的A-A剖视图；

图3是本实用新型的放置了正方形片状元件的托盘的局部示意图；

图4是本实用新型的放置了正方形片状元件的托盘的俯视图；

图5是图4所示放置了正方形片状元件的托盘的B-B剖视图；

图6是本实用新型的放置了圆形片状元件的托盘的局部示意图。

附图标记：

10基板，20凹槽；

100基板，110基板第一表面，

200阻挡件，

300片状元件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

本实用新型实施例一提供的一种用于放置制备太阳能电池用片状元件300如硅片的托盘，如图3，图4和图5所示，包括：

基板100；

固定在基板第一表面110的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件200且每个阻挡件200凸出固定在基板第一表面110，限位组件的阻挡件200之间用于放置片状元件300且阻挡件200用于阻挡放置在阻挡件200之间的片状元件300沿基板第一表面110移出阻挡件200之间。

需要说明的是，在本实施例中，是以用于放置制备太阳能电池用硅片的托盘为例进行说明的，但是不限于硅片，只要是片状元件且需要采用机械手进行放置和抓取，都可以采用本实施例结构的托盘，如可以是片形的瓷砖，玻璃板，木板，金属板等等。

本实施例的托盘，包括基板和固定在基板第一表面的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个阻挡件凸出固定在基板第一表面，每个限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且阻挡件用于阻挡放置在阻挡件之间的片状元件沿基板第一表面移出阻挡件之间。这样，外部的机械手可以自上而下在每个限位组件的阻挡件之间放置片状元件，可以自下而上从每个限位组件的阻挡件之间取出片状元件，当片状元件放置在限位组件的阻挡件之间时，由于阻挡件的存在，可以阻挡片状元件沿基板第一表面移出阻挡件之间，即每个限位组件的阻挡件之间可以对片状元件进行限位；由于限位组件的阻挡件之间是分离设置的，即阻挡件之间是有存在间隔的，这样，在外部的机械手对片状元件放置和抓取的过程中，外部的机械手可以通过阻挡件之间间隔进行放置和抓取，减少了机械手与托盘的接触，提高了外部的机械手放置和抓取片状元件的效率，同时，托盘不容易损坏，提高了托盘的使用寿命。

同时，阻挡件的存在，外部的机械手可以通过阻挡件的位置，精确得到片状元件的位置，为实现片状元件放置、抓取和翻面的自动化提供了条件，保证了太阳能电池的制备工艺的连续性和一致性，提高了制备太阳能电池的效率。

具体的，基板可以是采用玻璃基板。选用玻璃基板作为基板，是为了满足太阳能电池的制备工艺中对基板耐高温、不易变形、不影响产品性能、成本低的需求，同时，玻璃基板与太阳能电池的制备工艺中的其他设备的兼容性好，重复使用率高，稳定性好，清洗工艺简单。作为一种优选的尺寸，基板的尺寸为2600mm×2200mm，厚度为3～4mm。基板太薄会影响托盘强度和耐高温的脆性，太厚会导致托盘重量加重，影响托盘的正常运输，也会影响产品的电池性能。

具体的，阻挡件优选采用玻璃阻挡件，如可以直接采用载玻片作为阻挡件。这样，玻璃阻挡件与玻璃基板之间的粘接固定更容易实现且更牢固。

阻挡件还可以是耐高温的陶瓷阻挡件，还可以是耐高温的工程塑料的阻挡件。

常见的硅片的形状是圆形，方形，其中方形包括正方形和长方形。根据硅片的形状，只要设置每个限位组件的阻挡件的位置使放置在阻挡件之间的硅片不能沿基板的第一表面从阻挡件之间移出即可，每个限位组件的阻挡件的数量和具体设置位置可以根据实际需要进行设置。

如图3所示，当硅片是方形时，限位组件的阻挡件200是四个且阻挡件分别设置在方形片状元件的每个边的外侧。

这样，方形的硅片可以放置在限位组件的四个阻挡件之间，四个阻挡件从上下左右四个方向阻挡硅片沿基板的第一表面从限位组件的四个阻挡件之间移出。

进一步的，如图3所示，限位组件的四个阻挡件200两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。这样，在限位组件的阻挡件之间放置和抓取硅片时，相邻边上的阻挡件之间的间隔相同，便于外部的机械手对片状元件的放置和抓取；同时，也便于托盘的加工制造。

需要说明的是，在本实施例中，是以片状元件是方形片状元件，限位组件的四个阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧为例进行说明的，但不限于此，如果片状元件是其他多边形，多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件即可。

进一步的，如图3所示，两两相对的阻挡件200之间的距离略大于方形硅片的边长，这样，可以方便外部的机械手对片状元件的放置和抓取。

进一步的，如图4所示，限位组件是多个且呈阵列排布。多个限位组件是按照阵列排布，即限位组件是按规律排列的，外部的机械手按照排列的规律，精确得到片状元件的位置，为实现片状元件放置，抓取和翻面的自动化提供了条件，保证了太阳能电池的制备工艺的连续性和一致性；同时，可以简化托盘的制造工艺。

为了减少阻挡件的数量，同时，有效提高基板第一表面的利用率，作为一种优选的方式，阵列排布的限位组件可以采用如图4所示的，相邻行的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件，相邻列的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件。

这样，减少了阻挡件的数量，节约了基板第一表面的空间。在第一基板的尺寸不变的条件下，可以设置更多的限位组件，即可以放置更多的片状元件，最大化的利用了基板第一表面。由于在托盘进入PECVD设备后，镀膜是针对托盘的整个上表面进行的，片状元件之间的间隔越小，对PECVD设备中镀膜材料的浪费越小，因此，提高了PECVD设备中镀膜材料的利用率。

阻挡件的形状可以是多种形状的，作为一种优选的方式，如图3所示，阻挡件可以是长条形阻挡件；长片形阻挡件的一个长条形的底面与基板的第一表面固定；每个长条形阻挡件的长边朝向限位组件的阻挡件之间内。优选的，通过合理设置长条形阻挡件的尺寸，尤其是减小长条形阻挡件的厚度，减少PECVD工艺中的扰射，从而提高太阳能电池的性能，如长条形阻挡件的厚度小于1mm。具体的，长条形阻挡件的尺寸长×宽可以是10mm×10mm，20mm×10mm，30mm×10mm，40mm×10mm，厚度为0.2mm～1mm之间的任一值。厚度在0.2mm～1mm之间任一值的阻挡件，一方面，厚度足够大，可以有效的阻挡片状元件，另一方面，厚度适宜，减少PECVD工艺中的扰射，从而提高太阳能电池的性能。作为一种优选的阻挡件厚度，还可以是0.7mm。

每个长条形阻挡件的长边朝向限位组件的阻挡件之间，长条形阻挡件的长边是与片状元件的边缘相对的，对片状元件的固定和限位作用更好；同时，相邻的片状元件之间的间隔较小。

作为一种优选的方式，阻挡件的边缘为倒边或阻挡件的端部是倒角。这样，可以减少阻挡件将片状元件划伤风险。

具体的，阻挡件和基板第一表面可以通过粘接剂固定。粘接剂的主要作用是粘贴阻挡件，托盘要在PECVD设备中工作，因此还需要耐200℃以上的高温、耐化学腐蚀，且能耐等离子体化学冲击在PECVD工艺不会发生化学反应的粘结剂，如可以是耐200℃以上的高温、耐化学腐蚀的硅胶。

实施例二

本实用新型实施例二提供的一种用于放置制备太阳能电池用硅片的托盘，与实施例一的区别在于：

当硅片是圆形时，限位组件的阻挡件200位于同一个圆的圆周且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角小于180度。

具体的，可以是如图6所示，限位组件的阻挡件最少是三个且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角为120度。这样，限位组件的阻挡件的数量最少，减少了托盘制作工艺的复杂程度。此时，实施例一中的特征“阵列排布的限位组件的相邻行的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件，相邻列的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件”不适用。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种用于放置片状元件的托盘，其特征在于，包括：

基板；

固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。

2.根据权利要求1所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件的阻挡件之间用于放置圆形片状元件时，所述限位组件的阻挡件位于同一个圆的圆周上且任意两个相邻的阻挡件所在弧的圆心角小于180度。

3.根据权利要求1所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件的阻挡件之间用于放置多边形片状元件时，所述多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件。

4.根据权利要求3所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述多边形片状元件是方形片状元件，所述限位组件的阻挡件至少为四个且分别设置在所述方形片状元件的四个边的外侧。

5.根据权利要求4所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，四个所述阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。

6.根据权利要求3或4或5所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件是多个且呈阵列排布。

7.根据权利要求6所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，相邻行的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件，相邻列的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件。

8.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的边缘为倒边或所述阻挡件的端部是倒角。

9.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件和所述基板第一表面通过粘接剂固定。

10.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件和所述基板第一表面通过硅胶固定。

11.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的厚度是0.2mm～1mm之间的任一值。

12.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的厚度是0.7mm。

13.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述基板是玻璃基板，所述阻挡件是玻璃阻挡件或陶瓷阻挡件。