CN203820882U - 一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板、磁钢组件、靶材和对磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，磁钢组件外围设有U型冷却基座，U型冷却基座内嵌入U型冷却水管，U型冷却基座底部安装靶材；微调装置包括定位左档、可滑动中档、定位右档，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档通过螺母连接微调丝杆，微调丝杆左、右端部均通过支撑轴承固定于定位左、右档上，微调丝杆端部边缘设有旋转手柄，可滑动中档通过连接座与磁钢组件相连。本实用新型使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。

Description

一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座

技术领域

本实用新型属于真空镀膜领域，特别涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。

背景技术

在太阳能电池中，薄膜电池具有更强的弱光效应，廉价的制备材料，更佳的视觉效果及易于大规模连续化生产等优点，在光伏建筑一体化（BIPV）中具有广阔的发展前景。对于Si基薄膜电池来说，背电极的导电性能及膜层结构在整个电池的工艺中处于一个非常重要的地位，Si基薄膜电池背电极利用磁控溅射技术（magnetron sputtering，简称PVD）制备，在溅射过程中，高能粒子撞击具有高纯度的靶材固体平板，通过物理过程撞击出原子，这些被撞击出来的原子穿过真空，最后沉积在芯片上。

现有工艺中常用的溅射靶材一般为平面长方形结构，且靶材表面为光滑的平面结构。当该靶材被多次使用之后，其表面将不再是平整的结构，而是形成了一个V状的凹坑，这是由于溅射过程中高能粒子撞击靶材表面的角度、频率及能量等有所不同而导致，如何能够尽可能的消耗靶材，提高靶材利用率，行业内一直没有给出非常有效的措施。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座通过靶座冷却管路与磁钢组件分离的方法，使磁钢组件在靶材上方通过微调装置，达到移动靶座磁场的目的，使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板，位于靶基板下方的磁钢组件，位于磁钢组件下方的靶材，包括对所述磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，所述磁钢组件外围设有U型冷却基座，所述U型冷却基座内嵌入U型冷却水管，所述U型冷却基座底部安装靶材。

如此设计，通过微调装置对磁钢组件起到调节移动作用，达到改变磁场位置的目的；另外，冷却基座采用U型结构可以更好的完成腔室的密封性能，并提供磁钢组件足够的移动空间；且由U型冷却基座和U型冷却水管组成的冷却水系统是独立设计的，通过单独用软质U型冷却水管连接U型冷却基座，一端进水，一端排水，即能满足冷却需求，又能避免传统靶座磁钢组件移动受冷却水管路影响的限制。

作为优化，所述微调装置包括定位左档、可滑动中档、定位右档，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档通过螺母连接微调丝杆，微调丝杆左端部通过支撑轴承固定于定位左档上，微调丝杆右端部通过支撑轴承固定于定位右档上，微调丝杆端部边缘设有旋转手柄，可滑动中档通过连接座与磁钢组件相连。如此设计，通过转动旋转手柄，带动可滑动中档左右移动，从而带动磁钢组件左右移动，达到改变磁场位置的目的，另外，中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可以更好的溅射磁场暗区所剩下的靶材，达到最大利用靶材的目的。

作为优化，所述磁钢组件和U型冷却基座之间设有滚珠。如此设计，通过将磁钢组件与冷却基座采用滚珠相隔，即可以达到磁钢组件到靶材距离的一致性，又可以让磁钢组件在U型冷却基座上平滑移动，不产生磨损。

作为优化，所述磁钢组件与微调装置均采用刚性结构，所述微调装置上还设有当磁钢组件位置调整后，将磁钢组件固定在调整后位置上的锁紧装置。如此设计，使用方便。

作为优化，所述U型冷却基座通过ORING密封锁紧在靶基板的两端，中间采用铁氟龙材质隔板相隔，所述U型冷却基座采用铜背板材质密封。如此设计，可以节约空间，并且达到与阴极绝缘的目的。

作为优化，所述U型冷却基座四周设有与靶基板相连的屏蔽罩。

作为优化，所述U型冷却基座底部两端通过压条卡设靶材。

本实用新型一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座的有益效果是：

1、通过靶座冷却管路与磁钢组件分离的方法，使磁钢组件在靶材上方通过微调装置，达到移动靶座磁场的目的，使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。

2、通过单独用U型冷却水管连接U型冷却基座，一端进水，一端排水，即能满足冷却需求，又能避免传统靶座磁钢组件移动受冷却水管路影响的限制，具有较好的实际应用价值和推广价值。

附图说明

下面结合附图对本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座作进一步说明：

图1是本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座的结构示意图。 

图中：1为微调装置、1-1为定位左档、1-2为可滑动中档、1-3为定位右档、1-4为微调丝杆、1-5为旋转手柄、2为靶基板、3为连接座、4为磁钢组件、5为滚珠、6为U型冷却基座、7为U型冷却水管、8为靶材、9为压条、10为铁氟龙材质隔板、11为屏蔽罩。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。

如图1所示，本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括微调装置1、靶基板2、磁钢组件4、U型冷却基座6、靶材8，靶材8通过压条9卡设在U型冷却基座6底部，微调装置1包括定位左档1-1、可滑动中档1-2、定位右档1-3，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档1-2通过螺母连接微调丝杆1-4，微调丝杆1-4左端部通过支撑轴承固定于定位左档1-1上，微调丝杆1-4右端部通过支撑轴承固定于定位右档1-3上，微调丝杆1-4端部边缘设有旋转手柄1-5，可滑动中档1-2通过连接座3与磁钢组件4相连，磁钢组件4外围设有U型冷却基座6， U型冷却基座6内嵌入U型冷却水管7；磁钢组件4和U型冷却基座6之间设有滚珠5；磁钢组件4与微调装置1均采用刚性结构，微调装置1上还设有当磁钢组件4位置调整后，将磁钢组件4固定在调整后位置上的锁紧装置；U型冷却基座6通过ORING密封锁紧在靶基板2的两端，中间采用铁氟龙材质隔板10相隔， U型冷却基座6采用铜背板材质密封； U型冷却基座6四周设有与靶基板2相连的屏蔽罩11。

微调装置1与磁钢组件4连接在一起，通过旋转微调装置1的旋转手柄1-5对磁钢组件起到调节移动作用，达到改变磁场位置的目的。

在使用的过程中，靶材8寿命分成三个周期，在第一个周期用微调装置1的定位左档1-1，第二个周期用微调装置1的可滑动中档1-2，第三个周期用微调装置1的定位右档1-3，当靶材8周期完成后则靶材8消耗形态为均匀曲线形貌，即靶材8的消耗从V型结构变成U型结构，如此就达到了提高靶材利用率的目的。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施方式。但是凡是未脱离本实用新型技术原理的前提下，依据本实用新型的技术实质对以上实施方式所作的任何简单修改、等同变化与改型，皆应落入本实用新型的专利保护范围。

Claims (7)

1.一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板（2），位于靶基板（2）下方的磁钢组件（4），位于磁钢组件（4）下方的靶材（8），其特征在于：包括对所述磁钢组件（4）起到调节移动作用的微调装置（1），该微调装置（1）通过连接座（3）与磁钢组件（4）相连，所述磁钢组件（4）外围设有U型冷却基座（6），所述U型冷却基座（6）内嵌入U型冷却水管（7），所述U型冷却基座（6）底部安装靶材（8）。

2.如权利要求1所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述微调装置（1）包括定位左档（1-1）、可滑动中档（1-2）、定位右档（1-3），三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档（1-2）通过螺母连接微调丝杆（1-4），微调丝杆（1-4）左端部通过支撑轴承固定于定位左档（1-1）上，微调丝杆（1-4）右端部通过支撑轴承固定于定位右档（1-3）上，微调丝杆（1-4）端部边缘设有旋转手柄（1-5），可滑动中档（1-2）通过连接座（3）与磁钢组件（4）相连。

3.如权利要求2所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述磁钢组件（4）和U型冷却基座（6）之间设有滚珠（5）。

4.如权利要求1或3所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述磁钢组件（4）与微调装置（1）均采用刚性结构，所述微调装置（1）上还设有当磁钢组件（4）位置调整后，将磁钢组件（4）固定在调整后位置上的锁紧装置。 

5.如权利要求4所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述U型冷却基座（6）通过ORING密封锁紧在靶基板（2）的两端，中间采用铁氟龙材质隔板（10）相隔，所述U型冷却基座（6）采用铜背板材质密封。

6.如权利要求5所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述U型冷却基座（6）四周设有与靶基板（2）相连的屏蔽罩（11）。

7.如权利要求6所述的一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，其特征在于：所述U型冷却基座（6）底部两端通过压条（9）卡设靶材（8）。