CN204575943U - 一种用于euv光刻机的真空反射镜片安装和调节装置 - Google Patents
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CN109188646A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-01-11 | 北京遥感设备研究所 | 一种高精度稳像反射镜粘结装置及方法 |
CN109884763A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-06-14 | 中国科学院国家授时中心 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 |
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