CN204705121U - 单晶硅烘箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅烘箱,包括箱体、控制器和物料小车,在箱体内部的底面设有两条平行的长方形凹槽,在长方形凹槽内设有电磁铁,在电磁铁的上方设有铁材料的隔离层,在箱体的外侧与长方形凹槽上的隔离层对应的位置设置有直角型过渡台,在隔离层上设有由压力传感器、放大电路、A/D转换单元、信号处理单元以及开关控制器组成的压力检测处理模块。本实用新型通过压力检测器检测到有物品重量时,使电磁铁得电工作对物料小车进行固定,从而使整个操作更加安全可靠,降低产品报废率;同时能够在保证箱体温度的情况下能够取出单个物品进行检测来判断烘干效果,从而有效的节能,又能够使烘干效果更佳好,提高产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅设备,特别是单晶硅烘箱。
背景技术
单晶硅烘箱主要用于给单晶硅或多晶硅原料清洗后的烘培、干燥方便的工艺处理。目前的单晶硅烘箱主要是通过将底部装有滚轮的物料小车沿着烘箱底部的轨道进入到烘箱内,从而通过烘箱内的加热元件将密封烘箱内物料小车上的单晶硅或多晶硅原料进行烘干的作用,虽然物料小车和烘箱都是处于一个相对平衡的状态,一旦物料小车推入烘箱后,由于小车和烘箱一样均处于一个相对静止的状态,但是在烘箱关门的时候或者出现某种状况时,难免会对小车起到一定的振动力,而目前烘箱底部的轨道无法对滚轮进行限位,因此导致小车可能会在轨道内晃动,导致小车上的物品晃动使物品滑落下来,因此影响物品质量。
同时由于目前的烘箱一般是通过在烘箱内设置温度检测、湿度检测来判断烘干效果,但是由于温度检测及湿度检测只是对烘箱内部进行检测,无法对物品的本身进行检测,只能判断个大概情况,不能做到精确度很高,只有打开烘箱门再取出物品的样品进行检测,而由于烘箱门一打开,导致烘箱内的温度下降很快,一旦发现物品烘干不达标,需要进一步烘干时,又要重新将加热到一定温度,导致能源浪费严重,同时影响烘干效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种一旦通电后能够提高物料小车的固定性、提高整个箱体使用的安全性、又能够节约能源的同时能够提高产品烘干质量,降低产品浪费率的单晶硅烘箱。
为了实现上述目的,本实用新型所设计的单晶硅烘箱,包括箱体、控制器和物料小车,所述的控制器置于箱体的左侧,在箱体上设有门和出风口,在物料小车的底部设有滚轮,在箱体内部的底面设有两条平行的长方形凹槽,在长方形凹槽内设有电磁铁,在电磁铁的上方设有铁材料的隔离层,在箱体的外侧与长方形凹槽上的隔离层对应的位置设置有直角型过渡台,在隔离层上设有压力检测处理模块,所述的压力检测处理模块包括压力传感器、放大电路、A/D转换单元、信号处理单元以及开关控制器,所述的压力传感器依次通过放大电路、A/D转换单元与信号处理单元的输入端连接,信号处理单元的输出端与开关控制器连接,且所述的开关控制器连接在电磁铁与控制器的供电电源之间,在开关控制器上还连接有手动控制按钮,且所述的手动控制按钮设于箱体的前端。
上述的设计实现需要进行对单晶硅或多晶硅原料进行烘干时,只需要将物品放入到物料小车上,然后打开箱体的门,将物料小车沿着过渡台推入到箱体,此时物料小车可以沿着长方形凹槽内的隔离层向箱体内移动,直至物料小车全部进入到箱体内,此时由于压力传感器检测到压力信号,并经过处理后输送到信号处理单元,信号处理单元使开关控制器闭合,使得电磁铁通电具有磁性,此时能够将小车吸住,从而使小车在任何情况下均能够得到很好的固定作用,当烘干结束后,开启箱体门时,此时通过手动按下手动控制按钮,此时使得开关控制器断开,使的电磁铁失电,此时就能够轻松的将小车从箱体内推出,在按下手段控制按钮使得开关控制器回复初始状态(即常开状态),以便下次使用。
为了实现密封性,同时能够实现实时观察烘箱内部情况,在烘干结束后可以对物品进行样品测试其表面湿度及从而判断整个整体烘干是否可以结束,从而提高烘干效果,在箱体的门框上设有密封条,在箱体的上下相对于前端靠近控制器的位置均设有螺纹孔,在门上设有与螺纹孔配合的螺栓孔,在门的中心设有观察口,所述观察口的两侧设有导向轨道,在观察口的上方设有沿着导向轨道移动的玻璃,且在观察口的下方设有用于对玻璃进行限位的固定槽,所述玻璃下方通过连接部件与气缸的驱动轴连接。
工作时,当关上箱体门时,此时由于螺栓孔与螺纹孔配合,此时通过螺栓自动安装器将螺栓固定在螺栓孔与螺纹孔内,就能够使门与箱体起到很好的固定压紧作用,通过由于密封条的作用,使得箱体内部起到有效的密封作用;同时通过气缸驱动玻璃沿着导向轨道向上移动,当玻璃上端卡入到固定槽内,使的玻璃能够起到有效的固定及限位作用,在烘干过程中可以通过观察口能够对烘箱内部进行实时观察,当烘干效果结束后,此时通过气缸驱动玻璃沿着导向轨道向上移动,此时操作者可以通过机械手抽取箱体内烘干的物品,对物品表面的湿度进行检测并判断是否达标,由于只开了一个小口,因此对箱体内部不会有很大影响,从而提高烘干效率又能够起有效的节能效果。
为了使操作更加安全,实现只有在门关闭的同时才能给使控制控制器工作,在箱体的门框上还设有常开按钮,且所述的常开按钮连接在开关控制器与控制器的供电电源之间。
本实用新型得到的单晶硅烘箱,通过压力检测器检测到有物品重量时,使电磁铁得电工作对物料小车进行固定,从而使整个操作更加安全可靠,降低产品报废率;同时能够在保证箱体温度的情况下能够取出单个物品进行检测来判断烘干效果,从而有效的节能,又能够使烘干效果更佳好,提高产品质量。
附图说明
图1是实施例1的整体结构示意图(无直角型过渡台结构);
图2是实施例1中箱体门打开时,物料小车在外的整体结构示意图;
图3是实施例1中压力检测处理模块中的结构示意图;
图4是实施例2中箱体门打开时,物料小车在外的整体结构示意图;
图5是实施例2中箱体门关闭时的整体结构示意图;
图6是实施例2的观察窗的结构示意图;
图7是图6中A部分的放大图;
图8是实施例3中箱体门打开时,物料小车在外的整体结构示意图;
图9是实施例3中压力检测处理模块中的结构示意图。
图中:箱体1、控制器2、物料小车3、门4、出风口5、滚轮6、长方形凹槽7、电磁铁8、隔离层9、直角型过渡台10、压力传感器11、放大电路12、A/D转换单元13、信号处理单元14、开关控制器15、供电电源16、手动控制按钮17、密封条18、螺纹孔19、螺栓孔20、观察口21、导向轨道22、玻璃23、固定槽24、气缸25、驱动轴26、常开按钮27、螺栓28、压力检测处理模块29。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
实施例1:
如图1、图2、图3所示,本实施例提供的单晶硅烘箱,包括箱体1、控制器2和物料小车3,所述的控制器2置于箱体1的左侧,在箱体1上设有门4和出风口5,在物料小车3的底部设有滚轮6,在箱体1内部的底面设有两条平行的长方形凹槽7,在长方形凹槽7内设有电磁铁8,在电磁铁8的上方设有铁材料的隔离层9,在箱体1的外侧与长方形凹槽7上的隔离层9对应的位置设置有直角型过渡台10,在隔离层9上设有压力检测处理模块29,所述的压力检测处理模块29包括压力传感器11、放大电路12、A/D转换单元13、信号处理单元14以及开关控制器15,所述的压力传感器11依次通过放大电路12、A/D转换单元13与信号处理单元14的输入端连接,信号处理单元14的输出端与开关控制器15连接,且所述的开关控制器15连接在电磁铁8与控制器2的供电电源16之间,在开关控制器15上还连接有手动控制按钮17,且所述的手动控制按钮17设于箱体1的前端。
上述的设计实现需要进行对单晶硅或多晶硅原料进行烘干时,只需要将物品放入到物料小车3上,然后打开箱体1的门4,将物料小车3沿着过渡台推入到箱体1,此时物料小车3可以沿着长方形凹槽7内的隔离层9向箱体1内移动,直至物料小车3全部进入到箱体1内,此时由于压力传感器11检测到压力信号,并经过处理后输送到信号处理单元14,信号处理单元14使开关控制器15闭合,使得电磁铁8通电具有磁性,此时能够将小车吸住,从而使小车在任何情况下均能够得到很好的固定作用,当烘干结束后,开启箱体1门4时,此时通过手动按下手动控制按钮17,此时使得开关控制器15断开,使的电磁铁8失电,此时就能够轻松的将小车从箱体1内推出,在按下手段控制按钮使得开关控制器15回复初始状态(即常开状态),以便下次使用。
实施例2:
如图4、图5、图6、图7所示,本实施例提供的单晶硅烘箱的大致结构与实施例1相同,不同的是为了实现密封性,同时能够实现实时观察烘箱内部情况,在烘干结束后可以对物品进行样品测试其表面湿度及从而判断整个整体烘干是否可以结束,从而提高烘干效果,在箱体1的门框上设有密封条18,在箱体1的上下相对于前端靠近控制器2的位置均设有螺纹孔19,在门4上设有与螺纹孔19配合的螺栓孔20,在门4的中心设有观察口21,所述观察口21的两侧设有导向轨道22,在观察口21的上方设有沿着导向轨道22移动的玻璃23,且在观察口21的下方设有用于对玻璃23进行限位的固定槽24,所述玻璃23下方通过连接部件与气缸25的驱动轴26连接。
工作时,当关上箱体1门4时,此时由于螺栓孔20与螺纹孔19配合,此时通过螺栓自动安装器将螺栓28固定在螺栓孔20与螺纹孔19内,就能够使门4与箱体1起到很好的固定压紧作用,通过由于密封条18的作用,使得箱体1内部起到有效的密封作用;同时通过气缸25驱动玻璃23沿着导向轨道22向上移动,当玻璃23上端卡入到固定槽24内,使的玻璃23能够起到有效的固定及限位作用,在烘干过程中可以通过观察口21能够对烘箱内部进行实时观察,当烘干效果结束后,此时通过气缸25驱动玻璃23沿着导向轨道22向上移动,此时操作者可以通过机械手抽取箱体1内烘干的物品,对物品表面的湿度进行检测并判断是否达标,由于只开了一个小口,因此对箱体1内部不会有很大影响,从而提高烘干效率又能够起有效的节能效果。
Claims (3)
1.一种单晶硅烘箱,包括箱体(1)、控制器(2)和物料小车(3),所述的控制器(2)置于箱体(1)的左侧,在箱体(1)上设有门(4)和出风口(5),在物料小车(3)的底部设有滚轮(6),其特征是:在箱体(1)内部的底面设有两条平行的长方形凹槽(7),在长方形凹槽(7)内设有电磁铁(8),在电磁铁(8)的上方设有铁材料的隔离层(9),在箱体(1)的外侧与长方形凹槽(7)上的隔离层(9)对应的位置设置有直角型过渡台(10),在隔离层(9)上设有压力检测处理模块(29),所述的压力检测处理模块(29)包括压力传感器(11)、放大电路(12)、A/D转换单元(13)、信号处理单元(14)以及开关控制器(15),所述的压力传感器(11)依次通过放大电路(12)、A/D转换单元(13)与信号处理单元(14)的输入端连接,信号处理单元(14)的输出端与开关控制器(15)连接,且所述的开关控制器(15)连接在电磁铁(8)与控制器(2)的供电电源(16)之间,在开关控制器(15)上还连接有手动控制按钮(17),且所述的手动控制按钮(17)设于箱体(1)的前端。
2.根据权利要求1所述的单晶硅烘箱,其特征是:在箱体(1)的门框上设有密封条(18),在箱体(1)的上下相对于前端靠近控制器(2)的位置均设有螺纹孔(19),在门(4)上设有与螺纹孔(19)配合的螺栓孔(20),在门(4)的中心设有观察口(21),所述观察口(21)的两侧设有导向轨道(22),在观察口(21)的上方设有沿着导向轨道(22)移动的玻璃(23),且在观察口(21)的下方设有用于对玻璃(23)进行限位的固定槽(24),所述玻璃(23)下方通过连接部件与气缸(25)的驱动轴(26)连接。
3.根据权利要求1或2所述的单晶硅烘箱,其特征是:在箱体(1)的门框上还设有常开按钮(27),且所述的常开按钮(27)连接在开关控制器(15)与控制器(2)的供电电源(16)之间。
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