CN204982137U - 一种排废管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其涉及一种用于晶体硅太阳能超净车间扩散炉的石英管内的废气的排废管。其包括直管，所述直管一端连接有第一半球形管，另一端伸入扩散炉废气口，所述直管中部还设有第二半球形管与扩散炉废气口相连，且第二半球形管的尾部与直管之间存在缝隙，所述第二半球形管的尾部设置有供气体输入的导气管，所述导气管与直管之间的夹角α大于等于30°小于等于90°。本实用新型能够减少偏磷酸在排废管处凝结，与传统的硅片尾气排废管相比，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管的使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其涉及一种用于晶体硅太阳能超净车间扩散炉的石英管内的废气的排废管。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中，扩散炉机台工艺结束后会产生偏磷酸，由于扩散炉工艺中气体循环，偏磷酸能够及时排出，所以偏磷酸主要在扩散炉工艺结束后产生，然后通过排废管将偏磷酸排出，排废管在排出偏磷酸的同时还有部分偏磷酸残留在排废管内，时间一长在排废管内凝结，由于偏磷酸本身是一种能够腐蚀石英的物质，长期凝结偏磷酸导致排废管腐蚀断裂。而传统方式则是定期更换排废管，但是该方法成本较高，不适宜生产需要。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种能够防止被偏磷酸腐蚀排废管。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种排废管，包括直管，所述直管一端连接有第一半球形管，另一端伸入扩散炉废气口，所述直管中部还设有第二半球形管与扩散炉废气口相连，且第二半球形管的尾部与直管之间存在缝隙，所述第二半球形管的尾部设置有供气体输入的导气管，所述导气管与直管之间的夹角α大于等于30°小于等于90°。
在本实用新型一实施方式中，所述导气管与直管之间的夹角α为35°、40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°。
在本实用新型一实施方式中，所述导气管的直径为6.3mm。
在本实用新型一实施方式中，所述排废管由石英一体加工而成。
本实用新型能够减少偏磷酸在排废管处凝结，与传统的硅片尾气排废管相比，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管的使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害。
附图说明
图1是本实用新型提供的排废管的剖面示意图。
1、直管；2、第一半球形管；3、第二半球形管；4、缝隙；5、导气管。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
请参考图1，图1是本实用新型提供的排废管的结构示意图。
本实用新型公开了一种排废管用于是用在硅太阳能电池片制造的闭管扩散炉上的，用来排出扩散炉内石英管中的尾气。包括直管1，所述直管1一端连接有第一半球形管2与气液分离瓶相连，另一端伸入扩散炉废气口内的石英管内，所述直管1中部还设有第二半球形管3与扩散炉废气口相连，且第二半球形管3的尾部与直管1之间存在缝隙4，所述第二半球形管3的尾部设置有供气体输入的导气管5，所述导气管5与直管1之间的夹角α大于等于30°小于等于90°。
作为优选技术方案，本实施方式中所述导气管5与直管1之间的夹角α可优选为35°、40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°。
更为具体地，所述导气管5的直径为6.3mm以适应通氮气的软管。
本实施方式中提供的排废管由石英一体加工而成，保证该排废管个部件的连接处无孔洞。
使用时，在扩散炉工艺结束后向导气管5内持续通氮气，使间隙内的压力大于石英管的尾气排放口处的尾气的压力，即可阻止尾气进入间隙，防止偏磷酸在其中聚集，预防尾气排废管与石英管之间粘连问题的发生。
注意，以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施方式的限制，上述实施方式和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种排废管，包括直管(1)，所述直管(1)一端连接有第一半球形管(2)，另一端伸入扩散炉废气口，所述直管(1)中部还设有第二半球形管(3)与扩散炉废气口相连，且第二半球形管(3)的尾部与直管(1)之间存在缝隙(4)，其特征在于，所述第二半球形管(3)的尾部设置有供气体输入的导气管(5)，所述导气管(5)与直管(1)之间的夹角α大于等于30°小于等于90°。
2.根据权利要求1所述的排废管，其特征在于，所述导气管(5)与直管(1)之间的夹角α为35°、40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°。
3.根据权利要求1所述的排废管，其特征在于，所述导气管(5)的直径为6.3mm。
4.根据权利要求1所述的排废管，其特征在于，所述排废管由石英一体加工而成。
Priority Applications (1)
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| CN201520560537.3U CN204982137U (zh) | 2015-07-27 | 2015-07-27 | 一种排废管 |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN204982137U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106766940A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 衡水英利新能源有限公司 | 扩散炉排废管结构 |
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2015
- 2015-07-27 CN CN201520560537.3U patent/CN204982137U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160120 Termination date: 20180727 |