CN204792714U - 一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒 - Google Patents

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李奎
何大娟
郭辉
姜文明
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Abstract

本实用新型公开了一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，包括传动轴和套装在传动轴上的筒体，筒体为一对且相隔间距设置，该间距可调，所述筒体与传动轴之间具有间隙而使筒体活动安装在传动轴上，以便筒体触压在硅片上由硅片行进带动筒体转动从而实现对硅片的导向作用。本实用新型将现有一体式套筒改进成一对独立设置的筒体，一方面较轻的重量能够避免因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印，还可避免传统的一体式传动轴带动筒体转动而造成对硅片的摩擦以致产生滚轮印；本实用新型由硅片行进而带动筒体转动，无抖动、无摩擦痕，不会对硅片表面造成品质问题。本实用新型使用后，滚轮印的比例由100％下降至0％，大大提升了电池片的良率。

Description

一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒
技术领域
本实用新型涉及一种使用在刻蚀工序中的湿法刻蚀机台的组成部件，特别涉及一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒。
背景技术
在太阳能电池片的生产工艺中，湿法刻蚀可以用来代替太阳能电池生产中通常使用的等离子刻蚀，将扩散后正面和背面的p-n结分开。湿法刻蚀的背腐蚀效果的优劣决定了太阳能电池的腐蚀效果和清洗效果，且会对制程的管控造成严重的影响。在刻蚀制程中，由于设备结构因素引起的硅片外观品质缺陷会严重影响品质指标及设备的使用性能。
硅片进行湿法刻蚀时，会被输送到各槽体，在输送过程中，硅片依靠上方的滚轮套筒转动和下方的传动机构传动而向前行进，其中，滚轮套筒的主要作用是触压在硅片的上表面上而对硅片起到导向作用，以避免硅片偏位。如图1所示，现有的滚轮套筒5包括筒体1、传动轴2、胶圈3和传动销钉4，筒体1套装在传动轴2上，传动销钉4连接传动轴2和筒体1通过传动轴转动而带动筒体1转动，筒体1两端的外壁上设有环形卡槽，胶圈3安装在环形卡槽中并凸出于环形卡槽。
现有的滚轮套筒在输送硅片的过程中存在以下缺陷：⑴胶圈触压在硅片上，由于胶圈采用FPM材质，胶圈的耐磨性较能差，接触硅片后容易污染硅片，同时由于滚轮套筒较重，会在硅片的表面上形成滚轮印等，以致产生不良品。另外，滚轮套筒在转动过程中，由于胶圈易吸附污染物且不易被及时发现，因此，会在硅片上留下划痕等从而产生品质问题。还有，滚轮套筒在转动过程中，胶圈可能脱落，从而无法正常输送硅片，造成大量堵片异常。⑵传动轴通过传动销钉带动套筒转动，在转动过程中，套筒会出现上下抖动的现象，进一步加剧了其在硅片表面的摩擦影响。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、成本低、可大幅度提高良品率的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒。
本实用新型的上述目的通过以下的技术措施来实现：一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，包括传动轴和套装在传动轴上的筒体，其特征在于：所述筒体为一对且相隔间距设置，该间距可调，所述筒体与传动轴之间具有间隙而使筒体活动安装在传动轴上，以便筒体触压在硅片上由硅片行进带动筒体转动从而实现对硅片的导向作用。
本实用新型将现有一体式套筒改进成一对独立设置的筒体，一方面较轻的重量能够避免因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印，还可避免传统的一体式传动轴带动筒体转动而造成对硅片的摩擦以致产生滚轮印；本实用新型由硅片行进而带动筒体转动，无抖动、无摩擦痕，不会对硅片表面造成品质问题。本实用新型使用后，滚轮印的比例由100％下降至0％，大大提升了电池片的良率。
作为本实用新型的一种改进，所述筒体采用PTFE材质制成。与现有的滚轮套筒相比，去除了胶圈，且筒体采用PTFE材质，具有较强的耐磨性和抗酸碱性，不会产生污染硅片、滚轮印及划痕等问题，另外，也避免了由于胶圈脱落而造成大量堵片异常的现象。
本实用新型所述筒体包括筒体本体和用于触压在硅片上的凸台，所述凸台沿所述筒体本体的外壁圆周设置，所述凸台的周缘面为弧面。
作为本实用新型的进一步改进，所述滚轮套筒还包括用于限位筒体的限位结构。确保筒体不会向两侧滑动，以保证平稳运行。
作为本实用新型的一种实施方式，所述限位结构包括两对C形的限位卡环，所述限位卡环分别紧套在传动轴上，且每对限位卡环分别处于每个筒体的两端以限位筒体。
本实用新型还还可以做以下改进，所述筒体的重量为6～15g。可进一步避免因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印。
与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果：
⑴本实用新型将现有一体式套筒改进成一对独立设置的筒体，一方面较轻的重量能够避免因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印，还可避免传统的一体式传动轴带动筒体转动而造成对硅片的摩擦以致产生滚轮印；本实用新型由硅片行进而带动筒体转动，无抖动、无摩擦痕，不会对硅片表面造成品质问题。本实用新型使用后，滚轮印的比例由100％下降至0％，大大提升了电池片的良率。
⑵本实用新型与现有的滚轮套筒相比，去除了胶圈，且筒体采用PTFE材质，具有较强的耐磨性和抗酸碱性，不会产生污染硅片、滚轮印及划痕等问题，另外，也避免了由于胶圈脱落而造成大量堵片异常的现象。
⑶本实用新型的限位卡环可以确保筒体不会向两侧滑动，以保证平稳运行。
⑷本实用新型筒体的重量为6～15g，进一步避免了因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印。
⑸本实用新型结构简单、成本低，适于广泛推广适用。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
图1是现有滚轮套筒的剖面图；
图2是本实用新型的剖面图；
图3是本实用新型的侧视图(未画出限位卡环)；
图4是限位卡环安装在传动轴上的示意图。
具体实施方式
如图2～4所示，是本实用新型一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，包括传动轴7和套装在传动轴7上的筒体8，筒体8采用PTFE材质制成，筒体的重量为6～15g。筒体8为一对且相隔间距设置，该间距可调，在实际场合中，根据机台的具体类型来确定在传动轴上设置筒体的数量和筒体的间距，在本实施例中，在传动轴上设置8对筒体，图2中只显示一对，筒体8与传动轴7之间具有间隙10而使筒体8活动安装在传动轴7上，以便筒体8触压在硅片上由硅片行进而带动筒体8转动从而实现对硅片的导向作用。一方面较轻的重量可避免因套筒重量太重对硅片造成太大的压力而产生滚轮印，另一方面独立设置的两个筒体，避免了传统的一体式传动轴转动而造成对硅片的摩擦产生滚轮印。与现有的滚轮套筒相比，去除了胶圈，且筒体采用PTFE材质，具有较强的耐磨性和抗酸碱性，不会产生污染硅片、滚轮印及划痕等问题，另外，也避免了由于胶圈脱落而造成大量堵片异常的现象。
筒体8包括筒体本体82和用于触压在硅片上的凸台81，凸台81沿筒体本体82的外壁圆周中部设置，凸台81的周缘面为弧面。还包括用于限位筒体8的限位结构，在本实施例中，限位结构包括两对C形的限位卡环9，限位卡环9分别紧套在传动轴7上，且每对限位卡环9分别处于每个筒体8的两端以阻止筒体8移位。限位卡环9可以确保筒体不会向两侧滑动，以保证平稳运行。
本实用新型的工作原理如下：在输送硅片时，筒体的凸台触压在硅片上，传动轴转动，起到对筒体一定的带动作用，但是，筒体主要还是依靠硅片在下方的传动机构的带动下行进时对自身的带动作用而转动，从而对硅片起到导向作用。
本实用新型的实施方式不限于此，根据本实用新型的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，本实用新型筒体的具体结构、限位结构等还具有其它的实施方式；因此，本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (6)

1.一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，包括传动轴和套装在传动轴上的筒体，其特征在于：所述筒体为一对且相隔间距设置，该间距可调，所述筒体与传动轴之间具有间隙而使筒体活动安装在传动轴上，以便筒体触压在硅片上由硅片行进带动筒体转动从而实现对硅片的导向作用。
2.根据权利要求1所述的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，其特征在于：所述筒体采用PTFE材质制成。
3.根据权利要求1或2所述的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，其特征在于：所述新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒还包括用于限位筒体的限位结构。
4.根据权利要求3所述的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，其特征在于：所述限位结构包括两对C形的限位卡环，所述限位卡环分别紧套在传动轴上，且每对限位卡环分别处于每个筒体的两端以限位筒体。
5.根据权利要求4所述的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，其特征在于：所述筒体包括筒体本体和用于触压在硅片上的凸台，所述凸台沿所述筒体本体的外壁圆周设置，所述凸台的周缘面为弧面。
6.根据权利要求5所述的新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，其特征在于：所述筒体的重量为6～15g。
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CN110112262A (zh) * 2019-06-13 2019-08-09 通威太阳能（合肥）有限公司 一种可以改善rena制绒滚轮印的滚轮
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