CN205023432U - 一种硅片传送矫正装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块，硅片夹持组件包括定位电机支撑底板，定位电机支撑底板一端固定有定位电机，定位电机通过联轴器连接有固定于定位电机支撑底板上的丝杠，丝杠上的两侧对称串接有两个与定位电机之间驱动连接的皮带支撑模块；皮带支撑模块包括皮带驱动电机支撑底座，皮带驱动电机支撑底座上设有皮带驱动电机，皮带驱动电机的输出端设有皮带驱动轮，皮带驱动电机支撑底座上以丝杠轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮和第二惰轮，第一惰轮和第二惰轮之间还设有导向惰轮，皮带驱动轮与第一惰轮、第二惰轮和导向惰轮之间通过皮带驱动连接。

Description

一种硅片传送矫正装置

技术领域

本实用新型涉及传送装置，具体来说，涉及一种硅片传送矫正装置。

背景技术

随着光伏成本的不断降低，硅片的质量好坏成为成本控制的重要环节，所以硅片检测分选就显得尤为重要。由于硅片厚度很薄，只有180微米，硅片在传送过程中会走偏，在下一步的测量位置变动和抓取造成影响，使测量精度下降而造成分类错误和抓取位置的偏差造成碎片和隐裂等问题。所以，硅片的分选机中普遍采用了硅片传送矫正装置。

现有技术形式有三种：一种方案是将楔形的导向条固定在硅片传送线两侧，第二种是由气缸控制导向条动态加持走偏的硅片，还有一种是将导向轮改为滚动的皮带形式规正硅片。以上三种传送矫正装置均有其缺陷和不足，第一种方案存在磨损已形成沟槽，造成卡片。第二种和第三种方案很好的解决了第一种方案中的问题，但还存在矫正速度慢和更换不同尺寸硅片（比如125更换156）测量时矫正导向装置间距不易调节的问题。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种硅片传送矫正装置，能够解决现有方案中矫正速度慢和测量不同硅片型号时矫正导向间距不易更改的问题。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块，所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板，所述定位电机支撑底板一端固定有定位电机，所述定位电机通过联轴器连接有固定于所述定位电机支撑底板上的丝杠，所述丝杠上的两侧对称串接有两个与所述定位电机之间驱动连接的皮带支撑模块；所述皮带支撑模块包括皮带驱动电机支撑底座，所述皮带驱动电机支撑底座上设有皮带驱动电机，所述皮带驱动电机的输出端设有皮带驱动轮，其中，所述皮带驱动电机支撑底座上以丝杠轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮和第二惰轮，并且，所述第一惰轮和第二惰轮之间还设有导向惰轮，所述皮带驱动轮与所述第一惰轮、第二惰轮和导向惰轮之间通过皮带驱动连接。

进一步的，所述丝杠通过设置在其两端的轴承支撑固定于所述定位电机支撑底板上。

进一步的，所述第一惰轮和所述导向惰轮的中心点连线与硅片前进方向的夹角呈5度，所述第二惰轮和所述导向惰轮的中心点连线与硅片的前进方向平行。

进一步的，所述皮带支撑模块上还设有两个张紧轮，其中两个所述张紧轮分别设置于所述皮带驱动轮与第一惰轮和第二惰轮的中心点连线之间。

本实用新型的有益效果：通过定位电机驱动丝杆转动，丝杆的转动带动左右两个皮带支撑模块的运动，从而实现了快速更改不同硅片型号测量分选模式的更改，节约了测量不同硅片的模式更换时间，提高工作效率；在测量过程中，定位电机驱动丝杆定期的正反转动，带动左右两个皮带支撑模块做规律的撑开和合拢的夹持动作，从而实现了硅片的矫正，同时可以通过PLC程序控制定位电机的转速，从而控制矫正频率，皮带支撑模块上的皮带以硅片前进方向的转动形成滚动导向模式，避免了与硅片的摩擦和碰撞，同时导向皮带也不易磨损。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的硅片传送矫正装置结构示意图。

图中：

1、定位电机支撑底板；2、定位电机；3、联轴器；4、轴承；5、皮带支撑模块；6、丝杠；7、硅片；8、皮带驱动电机支撑底座；9、皮带驱动电机；10、皮带驱动轮；11、第二惰轮；12、第一惰轮；13、导向惰轮；14、张紧轮；15、皮带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，根据本实用新型实施例所述的一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块5，所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板1，所述定位电机支撑底板1一端固定有定位电机2，所述定位电机2通过联轴器3连接有固定于所述定位电机支撑底板1上的丝杠6，所述丝杠6上的两侧对称串接有两个与所述定位电机2之间驱动连接的皮带支撑模块5；所述皮带支撑模块5包括皮带驱动电机支撑底座8，所述皮带驱动电机支撑底座8上设有皮带驱动电机9，所述皮带驱动电机9的输出端设有皮带驱动轮10，其中，所述皮带驱动电机支撑底座8上以丝杠6轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮12和第二惰轮11，并且，所述第一惰轮12和第二惰轮11之间还设有导向惰轮13，所述皮带驱动轮10与所述第一惰轮12、第二惰轮11和导向惰轮13之间通过皮带15驱动连接。

在一个实施例中，所述丝杠6通过设置在其两端的轴承4支撑固定于所述定位电机支撑底板1上。

在一个实施例中，所述第一惰轮12和所述导向惰轮13的中心点连线与硅片7前进方向的夹角呈5度，所述第二惰轮11和所述导向惰轮13的中心点连线与硅片7的前进方向平行。

在一个实施例中，所述皮带支撑模块5上还设有两个张紧轮14，其中两个所述张紧轮14分别设置于所述皮带驱动轮10与第一惰轮12和第二惰轮11的中心点连线之间。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。

根据本实用新型所述的硅片传送矫正装置，主要包括定位硅片（125或156尺寸硅片）的夹持部分，即硅片夹持组件，以及起到硅片导向的皮带支撑模块。

其中，定位硅片夹持组件可以控制125或156尺寸硅片，具体结构包括定位电机支撑底板，在定位电机支撑底板上固定着125/156定位电机，在同一水平面上，定位电机通过联轴器与丝杠链接，丝杠两端分别通过两个轴承支持作为支撑点固定在定位电机支撑底板上，丝杠上串接着左右对称的皮带支撑模块，左右对称的皮带支撑模块随着电机带动丝杠的正反转运动而做平行于丝杠轴心的同向和异向运动，从而做硅片的夹持动作。

皮带支撑模块的结构是由皮带电机支撑底座、皮带以及支撑皮带的皮带轮和皮带驱动电机组成，有两个相同的皮带支撑模块分布在硅片传送通道的两侧，并沿硅片前进方向的中心轴线垂直面对称设置。

皮带支撑模块具体设置是在皮带驱动电机支撑座上，其平面上固定皮带驱动轮，在正下方由皮带驱动电机驱动皮带驱动轮，在皮带驱动电机支撑座的前端和后端分别固定着第一惰轮和第二惰轮，在第一惰轮和第二惰轮之间还固定着导向惰轮，第二惰轮和导向惰轮中心点的联系与硅片的前进方向平行，第一惰轮和导向惰轮的中心点连线与硅片前进的方向的夹角呈5度，形成比硅片尺寸略宽的导向口，从而更好的对刚进入矫正机构的硅片起到导向作用。在皮带驱动轮和第一惰轮、第二惰轮、导向惰轮之间通过皮带驱动连接，并且靠近硅片一侧的皮带的运动方向与硅片的前进方向相同。为了防止长期实用过程中皮带变得松弛，还在皮带支撑模块上装有两个张紧轮，具体设置在皮带驱动轮与第一惰轮和第二惰轮中心点连线之间，且设置在皮带的外侧，从而使皮带保持长久的张紧状态，保持对硅片的导向效果。

在具体使用时，首先在硅片分选机自动开启后，在控制软件中选取硅片分选型号（125或156尺寸），定位电机会根据PLC传来的信号而驱动丝杠转动，丝杠转动的同时带动左右皮带支撑模块做向（或相反）方向运动，调整出比125或156型号硅片大约3-5mm的距离。

当硅片通过该传送矫正装置时，皮带驱动电机驱动皮带轮主动轮转动带动皮带以硅片前进相同的速度同向转动。同时定位电机根据PLC程序中设定的时间间隔做正转和反转运动，通过联轴器连接丝杠做正转和反转，串接在丝杠两端的左右皮带支撑模块对被传送的硅片做有节奏的撑开和合拢的夹持动作，实现对被传送的硅片的传送中的矫正，在夹持动作中被传送硅片是与硅片前进方向同向滚动的皮带相接触的，因此减少了摩擦和碰撞，防止隐裂和碎片产生。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，通过定位电机驱动丝杆转动，丝杆的转动带动左右两个皮带支撑模块的运动，从而实现了快速更改不同硅片型号测量分选模式的更改，节约了测量不同硅片的模式更换时间，提高工作效率；在测量过程中，定位电机驱动丝杆定期的正反转动，带动左右两个皮带支撑模块做规律的撑开和合拢的夹持动作，从而实现了硅片的矫正，同时可以通过PLC程序控制定位电机的转速，从而控制矫正频率，皮带支撑模块上的皮带以硅片前进方向的转动形成滚动导向模式，避免了与硅片的摩擦和碰撞，同时导向皮带也不易磨损。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块（5），其特征在于，所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板（1），所述定位电机支撑底板（1）一端固定有定位电机（2），所述定位电机（2）通过联轴器（3）连接有固定于所述定位电机支撑底板（1）上的丝杠（6），所述丝杠（6）上的两侧对称串接有两个与所述定位电机（2）之间驱动连接的皮带支撑模块（5）；所述皮带支撑模块（5）包括皮带驱动电机支撑底座（8），所述皮带驱动电机支撑底座（8）上设有皮带驱动电机（9），所述皮带驱动电机（9）的输出端设有皮带驱动轮（10），其中，所述皮带驱动电机支撑底座（8）上以丝杠（6）轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮（12）和第二惰轮（11），并且，所述第一惰轮（12）和第二惰轮（11）之间还设有导向惰轮（13），所述皮带驱动轮（10）与所述第一惰轮（12）、第二惰轮（11）和导向惰轮（13）之间通过皮带（15）驱动连接。

2.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述丝杠（6）通过设置在其两端的轴承（4）支撑固定于所述定位电机支撑底板（1）上。

3.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述第一惰轮（12）和所述导向惰轮（13）的中心点连线与硅片（7）前进方向的夹角呈5度，所述第二惰轮（11）和所述导向惰轮（13）的中心点连线与硅片（7）的前进方向平行。

4.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述皮带支撑模块（5）上还设有两个张紧轮（14），其中两个所述张紧轮（14）分别设置于所述皮带驱动轮（10）与第一惰轮（12）和第二惰轮（11）的中心点连线之间。