CN204982039U - e型电子枪磁场调节器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种e型电子枪磁场调节器，其包括调节器外壳、刻度尺、永磁铁滑块和固定螺栓，所述调节器外壳有两排滑道，所述刻度尺的范围为1cm至10cm，所述永磁铁滑块带有内螺纹，所述固定螺栓带有外螺纹，能够把永磁铁滑块固定在调节器的外壳上及把调节器固定在旋转坩埚外壳上。本实用新型具有结构简单、装配工艺简单、成本低的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种e型电子枪磁场调节器。
背景技术
现有的e型电子枪磁场是通过放置单一永磁铁来调整磁场的，没有调节性，仅能对一种真空靶材进行设置，具有单一性和局限性。
更换其它真空靶材溶解时，产生两种现象，一种是能量过于集中，导致真空靶材飞溅，严重时，飞溅的真空靶材进入到旋转坩埚中去，导致坩埚卡死。另外一种，由于能量过小，溶解过慢，导致加工零件表面产生雾化等缺陷。
因此，e型电子枪在进行溶解真空靶材时，需要一个稳定磁场的作用，还需要稳定磁场在对于不同真空靶材具有可调节性，因此，单一的永磁铁所产生的磁场无法满足其要求，在真空溶解时产生较大的缺陷。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是为了克服e型电子枪由于磁场不稳定引起的聚焦不良，提供一种e型电子枪磁场调节器。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
一种e型电子枪磁场调节器，其包括调节器外壳、刻度尺、永磁铁滑块和固定螺栓，所述调节器外壳有两排滑道，所述刻度尺的范围为1-10cm，所述永磁铁滑块带有内螺纹，所述固定螺栓带有外螺纹，能够把永磁铁滑块固定在调节器的外壳上及把调节器固定在旋转坩埚外壳上。
较佳地，所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述调节器外壳上有刻度尺，所述可以读取相应的刻度值。
较佳地，所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述永磁铁滑块可以在调节器外壳上滑动。
较佳地，所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述固定螺栓把永磁铁滑块固定在调节器外壳上固定位置，所述固定螺栓把调节器固定在旋转坩埚外壳上。
较佳地，所述调节器外壳和所述固定螺栓均材料为铁，所述永磁铁滑块材料为磁铁。
本实用新型的积极进步效果在于：通过使用永磁铁滑块在调节器外壳上的滑道滑动，调节分布在e型电子枪周围的磁场，这样，在进行不同真空靶材溶解时，电子枪光斑能量稳定。随着真空靶材种类的增多，为光学薄膜设计和生产提供更多的选择。而且，本实用新型具有结构简单、装配工艺简单、成本低的优点。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的立体示意图。
图2为本实用新型较佳实施例的正视示意图。
图3为图2中的A-A剖视示意图。
图中各附图标记依次表示为：调节器外壳(1)、刻度尺(2)、永磁铁滑块(3)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)。
具体实施方式
下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型。
如图1和图2所示，一种e型电子枪磁场调节器，其包括调节器外壳(1)、刻度尺(2)、永磁铁滑块(3)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)，所述调节器外壳(1)有两排滑道，所述刻度尺(2)的范围为1cm至10cm，所述永磁铁滑块(3)带有内螺纹，所述固定螺栓A(4)带有外螺纹，能够把永磁铁滑块(3)固定在调节器的外壳(1)上，所述固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)带有外螺纹，能够把调节器固定在旋转坩埚外壳上。
调节器外壳(1)上有刻度尺(2)，可以读取相应的刻度值。永磁铁滑块(3)可以在调节器外壳上滑动。固定螺栓A(4)把永磁铁滑块固定在调节器外壳上固定位置，固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)把调节器固定在旋转坩埚外壳上。调节器外壳(1)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)材料均为铁，所述永磁铁滑块材料为磁铁。
使用时，根据e型电子枪真空镀膜时，选择的真空靶材不同，把永磁铁固定到特定的位置上，并记录好两侧刻度值，以便第二次使用，这样对于不同真空靶材，永磁铁的位置会产生相应的变化，使e型电子枪获得均匀稳定的磁场，达到良好的聚焦特性。
本实用新型的积极进步效果在于：通过使用永磁铁滑块在调节器外壳上的滑道滑动，调节分布在e型电子枪周围的磁场，这样，在进行不同真空靶材溶解时，电子枪光斑能量稳定。随着真空靶材种类的增多，为光学薄膜设计和生产提供更多的选择。而且，本实用新型具有结构简单、装配工艺简单、成本低的优点。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种e型电子枪磁场调节器，其包括调节器外壳(1)、刻度尺(2)、永磁铁滑块(3)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)，所述调节器外壳(1)有两排滑道，所述刻度尺(2)的范围为1cm至10cm，所述永磁铁滑块(3)带有内螺纹，所述固定螺栓A(4)带有外螺纹，能够把永磁铁滑块(3)固定在调节器的外壳(1)上，所述固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)带有外螺纹，能够把调节器固定在旋转坩埚外壳上。
2.如权利要求1所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述调节器外壳(1)上有刻度尺(2)，所述刻度尺(2)可以读取相应的刻度值。
3.如权利要求1所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述永磁铁滑块(3)可以在调节器外壳上滑动。
4.如权利要求1所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述固定螺栓A(4)把永磁铁滑块(3)固定在调节器外壳(1)上，所述固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)把调节器固定在旋转坩埚外壳上。
5.如权利要求1所述的电子枪磁场调节器，其特征在于，所述调节器外壳(1)和所述固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)材料均为铁，所述永磁铁滑块(3)材料为磁铁。
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