CN204857697U - 一种晶元清洗机用供料机 - Google Patents
一种晶元清洗机用供料机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204857697U CN204857697U CN201520549333.XU CN201520549333U CN204857697U CN 204857697 U CN204857697 U CN 204857697U CN 201520549333 U CN201520549333 U CN 201520549333U CN 204857697 U CN204857697 U CN 204857697U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- cleaning machine
- slide rail
- lifting support
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种晶元清洗机用供料机，包括分片机架、传输机架、滑轨、限位板、立架，立架顶面设有滑动箱，滑动箱上设有横梁，滑动箱上设有纵向驱动机构，横梁设有升降气缸及吸盘；分片机架上设有升降电缸，升降电缸连接托板，分片机架设有横向传输带机构；传输机架设有纵向传输带，传输机架设有升降支架，升降支架设有横向带轮、横向输送带，传输机架设有举升气缸，升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。本实用新型利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生成设备技术领域，特别涉及一种晶元清洗机用供料机。
背景技术
在光伏行业内，清洗机是电池车间不可缺少的，其中链式清洗机使用最为广泛。传统的链式清洗机都是人工上料，碎片率比较高，而且手接触晶元造成的污染也很严重，现也有上料机，自动化程度低，碎片率高。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种晶元清洗机用供料机。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶元清洗机用供料机，包括分片机架、放置在分片机架侧面的传输机架，所述分片机架顶面设有滑轨，所述滑轨末端设有限位板，所述分片机架顶面竖直设有立架，所述立架顶面设有滑动箱，所述滑动箱上设有沿所述滑动箱纵向滑动的横梁，所述滑动箱上设有驱动所述横梁移动的纵向驱动机构，所述横梁设有升降气缸，所述升降气缸的气缸杆上设有吸盘；所述分片机架上设有升降电缸，所述升降电缸的电缸杆顶部设有托板，所述托板穿过所述分片机架顶面，所述滑轨后方的分片机架顶面设有横向传输带机构；所述传输机架设有纵向传输带，所述传输机架上设有升降支架，所述升降支架上设有横向带轮以及绕在所述横向带轮上的横向输送带，所述传输机架上设有与所述升降支架连接的举升气缸，所述升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。
上述设计中利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；所述挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。
作为本设计的进一步改进，所述吸盘设有硅片检测开关，防止未夹持晶元，提高生产效率。
作为本设计的进一步改进，所述滑轨至少两对，即形成两个及以上的工位，提高生产效率。
作为本设计的进一步改进，所述滑轨两侧的分片机架设有朝向工位的风刀，所述风刀便于分离硅片，防止多夹片。
作为本设计的进一步改进，所述风刀与设置在分片机架上的风刀气缸连接，防止风刀与硅片干涉，提高风刀的效能。
作为本设计的进一步改进，所述工位对角的分片机架上设有晶元平衡检测传感器，防止晶元跑偏、倾斜，减少碎片。
作为本设计的进一步改进，所述纵向驱动机构包括纵向传送带、与所述纵向传送带驱动连接的纵向传输电机，缓冲效果好，防止晶元滑落。
作为本设计的进一步改进，所述托板上设有导向柱，提高托板的稳定性，保证托板的水平程度。
作为本设计的进一步改进，所述传输机架上设有与所述升降支架配合的滑轨，提高升降支架升降的平稳性。
本实用新型的有益效果是：本实用新型利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；所述挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型的分片机架俯视示意图。
在图中1.分片机架，2.滑轨，3.导向柱，4.升降电缸，5.举升气缸，6.传输机架，7.升降支架，8.横向输送带，9.竖直滑轨，10.横向带轮，11.纵向传输带，12.晶元检测传感器，13.挡板，14.风刀气缸，15.风刀，16.横梁，17.升降气缸，18.纵向驱动机构，19.滑动箱，20.吸盘，21.硅片检测开关，22.限位板，23.立架，24.晶元平衡检测传感器，25.纵向传送带，26.横向传输带机构，27.托板，28.纵向传输电机。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
实施例：一种晶元清洗机用供料机，包括分片机架1、放置在分片机架1侧面的传输机架6，所述分片机架1顶面设有滑轨2，所述滑轨2末端设有限位板22，所述分片机架1顶面竖直设有立架23，所述立架23顶面设有滑动箱19，所述滑动箱19上设有沿所述滑动箱19纵向滑动的横梁16，所述滑动箱19上设有驱动所述横梁16移动的纵向驱动机构18，所述横梁16设有升降气缸17，所述升降气缸17的气缸杆上设有吸盘20；所述分片机架1上设有升降电缸4，所述升降电缸4的电缸杆顶部设有托板27，所述托板27穿过所述分片机架1顶面，所述滑轨2后方的分片机架1顶面设有横向传输带机构26；所述传输机架6设有纵向传输带11，所述传输机架6上设有升降支架7，所述升降支架7上设有横向带轮10以及绕在所述横向带轮10上的横向输送带8，所述传输机架6上设有与所述升降支架7连接的举升气缸5，所述升降支架7上设有挡板13和晶元检测传感器12。
上述设计中利用升降气缸17、吸盘20、横梁16实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构26、纵向传输带11、升降的横向带轮10实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；所述挡板13和晶元检测传感器12实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。
作为本设计的进一步改进，所述吸盘20设有硅片检测开关21，防止未夹持晶元，提高生产效率。
作为本设计的进一步改进，所述滑轨2至少两对，即形成两个及以上的工位，提高生产效率。
作为本设计的进一步改进，所述滑轨2两侧的分片机架1设有朝向工位的风刀15，所述风刀15便于分离硅片，防止多夹片。
作为本设计的进一步改进，所述风刀15与设置在分片机架1上的风刀15气缸14连接，防止风刀15与硅片干涉，提高风刀15的效能。
作为本设计的进一步改进，所述工位对角的分片机架1上设有晶元平衡检测传感器24，防止晶元跑偏、倾斜，减少碎片。
作为本设计的进一步改进，所述纵向驱动机构18包括纵向传送带25、与所述纵向传送带25驱动连接的纵向传输电机28，缓冲效果好，防止晶元滑落。
作为本设计的进一步改进，所述托板27上设有导向柱3，提高托板27的稳定性，保证托板27的水平程度。
作为本设计的进一步改进，所述传输机架6上设有与所述升降支架7配合的竖直滑轨9，提高升降支架7升降的平稳性。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种晶元清洗机用供料机，其特征在于，包括分片机架、放置在分片机架侧面的传输机架，所述分片机架顶面设有滑轨，所述滑轨末端设有限位板，所述分片机架顶面竖直设有立架，所述立架顶面设有滑动箱，所述滑动箱上设有沿所述滑动箱纵向滑动的横梁，所述滑动箱上设有驱动所述横梁移动的纵向驱动机构，所述横梁设有升降气缸，所述升降气缸的气缸杆上设有吸盘；所述分片机架上设有升降电缸，所述升降电缸的电缸杆顶部设有托板，所述托板穿过所述分片机架顶面，所述滑轨后方的分片机架顶面设有横向传输带机构；所述传输机架设有纵向传输带，所述传输机架上设有升降支架，所述升降支架上设有横向带轮以及绕在所述横向带轮上的横向输送带，所述传输机架上设有与所述升降支架连接的举升气缸，所述升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。
2.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述吸盘设有硅片检测开关。
3.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述滑轨至少两对，即形成两个及以上的工位。
4.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述滑轨两侧的分片机架设有朝向工位的风刀。
5.根据权利要求4所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述风刀与设置在分片机架上的风刀气缸连接。
6.根据权利要求3所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述工位对角的分片机架上设有晶元平衡检测传感器。
7.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述纵向驱动机构包括纵向传送带、与所述纵向传送带驱动连接的纵向传输电机。
8.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述托板上设有导向柱。
9.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述传输机架上设有与所述升降支架配合的竖直滑轨。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520549333.XU CN204857697U (zh) | 2015-07-28 | 2015-07-28 | 一种晶元清洗机用供料机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520549333.XU CN204857697U (zh) | 2015-07-28 | 2015-07-28 | 一种晶元清洗机用供料机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204857697U true CN204857697U (zh) | 2015-12-09 |
Family
ID=54748224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520549333.XU Expired - Fee Related CN204857697U (zh) | 2015-07-28 | 2015-07-28 | 一种晶元清洗机用供料机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204857697U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106252265A (zh) * | 2016-09-25 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种集成电路封装线的过渡装置 |
| CN106328556A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-01-11 | 深圳市昱燊科技有限公司 | 一种晶元自动测试机 |
| CN106736064A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-31 | 柳州振业焊接机电设备制造有限公司 | 自动焊接平台 |
-
2015
- 2015-07-28 CN CN201520549333.XU patent/CN204857697U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106252265A (zh) * | 2016-09-25 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种集成电路封装线的过渡装置 |
| CN106328556A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-01-11 | 深圳市昱燊科技有限公司 | 一种晶元自动测试机 |
| CN106736064A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-31 | 柳州振业焊接机电设备制造有限公司 | 自动焊接平台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204384441U (zh) | 一种硅片加工上料装置 | |
| CN206032725U (zh) | 板材堆垛机 | |
| CN203048160U (zh) | 一种旋转搬送自动进出料装置 | |
| CN203998002U (zh) | 一种产品定位输送机构 | |
| CN204857697U (zh) | 一种晶元清洗机用供料机 | |
| CN202492187U (zh) | 自动玻璃传输机 | |
| CN110465763B (zh) | 一种电池板与汇流条焊接设备 | |
| CN203877456U (zh) | 电池负极片自动翻片机 | |
| CN106197215B (zh) | 一种电池检测产线 | |
| CN109607221B (zh) | 一种拼装式泡棉码垛拆垛设备 | |
| CN102208494A (zh) | 一种太阳能电池组件的翻转装置 | |
| CN204400239U (zh) | 一种全自动拆垛送料装置 | |
| CN104925314B (zh) | 包装袋分离机构 | |
| CN105752698B (zh) | 双轨四工位旋转切换式上料机 | |
| CN108444265B (zh) | 一种玻璃板的转运晾干装置 | |
| CN205239978U (zh) | 包装盒装箱机 | |
| CN105600561A (zh) | 一种切纸机中的落纸装置 | |
| CN205621760U (zh) | 太阳能电池板返修生产线 | |
| CN206232047U (zh) | 自动分层式理瓶输送装置 | |
| CN104441049A (zh) | 装饰材料裁切系统 | |
| CN203993068U (zh) | 一种产品运输流水线机构 | |
| CN204792731U (zh) | 硅片双向输送机构 | |
| CN211031391U (zh) | 一种糊盒机下料设备 | |
| CN204339900U (zh) | 装饰材料裁切系统 | |
| CN106429319A (zh) | 自动分层式理瓶输送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151209 Termination date: 20180728 |