CN204981156U - 一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，它包括废液槽、与所述废液槽相连通的氟硅酸去除组件、与所述氟硅酸去除组件相连通的氢氟酸去除组件以及与所述氢氟酸去除组件相连通的硝酸收集组件。通过设置依次相连通的氟硅酸去除组件、氢氟酸去除组件和硝酸收集组件，这样能够依次将氟硅酸、氢氟酸去除后对硝酸进行收集，这样使得三种酸在去除时不会相互干扰，确保最大限度的实现了氟硅酸根离子、氟离子和硝酸的回收，产生了大量可以利用的产品，且没有产生二次污染物，解决了混酸废液处理的问题，整个处理系统经济、环保、稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种环保系统，涉及一种废液回收再利用系统，具体涉及一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统。
背景技术
多晶硅由于具有优异的物理化学性能，而被广泛应用于太能电池、半导体等行业。随着光伏产业和电子产业的蓬勃发展，多晶硅的市场需求量也越来越大。然而在具体的应用过程中，多晶硅需要经过制绒、刻蚀、清洗等多个加工工艺才能达到应用要求。目前，行业内主要采用硝酸和氢氟酸的混酸溶液对多晶硅进行制绒、刻蚀、清洗，因此，在加工过程中产生了大量的混酸废液。
当前，企业普遍的处理工艺是采用中和法处理混酸废液，此法的不足之处在于：（1）由于混酸废液中仍含有相当数量的硝酸、氢氟酸，以及加过过程中生成的氟硅酸，造成了资源的浪费，同时，由于需要加入片碱或碱液中和，产生了额外的费用；（2）中和后的溶液由于含盐量较高，仍不能直接排放，还需要转移到有处理资质的企业委托处理，进一步增加企业的处理成本，也增加了环境负担。
发明内容
本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，它包括废液槽、与所述废液槽相连通的氟硅酸去除组件、与所述氟硅酸去除组件相连通的氢氟酸去除组件以及与所述氢氟酸去除组件相连通的硝酸收集组件。
优化地，所述氟硅酸去除组件包括与所述废液槽相连通的第一沉淀釜、与所述第一沉淀釜相连通用于向其中加入碱金属化合物的第一药箱、与所述第一沉淀釜相连通用于将其中溶液进行固液分离的第一过滤器以及与所述第一过滤器相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第一干燥器。
进一步地，所述氢氟酸去除组件包括与所述第一过滤器相连通用于承接其液体成分的第二沉淀釜、与所述第二沉淀釜相连通用于向其中加入碱土金属化合物的第二药箱、与所述第二沉淀釜相连通用于将其中溶液进行固液分离的第二过滤器以及与所述第二过滤器相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第二干燥器。
进一步地，所述硝酸收集组件包括与所述第二过滤器相连通用于承接其液体成分并进行蒸馏的蒸馏釜、与所述蒸馏釜相连通的换热器以及与所述换热器相连通用于承接冷凝液的收集槽。
进一步地，所述废液槽与所述第一沉淀釜之间、所述第一沉淀釜与所述第一过滤器之间、所述第二沉淀釜与所述第二过滤器之间分别通过第一输液泵、第二输液泵、第三输液泵相连通。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，通过设置依次相连通的氟硅酸去除组件、氢氟酸去除组件和硝酸收集组件，这样能够依次将氟硅酸、氢氟酸去除后对硝酸进行收集，这样使得三种酸在去除时不会相互干扰，确保最大限度的实现了氟硅酸根离子、氟离子和硝酸的回收，产生了大量可以利用的产品，且没有产生二次污染物，解决了混酸废液处理的问题，整个处理系统经济、环保、稳定。
附图说明
附图1为本实用新型多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统的结构示意图；
其中，1、废液槽；2、第一输液泵；3、氟硅酸去除组件；31、第一沉淀釜；32、第一药箱；33、第二输液泵；34、第一过滤器；35、第一干燥器；4、氢氟酸去除组件；41、第二沉淀釜；42、第二药箱；43、第三输液泵；44、第二过滤器；45、第二干燥器；5、硝酸收集组件；51、蒸馏釜；52、换热器；53、收集槽。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型优选实施方案进行详细说明：
如图1所示的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，主要包括氟硅酸去除组件3、氢氟酸去除组件4和硝酸收集组件5。
其中，废液槽1用于储存刻蚀废液，该刻蚀废液中混有相当数量的硝酸、氢氟酸和氟硅酸。氟硅酸去除组件3与废液槽1相连通，用于将刻蚀废液含有的氟硅酸沉淀除去；氢氟酸去除组件4与氟硅酸去除组件3相连通，用于将刻蚀废液含有的氢氟酸沉淀除去；硝酸收集组件5与氢氟酸去除组件4相连通，用将对蚀废液进行蒸馏产生浓硝酸，冷却后形成硝酸溶液。通过设置依次相连通的氟硅酸去除组件3、氢氟酸去除组件4和硝酸收集组件5，这样能够依次将氟硅酸、氢氟酸去除后对硝酸进行收集，这样使得三种酸在去除时不会相互干扰，确保最大限度的实现了氟硅酸根离子、氟离子和硝酸的回收，产生了大量可以利用的产品，且没有产生二次污染物，解决了混酸废液处理的问题，整个处理系统经济、环保、稳定。
在本实施例中，氟硅酸去除组件3包括与废液槽1相连通的第一沉淀釜31、与第一沉淀釜31相连通用于向其中加入碱金属化合物的第一药箱32、与第一沉淀釜31相连通用于将其中溶液进行固液分离的第一过滤器34以及与第一过滤器34相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第一干燥器35。第一药箱32中储存有碱金属化合物，将碱金属化合物加入第一沉淀釜31中后能够使得氟硅酸与碱金属化合物反应形成氟硅酸盐沉淀，该含有氟硅酸盐沉淀的溶液被导入第一过滤器34中进行固液分离，滤渣直接导入第一干燥器35中进行干燥收集；滤液则导入下游处理。
在本实施例中，氢氟酸去除组件4包括与第一过滤器34相连通用于承接其液体成分的第二沉淀釜41、与第二沉淀釜41相连通用于向其中加入碱土金属化合物的第二药箱42、与第二沉淀釜41相连通用于将其中溶液进行固液分离的第二过滤器44以及与第二过滤器44相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第二干燥器45。上述滤液直接导入第二沉淀釜41中，随后通过第二药箱42向滤液中加入碱土金属化合物，使得氢氟酸与碱土金属化合物反应形成氟化盐沉淀，该含有氟化盐沉淀的溶液被导入第二过滤器44中进行固液分离，滤渣直接导入第二干燥器45中进行干燥收集；滤液则导入下游处理。
在本实施例中，硝酸收集组件5包括与第二过滤器44相连通用于承接其液体成分并进行蒸馏的蒸馏釜51、与蒸馏釜51相连通的换热器52以及与换热器52相连通用于承接冷凝液的收集槽53。经第二过滤器44分离产生的滤液在蒸馏釜51中产生浓硝酸，随后经过换热器52的冷却后形成硝酸溶液导入收集槽53中进行收集储存。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：它包括废液槽（1）、与所述废液槽（1）相连通的氟硅酸去除组件（3）、与所述氟硅酸去除组件（3）相连通的氢氟酸去除组件（4）以及与所述氢氟酸去除组件（4）相连通的硝酸收集组件（5）。
2.根据权利要求1所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述氟硅酸去除组件（3）包括与所述废液槽（1）相连通的第一沉淀釜（31）、与所述第一沉淀釜（31）相连通用于向其中加入碱金属化合物的第一药箱（32）、与所述第一沉淀釜（31）相连通用于将其中溶液进行固液分离的第一过滤器（34）以及与所述第一过滤器（34）相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第一干燥器（35）。
3.根据权利要求2所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述氢氟酸去除组件（4）包括与所述第一过滤器（34）相连通用于承接其液体成分的第二沉淀釜（41）、与所述第二沉淀釜（41）相连通用于向其中加入碱土金属化合物的第二药箱（42）、与所述第二沉淀釜（41）相连通用于将其中溶液进行固液分离的第二过滤器（44）以及与所述第二过滤器（44）相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第二干燥器（45）。
4.根据权利要求3所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述硝酸收集组件（5）包括与所述第二过滤器（44）相连通用于承接其液体成分并进行蒸馏的蒸馏釜（51）、与所述蒸馏釜（51）相连通的换热器（52）以及与所述换热器（52）相连通用于承接冷凝液的收集槽（53）。
5.根据权利要求3所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述废液槽（1）与所述第一沉淀釜（31）之间、所述第一沉淀釜（31）与所述第一过滤器（34）之间、所述第二沉淀釜（41）与所述第二过滤器（44）之间分别通过第一输液泵（2）、第二输液泵（33）、第三输液泵（43）相连通。
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