CN204594387U - 一种石英基板底厚快速测量装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。本实用新型具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种厚度测量装置,具体涉及一种石英基板底厚快速测量装置。
背景技术
在使用基板的生产过程中,需要对石英基板的底厚进行测量确认,现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度,然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小,测量难度大且测量的数值会出现偏差,测量部不准确。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足,提供一种操作方便,测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。
技术方案:本实用新型所述的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。
作为优化,所述伸缩管上固定连接有按压把手。
作为优化,所述测头为不锈钢测头,且表面光滑平整。
作为优化,所述支撑垫片与所述底座通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
作为优化,所述待测石英基板倒置放置。
作为优化,所述待测石英基板的宽度大于所述支撑垫片的宽度。
有益效果:本实用新型具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构主视图。
图2为本实用新型的结构俯视图。
图3为本实用新型的支撑垫片与待测石英基板结构放大图。
具体实施方式
如图1-3所示的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座1和与所述底座1固定连接的固定架2,固定架2通过支架7固定连接有百分表3,百分表3下端通过伸缩管4活动连接有测头6,测头6正下方设有与底座1固定连接的支撑垫片8,支撑垫片8上放置有待测石英基板9,其中伸缩管4上固定连接有按压把手5,测头6为不锈钢测头,支撑垫片8与所述底 座1通过两侧的锁紧螺丝固定连接,待测石英基板9倒置放置,待测石英基板9的宽度大于所述支撑垫片8的宽度。
本实用新型的测量过程为:根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片,将垫片与底座固定,待测基板倒置放在垫片上,把百分比清零校正,下压把手时测头与基板表面接触,读出百分表读数,拿掉待测基板,测量垫片的高度,并读出百分表读数,最后将两个读数相减得出最后的基板底厚数值。
本实用新型具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
Claims (6)
1.一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:包括底座(1)和与所述底座(1)固定连接的固定架(2),所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3),所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6),所述测头(6)正下方设有与底座(1)固定连接的支撑垫片(8),所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述伸缩管(4)上固定连接有按压把手(5)。
3.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述测头(6)为不锈钢测头。
4.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述支撑垫片(8)与所述底座(1)通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述待测石英基板(9)倒置放置。
6.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:所述待测石英基板(9)的宽度大于所述支撑垫片(8)的宽度。
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CN201520298019.9U CN204594387U (zh) | 2015-05-08 | 2015-05-08 | 一种石英基板底厚快速测量装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105588489A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-05-18 | 南通永明光纤材料有限公司 | 一种石英基板底厚快速测量方法 |
CN110657730A (zh) * | 2019-08-27 | 2020-01-07 | 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 | 一种内槽直径测量装置及测量方法 |
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- 2015-05-08 CN CN201520298019.9U patent/CN204594387U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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Granted publication date: 20150826 Termination date: 20160508 |