CN204651297U - 清洗花篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种清洗花篮，所述清洗花篮包括提手、底壁以及与所述底壁连接的侧壁，所述侧壁上设有多个卡槽，所述提手固定设置在所述侧壁上。在本实用新型提供的清洗花篮中，提手与花篮的侧壁固定连接，在使用的过程中，提手始终能够牢固地挂紧花篮，避免了提手与花篮脱落的现象，使用安全性高。

Description

清洗花篮

技术领域

本实用新型涉及LED加工领域，尤其是涉及一种清洗花篮。

背景技术

发光二极管简称为LED。由含镓(Ga)、砷(As)、磷(P)、氮(N)等的化合物制成。当电子与空穴复合时能辐射出可见光，因而可以用来制成发光二极管。LED在电路及仪器中作为指示灯，或者组成文字或数字显示。砷化镓二极管发红光，磷化镓二极管发绿光，碳化硅二极管发黄光，氮化镓二极管发蓝光。因化学性质又分有机发光二极管OLED和无机发光二极管LED。

在制造LED的过程中，常常需要使用外延片和芯片，其中，芯片指内含集成电路的硅片，体积很小。芯片是LED的重要组成部分。

外延是半导体工艺当中的一种。在两极(bipolar)工艺中，硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等。最后基本形成纵向NPN管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区。外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。因有些厂只做外延之后的工艺生产，所以他们买别人做好外延工艺的外延片来接着做后续工艺。

在LED加工行业，常常需要使用芯片和外延片，芯片和外延片的清洁程度会影响所制作硅片产品的质量，芯片和外延片使用前通常需要进行腐蚀、清洗等前序工艺的处理。其中，清洗工艺的主要作用包括：获得洁净的表面(如去除附着在芯片和外延片表面的原子、离子、分子、有机沾污或者颗粒)、晶片抛光和晶片定向腐蚀。芯片和外延片在清洗过程中，晶片表面的溶液浓度不断降低，反映速率将逐渐下降，从而严重影响清洗工艺的质量。为了确保清洗的质量，需要使反应池中的清洗液不断流动的状态，从而带动芯片或外延片表面清洗液的流动，补充反应液浓度的消耗，获得一致的反应过程。

芯片和外延片被清洗干净之后，进入烘箱中进行烘干处理。

现有技术中的清洗花篮通常采用塑料制成，其中，花篮的提手和花篮的侧壁是卡和连接的，由于塑料产品有一定的弹性，故这种清洗花篮在使用一段时间后会出现提手无法挂紧花篮的侧壁的现象，提手与花篮的侧壁容易脱落，使用安全性低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗花篮，以解决现有技术中的花篮存在的提手与花篮的侧壁容易脱落的技术问题。

本实用新型提供的清洗花篮，包括提手、底壁以及与所述底壁连接的侧壁，所述侧壁上设有多个卡槽，所述提手固定设置在所述侧壁上。

进一步地，所述提手与所述侧壁通过螺栓或者螺丝固定连接。

进一步地，所述提手与所述侧壁一体连接。也就是说，侧壁与提手在制造该清洗花篮的过程中是一体成型的，这种方式的提手与侧壁之间的连接更牢固，不会出现提手与侧壁脱落的现象，保证了使用安全性以及清洗效率。

进一步地，相邻两个所述卡槽之间的间距相等。这种方式使得相邻两个待清洗的硅片、芯片、玻璃板(例如光刻玻璃板)或者外延片之间有均匀充分的清洗液，保证硅片、芯片、玻璃板或者外延片能够被清洗干净。

进一步地，所述卡槽的宽度为1.8mm-2.3mm。这种宽度的卡槽使得厚度为1.8mm-2.3mm的非标准规格的芯片、外延片、玻璃板、硅片等都能够采用本实施例提供的清洗花篮来清洗。

进一步地，所述清洗花篮采用聚四氟乙烯制成，制成的清洗花篮还能够在强酸强碱和高温等恶劣条件下使用，寿命长。

进一步地，所述清洗花篮包括四个依次连接的侧壁，四个所述侧壁与所述底壁分别连接以围成一端开口的空腔。

进一步地，四个所述侧壁之间通过螺栓或者螺丝固定连接。

进一步地，四个所述侧壁和底壁上分别设有供清洗液流出的多个通孔，使得清洗液能最大限度地与待清洗的玻璃板、芯片、外延片、硅片等接触，并且清洗液能够以最快的速度流出，加快生产过程，提高生产效率。此外，清洗花篮的底壁和侧壁上的多个通孔还能够增大空气流通性，缩短烘干时间，进一步提高生产效率。

进一步地，所述通孔为圆形，所述通孔的直径为10mm-15mm。

在本实用新型提供的清洗花篮中，提手与花篮的侧壁固定连接，在使用的过程中，提手始终能够牢固地挂紧花篮，避免了提手与花篮脱落的现象，使用安全性高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的清洗花篮的立体结构示意图；

图2为图1中的清洗花篮的俯视图。

附图标记：

111-提手；       112-侧壁；

113-底壁；       1121-卡槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1为本实用新型实施例提供的清洗花篮的立体结构示意图；图2为图1中的清洗花篮的俯视图。

如图1和图2所示，本实施例提供的清洗花篮包括提手113、底壁113以及与所述底壁113连接的侧壁112，所述侧壁112上设有多个卡槽1121，待清洗的硅片、芯片、玻璃板或外延片放置在所述卡槽1121内，所述提手113固定设置在所述侧壁112上，即所述提手113与所述侧壁112固定连接。提手113可以是图1所示的U形，也可以是圆弧形等其他形状。

提手113可以采用多种连接方式固定设置在所述侧壁112上，下面将会详细描述。

在本实用新型提供的清洗花篮中，提手113与花篮的侧壁112固定连接，在使用的过程中，提手113始终能够牢固地挂紧花篮，避免了提手113与花篮脱落的现象，使用安全性高。

在本实施例中，所述提手113与所述侧壁112通过螺栓或者螺丝实现固定连接。其中，螺栓可以是塑料螺栓,螺丝可以是塑料螺丝。

此外，所述提手113与所述侧壁112还通过焊接方式实现固定连接。

进一步地，在本实施例中，所述提手113与所述侧壁112通过一体连接的方式实现所述提手113与所述侧壁112的固定连接。也就是说，侧壁112与提手113在制造该清洗花篮的过程中是一体成型的，这种方式的提手113与侧壁112之间的连接更牢固，不会出现提手113与侧壁112脱落的现象，保证了使用安全性以及清洗效率。

进一步地，相邻两个所述卡槽1121之间的间距相等。如图1和图2所示，多个卡槽1121沿所述侧壁112的长度方向间隔均匀距离设置。由于相邻两个所述卡槽1121之间的间距相等，使得放置在卡槽1121中的硅片、芯片、玻璃板或者外延片之间的间距相等，因此相邻两个待清洗的硅片、芯片、玻璃板(例如光刻玻璃板)或者外延片之间有均匀充分的清洗液，保证硅片、芯片、玻璃板或者外延片能够被清洗干净。

清洗时，先待清洗的硅片、芯片、玻璃板或外延片放置在所述卡槽1121内，硅片、芯片、玻璃板或外延片被卡槽1121和底壁113制成并卡紧，然后将盛放有硅片、芯片、玻璃板或外延片的清洗花篮放入清洗液中清洗，清洗后进入烘箱中烘干。

在多数情况下，企业生产的硅片都是标准尺寸，用于清洗硅片的花篮基本都是1寸、2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸等标准尺寸的硅片花篮。但是，生产标准尺寸硅片的厂家，往往都会需要生产一些特殊规格的玻璃板，由于目前的硅片都是厚度小于1mm,而玻璃板的厚度一般在1.8mm-2.2mm之间，故现有技术中的花篮都无法用来清洗玻璃板。

为了克服上述缺陷，本实用新型做了进一步改进，在本实施例提供的清洗花篮中，所述卡槽1121的宽度为1.8mm-2.3mm，具体地，卡槽1121的宽度可以是1.8mm、1.9mm、2.0mm、2.1mm、2.2mm、2.3mm。这种宽度的卡槽1121使得厚度为1.8mm-2.3mm的非标准规格的芯片、外延片、玻璃板、硅片等都能够采用本实施例提供的清洗花篮来清洗。

本实施例中的清洗花篮采用数控加工方法制造，加工精度高，能够使待清洗的芯片与花篮牢固稳定配合。整个清洗花篮的尺寸根据需要设置。

进一步地，四个所述侧壁112之间通过螺栓或者螺丝固定连接。具体地，分别在每个侧壁112的边缘打孔，通过螺栓或者螺丝将相邻的两个侧壁112固定连接上。底壁113与侧壁112的连接处也打孔，然后将四个所述侧壁112和所述底壁113采用例如螺栓或者螺丝之类的紧固件固定连接上。整个清洗花篮组装简单，容易制造。

优选地，所述清洗花篮采用聚四氟乙烯制成。聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，简写为PTFE，一般称作“不粘涂层”或“易清洁物料。这种材料具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点。因此，本实施例提供的清洗花篮还能够在强酸强碱和高温等恶劣条件下使用，寿命长。

图1为本实用新型实施例提供的清洗花篮的立体结构示意图。如图1所示，所述清洗花篮包括四个依次连接的侧壁112，四个所述侧壁112与所述底壁113分别连接以围成一端开口的空腔。待清洗的硅片、芯片、外延片等放置在该空腔中进行清洗。

清洗花篮可以为圆筒形、方形或者其他适合的形状，在图1所示的实施方式中，清洗花篮为方形。该方形的清洗花篮包括两组相对设置的侧壁112，其中，设置有卡槽1121的相对的两个侧壁112为第一侧壁，与提手113固定连接的两个相对的侧壁112为第二侧壁。其中，第一侧壁高于第二侧壁，这种设置一方面方便第一侧壁将待清洗的硅片、外延片、芯片等夹紧；另一方面减少第二侧壁对清洗液的阻碍，使清洗液能够顺利快速排出。

本实施例中的清洗花篮的侧壁112在保证强度不变的情况下，采用镂空结构，使清洗液能最大限度地与待清洗的玻璃板、芯片、外延片、硅片等接触，并且清洗液能够以最快的速度流出，加快生产过程，提高生产效率。

此外，本实施例中的清洗花篮的底壁113在保证支撑性能的前提下，采用镂空结构，以使清洗液能够以最快的速度流出，进一步加快生产过程，提高生产效率。

在上述实施例中，清洗花篮的底壁113和侧壁112分别为镂空结构还使得在烘干玻璃板、芯片、外延片、硅片等时，增大空气流通性，缩短烘干时间，提高生产效率。

更具体地，侧壁112和底壁113可以是本实施例中的镂空结构，即四个所述侧壁112和底壁113上分别设有供清洗液流出的多个通孔。通孔可以为各种适合的形状，例如圆形、方形、椭圆形、三角形、多边形等。

优选地，所述通孔为圆形，方便加工。

圆形的所述通孔的直径为10mm-15mm，例如10mm、11mm、12mm、13mm、14mm、15mm。通孔沿底壁113和侧壁112的表面均匀分布，以使清洗液能够与该清洗花篮中的待清洗的玻璃板、芯片、外延片或者硅片均匀地接触，保证均衡的清洗效果。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种清洗花篮，其特征在于，包括提手、底壁以及与所述底壁连接的侧壁，所述侧壁上设有多个卡槽，所述提手固定设置在所述侧壁上。

2.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述提手与所述侧壁通过螺栓或者螺丝固定连接。

3.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述提手与所述侧壁一体连接。

4.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，相邻两个所述卡槽之间的间距相等。

5.根据权利要求4所述的清洗花篮，其特征在于，所述卡槽的宽度为1.8mm-2.3mm。

6.根据权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，所述清洗花篮采用聚四氟乙烯制成。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的清洗花篮，其特征在于，所述清洗花篮包括四个依次连接的侧壁，四个所述侧壁与所述底壁分别连接以围成一端开口的空腔。

8.根据权利要求7所述的清洗花篮，其特征在于，四个所述侧壁之间通过螺栓或者螺丝固定连接。

9.根据权利要求8所述的清洗花篮，其特征在于，四个所述侧壁和底壁上分别设有供清洗液流出的多个通孔。

10.根据权利要求9所述的清洗花篮，其特征在于，所述通孔为圆形，所述通孔的直径为10mm-15mm。