CN204142145U - 平面靶材厚度测量工具 - Google Patents

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范晓鹏
张庆丰
李贵成
汪涛
郭强
胡尚智
张加友
刘占伟
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Abstract

本实用新型公开了一种平面靶材厚度测量工具,包括游标卡尺和“匚”形座,“匚”形座的底板的上表面为平面,“匚”形座的顶板上靠近边缘的位置设有竖向通孔,“匚”形座的顶板上靠近竖向通孔的端部设有与竖向通孔相通的横向螺孔,游标卡尺的深度尺连接于游标卡尺的下端,游标卡尺的下端置于竖向通孔内,游标卡尺的深度尺穿过竖向通孔,螺栓的螺杆穿过横向螺孔将游标卡尺固定于“匚”形座的顶板上。本实用新型通过读数精确的游标卡尺和机械接触相配合并计算高度差获得平面靶材的厚度值,测量精度显著提高;另外,游标卡尺和“匚”形座(由“G”形夹稍加改造即可)均为太阳能电池生产线的常用工具,所以工具利用率提高了,节约了成本。

Description

平面靶材厚度测量工具
技术领域
本实用新型涉及一种薄膜太阳能电池生产中的靶材厚度测量工具,尤其涉及一种平面靶材厚度测量工具。
背景技术
薄膜太阳能电池生产中要用到磁控溅射设备,磁控溅射设备采用的靶材主要有旋转靶材和平面靶材,旋转靶材整体溅射均匀,而平面靶材溅射后会形成环形溅射沟道,如图1和图2所示,平面靶材1在溅射后会形成环形溅射沟道2。
当平面靶材消耗到一定程度时,需对靶材的剩余厚度进行测量,以评估靶材的剩余寿命。目前采用的方法有两种:一种是利用外卡规进行测量,另一种是利用板厚千分尺进行测量。这两种测量方式都是利用测量工具直接测量靶材的厚度,要靠人工对齐和肉眼观察,所以其测量的精确性不足;另外,这两种测量方式所采用的测量工具都不是产线常用工具,所以生产线工具利用率不高,会增加较多的额外采购成本。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种测量精确的平面靶材厚度测量工具。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种平面靶材厚度测量工具,包括游标卡尺,还包括“匚”形座,所述“匚”形座的底板的上表面为平面,所述“匚”形座的顶板上靠近边缘的位置设有竖向通孔,所述“匚”形座的顶板上靠近所述竖向通孔的端部设有与所述竖向通孔相通的横向螺孔,所述游标卡尺的深度尺连接于所述游标卡尺的下端,所述游标卡尺的下端置于所述竖向通孔内,所述游标卡尺的深度尺穿过所述竖向通孔,螺栓的螺杆穿过所述横向螺孔将所述游标卡尺固定于所述“匚”形座的顶板上。
应用时,先将游标卡尺的深度尺的下端与“匚”形座的底板的上表面接触,记下深度尺上端在游标卡尺上的读数d1,然后将深度尺向上滑动,再将平面靶材置于“匚”形座的底板的上表面上,并使平面靶材的环形溅射沟道正对深度尺的下端,再将深度尺向下滑动使其下端与环形溅射沟道的中心位置接触,记下深度尺上端在游标卡尺上的读数d2,用d1-d2即得环形溅射沟道的厚度值。测量平面靶材的其它部位的厚度方法相似。
为了使游标卡尺的深度尺的下端更好地接触平面靶材的环形溅射沟道的上表面,所述游标卡尺的深度尺的下端端面为半径小于所述平面靶材的环形溅射沟道半径的圆弧形面。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型通过读数精确的游标卡尺和机械接触相配合并计算高度差获得平面靶材的厚度值,测量精度显著提高,克服了人工对齐和肉眼观察所带来的测量误差;另外,游标卡尺和“匚”形座(由“G”形夹稍加改造即可)均为太阳能电池生产线的常用工具,所以工具利用率提高了,节约了成本。
附图说明
图1是平面靶材的主视图;
图2是图1中的A-A剖视图;
图3是本实用新型所述平面靶材厚度测量工具应用时的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
如图3所示,本实用新型所述平面靶材厚度测量工具包括游标卡尺7和“匚”形座3,“匚”形座3的底板4的上表面为平面,“匚”形座3的顶板11上靠近边缘的位置设有竖向通孔5,“匚”形座3的顶板11上靠近竖向通孔5的端部设有与竖向通孔5相通的横向螺孔6,游标卡尺7的深度尺8连接于游标卡尺7的下端,游标卡尺7的下端置于竖向通孔5内,游标卡尺7的深度尺8穿过竖向通孔5,螺栓9的螺杆10穿过横向螺孔6将游标卡7尺固定于“匚”形座3的顶板11上,游标卡尺7的深度尺8的下端端面为半径小于平面靶材1的环形溅射沟道2的半径的圆弧形面。
如图3所示,用本测量工具测量平面靶材1的环形溅射沟道2时,先将游标卡尺7的深度尺8的下端与“匚”形座3的底板4的上表面接触,记下深度尺8的上端在游标卡尺7上的读数d1,然后将深度尺8向上滑动,再将平面靶材1置于“匚”形座3的底板4的上表面上,并使平面靶材1的环形溅射沟道2正对深度尺8的下端,再将深度尺8向下滑动使其下端与环形溅射沟道2的中心位置接触,记下深度尺8的上端在游标卡尺7上的读数d2,用d1-d2即得环形溅射沟道2的厚度值。测量平面靶材1的其它部位的厚度方法相似。
上述实施例只是本实用新型的较佳实施例,并不是对本实用新型技术方案的限制,只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案,均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (2)

1.一种平面靶材厚度测量工具,包括游标卡尺,其特征在于:还包括“匚”形座,所述“匚”形座的底板的上表面为平面,所述“匚”形座的顶板上靠近边缘的位置设有竖向通孔,所述“匚”形座的顶板上靠近所述竖向通孔的端部设有与所述竖向通孔相通的横向螺孔,所述游标卡尺的深度尺连接于所述游标卡尺的下端,所述游标卡尺的下端置于所述竖向通孔内,所述游标卡尺的深度尺穿过所述竖向通孔,螺栓的螺杆穿过所述横向螺孔将所述游标卡尺固定于所述“匚”形座的顶板上。
2.根据权利要求1所述的平面靶材厚度测量工具,其特征在于:所述游标卡尺的深度尺的下端端面为半径小于所述平面靶材的环形溅射沟道半径的圆弧形面。
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