CN205079615U - 真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉和真空泵;真空反应炉依次通过第一传输段、第二传输段和过滤腔同真空泵连接,第一传输段水平设置,过滤腔竖直设置,第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接,第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板,内壁底部设置有多个下导向板,经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面,经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面。本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,使经过第二传输段的气流通过弧形管道缓冲,减少真空泵运转时吸入空气的流量,进而减小空气流动对真空室内物体的作用力,并减少灰尘杂物对真空泵旋片的损害。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置。
背景技术
目前,真空生产线进、出真空室利用真空泵一直在进行大气、真空的转换。现有技术用真空泵的抽气口直接伸入真空室内,将空气抽出达到真空环境。
但是开启真空泵时,空气直接从真空室内通过抽气口排出,由于抽气速率大,造成真空室内的载物移动,或是带动载物或是灰尘抽到真空泵中,损坏旋片,减少真空泵的使用寿命。
发明内容
本实用新型针对以上问题的提出,而研究设计一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,用以解决现有的真空泵开启时,空气直接从真空反应炉的真空室内通过抽气口排出,由于抽气速率大,造成真空室内的载物移动,或是带动载物或是灰尘抽到真空泵中,损坏旋片,减少泵的使用寿命的缺点。本实用新型采用的技术手段如下:
一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉和真空泵;真空反应炉依次通过第一传输段、第二传输段和过滤腔同真空泵连接,第一传输段水平设置,过滤腔竖直设置,第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接,第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板,内壁底部设置有多个下导向板,经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面,经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面。
作为优选真空反应炉通过炉体连接管同第一传输段连接,炉体连接管上设置有真空压力表。
作为优选第二传输段底部设置有缓冲层,缓冲层的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条,上层缓冲条的间隙下部依次设置有下层缓冲条。
作为优选上层缓冲条和下层缓冲条为三菱柱状缓冲条,三菱柱状缓冲条的两个侧面组成的棱角向上设置,组成该棱角的两个相邻侧面完全相同,组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔,三菱柱状缓冲条内部中空。
作为优选从真空反应炉向第一传输段传输方向,炉体连接管的直径逐渐变小。
与现有技术比较,本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接,使经过第二传输段的气流通过弧形管道缓冲,减少真空泵运转时吸入空气的流量,进而减小空气流动对真空室内物体的作用力,并减少灰尘杂物对真空泵旋片的损害,并且第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板,内壁底部设置有多个下导向板,经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面,经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面,进一步起到了气流的缓冲作用。
本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,第二传输段底部设置有缓冲层,缓冲层的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条,上层缓冲条的间隙下部依次设置有下层缓冲条,对通过第二传输段末端的气流起到了二次缓冲作用,组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔,三菱柱状缓冲条内部中空,使流过棱角侧面的灰尘杂物能够吸入吸尘孔内,减少灰尘杂物向真空泵内的进入量,避免了真空泵旋片的损坏,增加了真空泵的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型第二传输段部的放大结构示意图。
图3是本实用新型缓冲层的放大结构示意图。
图4是本实用新型缓冲层的放大剖视图。
图5是本实用新型三菱柱状缓冲条的放大结构示意图。
其中:1、真空反应炉,2、炉体连接管,3、真空压力表,4、第一传输段,5、第二传输段,6、过滤腔,7、真空泵,8、缓冲层,
51、上导向板,52、下导向板,
81、上层缓冲条,82、下层缓冲条。
具体实施方式
如图1-图5所示,一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉1和真空泵7;真空反应炉1依次通过第一传输段4、第二传输段5和过滤腔6同真空泵7连接,第一传输段4水平设置,过滤腔6竖直设置,第一传输段4和过滤腔6之间通过弧形管道的第二传输段5连接,使经过第二传输段5的气流通过弧形管道缓冲,减少真空泵7运转时吸入空气的流量,进而减小空气流动对真空室内物体的作用力,并减少灰尘杂物对真空泵7旋片的损害。
第二传输段5的内壁顶部设置有多个上导向板51,内壁底部设置有多个下导向板52,经过上导向板51的气流通过上导向板51导向下导向板52的正面,经过下导向板52的气流通过下导向板52导向上导向板51的正面,进一步起到了气流的缓冲作用。
真空反应炉1通过炉体连接管2同第一传输段4连接,炉体连接管2上设置有真空压力表3,用于测量炉体连接管2处的真空压力。
第二传输段5底部设置有缓冲层8,缓冲层8的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条81,上层缓冲条81的间隙下部依次设置有下层缓冲条82,对通过第二传输段末端的气流起到了二次缓冲作用。
上层缓冲条81和下层缓冲条82为三菱柱状缓冲条,三菱柱状缓冲条的两个侧面组成的棱角向上设置,组成该棱角的两个相邻侧面完全相同,组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔,三菱柱状缓冲条内部中空,使流过棱角侧面的灰尘杂物能够吸入吸尘孔内,减少灰尘杂物向真空泵7内的进入量,避免了真空泵7旋片的损坏,增加了真空泵7的使用寿命。
从真空反应炉1向第一传输段4传输方向,炉体连接管2的直径逐渐变小,使真空反应炉1真空室内的气流更加便于通过炉体连接管2流向第一传输段4。
工作时,真空反应炉1的真空室内的气体通过炉体连接管2传输进第一传输段4,经过第一传输段4的气流经过弧形管路的第二传输段5,实现缓冲过滤,通过第二传输段5的气体通过过滤腔6,对气流内带有的灰尘杂物进行过滤,过滤后的气流进入真空泵7内。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉(1)和真空泵(7);其特征在于:真空反应炉(1)依次通过第一传输段(4)、第二传输段(5)和过滤腔(6)同真空泵(7)连接,第一传输段(4)水平设置,过滤腔(6)竖直设置,第一传输段(4)和过滤腔(6)之间通过弧形管道的第二传输段(5)连接,第二传输段(5)的内壁顶部设置有多个上导向板(51),内壁底部设置有多个下导向板(52),经过上导向板(51)的气流通过上导向板(51)导向下导向板(52)的正面,经过下导向板(52)的气流通过下导向板(52)导向上导向板(51)的正面。
2.根据权利要求1所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,其特征在于:真空反应炉(1)通过炉体连接管(2)同第一传输段(4)连接,炉体连接管(2)上设置有真空压力表(3)。
3.根据权利要求1或2所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,其特征在于:第二传输段(5)底部设置有缓冲层(8),缓冲层(8)的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条(81),上层缓冲条(81)的间隙下部依次设置有下层缓冲条(82)。
4.根据权利要求3所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,其特征在于:上层缓冲条(81)和下层缓冲条(82)为三菱柱状缓冲条,三菱柱状缓冲条的两个侧面组成的棱角向上设置,组成该棱角的两个相邻侧面完全相同,组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔,三菱柱状缓冲条内部中空。
5.根据权利要求2所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,其特征在于:从真空反应炉(1)向第一传输段(4)传输方向,炉体连接管(2)的直径逐渐变小。
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