CN204620744U - 溅射旋转靶材矫直装置 - Google Patents

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沈斌
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Abstract

溅射旋转靶材矫直装置,机架(1)内下部水平安装二个相互平行的底辊(3)，在机架(1)内上部通过压力臂(5)安装顶压辊(4)，顶压辊(4)安装在二个底辊(3)中部的上方。通过内置结构设计，使得检测时能够方便的置入管靶中，依靠红外测距精细分析管靶内壁的起伏测量直线度，装置已与制作生产，检测过程简明扼要，操作简便易行，其加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度，缩短检测周期，效率显著提升，检测精确，也便于自动化设计和改造。

Description

溅射旋转靶材矫直装置
技术领域
本实用新型涉及旋转靶材管靶的直线度整形校正设备装置，属于溅射靶材新材料领域的辅助技术，尤其是溅射旋转靶材矫直装置。
背景技术
随着技术的进步，靶材的设计逐渐由平面靶材向旋转靶材过渡，因为旋转靶材的材料利用率可以达到80%，而一般平面靶材利用率只能达到30%；对于旋转溅射靶材，由于在溅射使用过程中，管内装有磁钢，对内径的直线度要求很高，一般要求直线度≤0.5mm。目前市场上生产和使用的金属旋转靶材材料强度较差，管材容易弯曲变形，无法直接作为靶材使用，还需要内衬不锈钢管或钛管作为支撑。这些金属管靶在浇铸、喷涂、挤压或加工过程中，难免会产生弯曲变形，直线度达不到使用要求。
关于溅射靶材的检测技术文献公开较少，如：中国专利申请201120367953.3公开了一种合金靶材的矫直装置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上设有引导上模架上下运动的导柱，下模座上还设有可彼此贴合的侧护板和推板，侧护板固定安装于下模座上，推板的一侧设有可推动推板平行运动的侧液压缸。此合金靶材的矫直装置可将需加工的靶材置于推板与侧护板间，并通过侧液压缸推动推板平行运动对置于推板与侧护板间的靶材进行压制，同时其上方的上模架可沿导柱向下运动对靶材的上下两侧进行压制，经过此组合模具压制后的靶材。
实现该类技术的装置较为复杂，但是控制提高直线度效果有限。尚未有专用的方法或设备可供采用，使得在现有技术中相关工作仅能借助人工目测或借助测量工具完成。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种溅射旋转靶材矫直装置，种可有效提高旋转靶材管靶直线度精度的矫直装置，解决管内径直线度的精确矫直。
本实用新型的目的将通过以下技术措施来实现：包括机架、底辊、顶压辊和压力臂；机架内下部水平安装二个相互平行的底辊，在机架内上部通过压力臂安装顶压辊，顶压辊安装在二个底辊中部的上方。
尤其是，机架上安装数控器。
尤其是，机架上安装桁架，桁架上水平安装芯轴，芯轴外套装内顶轮。
尤其是，二个底辊为刚性转辊外径相同，而且，该二个底辊的轴间距大于其外径和的1.5倍。
尤其是，压力臂上连接气动或弹簧装置。
本实用新型的优点和效果：通过内置结构设计，使得检测时能够方便的置入管靶中，依靠红外测距精细分析管靶内壁的起伏测量直线度，装置已与制作生产，检测过程简明扼要，操作简便易行，其加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度，缩短检测周期，效率显著提升，检测精确，也便于自动化设计和改造。
附图说明
图1为本实用新型实施例1结构示意图。
附图标记包括： 机架1、数控器2、底辊3、顶压辊4、压力臂5、管靶6、桁架7、芯轴8、内顶轮9。
具体实施方式
本实用新型原理在于， 对于管靶局部变形，虽然施加压力可以进行一定校正，但是，如果不进行辅助的受力配合或平衡，则会造成其他部位或结构的变形，所以，矫直功能结构应包括相互配合的工装夹具，以及保护结构。
本实用新型包括：机架1、底辊3、顶压辊4和压力臂5。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例1：如附图1所示，机架1内下部水平安装二个相互平行的底辊3，在机架1内上部通过压力臂5安装顶压辊4，顶压辊4安装在二个底辊3中部的上方。
前述中，机架1上安装数控器2。
前述中，机架1上安装桁架7，桁架7上水平安装芯轴8，芯轴8外套装内顶轮9。内顶轮9从内侧顶撑管靶6内壁。
前述中，二个底辊3为刚性转辊外径相同，而且，该二个底辊3的轴间距大于其外径和的1.5倍。另外，该二个底辊3的轴间距小于管靶6外径。
前述中，压力臂5上连接气动或弹簧装置。
前述中，内顶轮9为铁氟龙结构而且外覆聚氨酯。
本实用新型实施例工作时，把管靶6顺底辊3轴向安置于二个底辊3之间的夹缝上方，在其内部置入内顶轮9做支撑，从其上方向下移动顶压辊4，通过数控器2启闭操控压力臂5下移，顶压辊4下顶的同时，二个底辊3向上提供刚性支承，而且内顶轮9从内向外做支撑防止管靶6管壁下陷变形过度，在顶压的同时，还可以传动或移动辅助机构，对管靶6施加水平移动或转动，使之在动态中连续快速矫直。
本实用新型创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (5)

1.溅射旋转靶材矫直装置, 包括机架(1)、底辊(3)、顶压辊(4)和压力臂(5)；其特征在于，机架(1)内下部水平安装二个相互平行的底辊(3)，在机架(1)内上部通过压力臂(5)安装顶压辊(4)，顶压辊(4)安装在二个底辊(3)中部的上方。
2.如权利要求1所述的溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于，机架(1)上安装数控器(2)。
3.如权利要求1所述的溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于，机架（1）上安装桁架(7)，桁架(7)上水平安装芯轴(8)，芯轴(8)外套装内顶轮(9)。
4.如权利要求1所述的溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于，二个底辊(3)为刚性转辊外径相同，而且，该二个底辊(3)的轴间距大于其外径和的1.5倍。
5.如权利要求1所述的溅射旋转靶材矫直装置，其特征在于，压力臂(5)上连接气动或弹簧装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106637115A (zh) * 2016-12-14 2017-05-10 东莞南玻工程玻璃有限公司 旋转银靶材的晶粒辊压细化装置
CN111440000A (zh) * 2020-04-24 2020-07-24 河北恒博新材料科技股份有限公司 一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法

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Registration number: Y2020320010048

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Denomination of utility model: Sputtering rotating target straightening device

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Granted publication date: 20150909

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Pledgor: JIMAIKE MATERIAL TECHNOLOGY (SUZHOU) Co.,Ltd.

Registration number: Y2021320010207

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