CN109884763A - 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 - Google Patents
一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109884763A CN109884763A CN201910152682.0A CN201910152682A CN109884763A CN 109884763 A CN109884763 A CN 109884763A CN 201910152682 A CN201910152682 A CN 201910152682A CN 109884763 A CN109884763 A CN 109884763A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- support
- cavity
- optical reference
- super steady
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 83
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000009021 linear effect Effects 0.000 claims description 44
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 208000002925 dental caries Diseases 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
本发明公开了一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法，包括真空腔室以及设置在真空腔室内用于支撑超稳光学参考腔的腔体支架，腔体支架的截面为U型结构，包括底部的弧面板和设置在弧面板上的两支撑面板，支撑面板的顶部两端均开设有滑槽，每个滑槽内均设置有一可滑动的滑块，且滑块上设置有用于支撑超稳光学参考腔的腔体支撑垫，四个腔体支撑垫的顶面位于同一水平面，所述腔体支架的弧面板上放置有一腔体竖直运动支撑；在保证高真空不泄露的条件下，采用5个直线推进器实现无需开封真空腔室的情况下，纯机械调节，保证超稳光学参考腔支撑位置精密对称地调节。
Description
技术领域
本发明属于超稳光学参考腔领域，尤其涉及一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法。
背景技术
超窄线宽激光作为高精密测量的一种重要手段，已广泛应用在光学原子钟、高精密光谱测量、引力红移测量和相对论的检验、甚长基线干涉和引力波观测等领域，并且在相干通信、激光陀螺和激光测距等工业领域有着重要的应用前景。一般，釆用Pound-Drever-Hall(PDH)稳频技术将激光频率锁定在超稳光学参考腔的谐振频率上实现超窄线宽激光的输出。超窄线宽激光的频率稳定性与超稳光学参考腔有效腔长的稳定性密切相关。目前，影响超稳光学参考腔腔长变化的低频振动难以抑制和消除，已成为超窄线宽激光性能进一步提高的主要限制因素之一。
目前，降低超稳光学参考腔低频振动的方法主要采用：基于隔振器(包括主动隔振和被动隔振)隔离之上降低超稳光学参考腔振动敏感度。通常采用有限元分析的方法来优化超稳光学参考腔的支撑位置和形状来获得较低的振动敏感度度。但在实验中表明基于有限元分析优化的超稳光学参考腔的最佳支撑位置(最低振动敏感度的位置)和实验实测的位置还有较大的差距。
为了解决这个问题，通常采用的方法是：将超稳光学参考腔安装在基于有限元分析优化的超稳光学参考腔的最佳支撑位置，然后封真空(10-6Pa数量级以上)，通过实测获得该位置的振动敏感度，然后开启真空封装，变更超稳光学参考腔的支撑位置，再通过实测获得振动敏感度度，如此操作多次来获得实际的最低振动敏感度位置。该方法存在以下几点缺陷：
1、耗时耗力。例如，每次打开真空封装以后再次进行真空封装，将真空腔室预抽至10-6Pa数量级以上真空，少则1个月，多则数个月。
2、容易污染真空环境。多次开启和封装真空腔室需要人力操作，大大增加了污染真空环境的可能性。
3、操作繁琐，易损毁超稳光学参考腔。超稳光学参考腔的材料是玻璃，每次改变超稳光学参考腔支撑位置都需要人的手拿改变位置，在操作空间有限的条件下，相对机械操作容易损坏。
4、支撑位置对称结构难以保证。超稳光学参考腔对于支撑位置的对称性有很高的要求，人为操作很难保证支撑位置的对称性。
发明内容
本发明的目的在于克服上述超稳光学参考腔支撑调节存在的缺点，提供一种超稳光学参考腔支撑调节装置及调节方法，在保证高真空不泄露的条件下，采用5个直线推进器实现无需开封真空腔室的情况下，纯机械调节，保证超稳光学参考腔支撑位置精密对称地调节。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：一种超稳光学参考腔支撑调节装置，包括真空腔室以及设置在真空腔室内用于支撑超稳光学参考腔的腔体支架，腔体支架的截面为U型结构，包括底部的弧面板和设置在弧面板上的两支撑面板，支撑面板的顶部两端均开设有滑槽，每个滑槽内均设置有一可滑动的滑块，且滑块上设置有用于支撑超稳光学参考腔的腔体支撑垫，四个腔体支撑垫的顶面位于同一水平面，所述腔体支架的弧面板上放置有一腔体竖直运动支撑；
所述支撑调节装置还包括四个水平直线推进器和一个竖直直线推进器，每个水平直线推进器活动端分别连接一滑块，用于带动腔体支撑垫在滑槽内的滑动，所述竖直直线推进器的活动端穿过真空腔室和腔体支架与竖直运动支撑连接，所述竖直直线推进器用于实现超稳光学参考腔竖直方向上的运动。
进一步的，所述真空腔室为筒状结构设计，且在筒状结构的两端设置有第一真空法兰盘，每个水平直线推进器均通过一第二真空法兰盘连接在第一真空法兰盘上，竖直直线推进器通过一第二真空法兰盘密封连接在真空腔室上。
进一步的，所述真空腔室的内壁设置有热屏蔽层，所述热屏蔽层位于真空腔室与腔体支架之间。
进一步的，所述真空腔室内的真空度在10-5Pa数量级以上。
进一步的，所述真空腔室上还开设有用于连接真空抽气设备的第三真空法兰盘。
进一步的，四个腔体支撑垫中，两支撑板面板之间的腔体支撑垫对称设置，每个支撑面板上的两个腔体支撑垫之间对称设置。
进一步的，所述腔体支架底部的弧面板与真空腔室的内壁贴合。
本发明还提供了一种超稳光学参考腔支撑调节装置的调节方法，包括以下步骤：
第一步：以超稳光学参考腔的轴线作为X轴，以竖直直线推进器的轴线作为Z轴，确定三维坐标系；根据有限元数值模拟仿真计算，确定四个腔体支撑垫的初始支撑位置，四个腔体支撑垫在X轴和Y轴方向上是对称放置，即第一水平直线推进器和第三水平直线推进器与第二水平直线推进器和第四水平直线推进器推进的滑块携带的腔体支撑垫关于Y轴对称；第一水平直线推进器和第二水平直线推进器与第三水平直线推进器和第四水平直线推进器推进的滑块携带的腔体支撑垫在关于X轴对称；这四个腔体支撑垫在Z方向上是处于同一平面内，即四个水平直线推进器推进的滑块在Z轴方向上是处于同一平面内；
第二步：将超稳光学参考腔放置在上述第一步所述的初始支撑位置，并封装真空，抽气达到真空度要求；
第三步：实验测试当前支撑位置是否为最佳位置，如果是最佳位置，则调节结束，如果不是最佳位置，根据当前支撑位置的实验测试结果，预估下一支撑位置；
第四步：旋转竖直直线推进器让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑沿着Z轴正方向运动，此时，腔体竖直运动支撑将超稳光学参考腔托起，当超稳光学参考腔被托起运动到合适位置后，停止旋转竖直直线推进器，并记下旋转总圈数N；
第五步：按照所述第三步中预估的下一支撑位置，计算水平直线推进器需要旋转的圈数M；按照旋转圈数M旋转第一水平直线推进器，使其滑块携带腔体支撑垫到达下一支撑位置，随后按照旋转圈数M旋转第二水平直线推进器、第三水平直线推进器和第四水平直线推进器，使其滑块携带腔体支撑垫到达下一支撑位置；
第六步：旋转竖直直线推进器让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑沿着Z负方向运动，旋转圈数为N，腔体竖直运动支撑将支撑超稳光学参考腔到达和腔体支撑垫相接触的位置，腔体竖直运动支撑脱离超稳光学参考腔，到达第一步中腔体竖直运动支撑所在的位置；
第七步：重复第三步到第六步直至当前支撑位置为最佳位置。
与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
本发明能够保证高真空不泄露的条件下，采用5个直线推进器(4个水平直线推进器和1个竖直直线推进器)实现无需开封真空腔室的情况下，纯机械调节，保证超稳光学参考腔支撑位置精密对称地调节。其中，1个直线推进器完成超稳光学参考被顶起的操作，其它4个直线推进器完成超稳光学参考腔的位置对称地水平精密调节改变。本发明设计的运动支撑机构可以应用于超稳光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。
进一步的，通过在腔体支架与真空腔室之间设置热屏蔽层，减小外界热辐射对于超稳光学参考腔的影响。
进一步的，将腔体支架设置为U型结构的作用，方便支撑超稳光学参考腔，腔体竖直运动支撑与超稳光学参考腔的下端面相互匹配，保证平稳升高和放置超稳光学参考腔，升高超稳光学参考腔，使其与支撑垫脱离，方便支撑垫位置的改变。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明中真空腔室内部结构示意图。
图3为水平直线推进器与腔体支架之间组装关系示意图。
图4为图3的局部结构放大图。
图5为本发明的水平直线推进器与腔体支架之间组装关系示意图。
图6为超稳光学参考腔的结构示意图。
附图中：1-真空腔室、11-第一水平直线推进器、12-第二水平直线推进器、13-第三水平直线推进器、14-第四水平直线推进器、15-竖直直线推进器、16-腔体支架、161-滑槽、162-腔体竖直运动支撑、17-热屏蔽层、18-第一真空法兰盘、19-第二真空法兰盘、20-第三真空法兰盘、21-滑块、23-腔体支撑垫、3-超稳光学参考腔。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明做进一步说明。
如图1所示，本发明的超稳光学参考腔支撑调节装置，包括真空腔室1以及设置在真空腔室1内用于支撑超稳光学参考腔3的腔体支架16，腔体支架16的截面为U型结构，包括底部的弧面板和设置在弧面板上的两支撑面板，支撑面板的顶部两端均开设有滑槽161，每个滑槽内均设置有一可滑动的滑块21，且滑块21上设置有用于支撑超稳光学参考腔3的腔体支撑垫23，四个腔体支撑垫23的顶面位于同一水平面，所述腔体支架16的弧面板上放置有一腔体竖直运动支撑162；
所述支撑调节装置还包括四个水平直线推进器和一个竖直直线推进器15，每个水平直线推进器活动端分别连接一滑块21，用于带动腔体支撑垫23在滑槽161内的滑动，所述竖直直线推进器15的活动端穿过真空腔室1和腔体支架16与竖直运动支撑162连接，所述竖直直线推进器15用于实现超稳光学参考腔3竖直方向上的运动。
如图1、图2、图3、图4和图5所示，真空腔室1为筒状结构设计，真空腔室1内的真空度在10-5Pa数量级以上，且在筒状结构的两端设置有第一真空法兰盘18，每个水平直线推进器均通过一第二真空法兰盘19连接在第一真空法兰盘18上，竖直直线推进器15通过一第二真空法兰盘19密封连接在真空腔室1上；推进器的活动端均伸入真空腔室内，腔体支架16底部的弧面板与真空腔室1的内壁贴合，真空腔室1的内壁设置有热屏蔽层17，且热屏蔽层17位于真空腔室1与腔体支架16之间，所述真空腔室1上还开设有用于连接真空抽气设备的第三真空法兰盘20。
如图3所示，四个腔体支撑垫23中，两支撑板面板之间的腔体支撑垫23对称设置，每个支撑面板上的两个腔体支撑垫23之间对称设置。
如图6所示，超稳光学参考腔3的结构，圆筒状结构设计，且在筒身上沿轴向设置有支撑台阶，支撑台阶用于与腔体支撑垫配合实现支撑。如图5所示，腔体支撑垫23上设置有与支撑台阶对应的支撑结构用于对超稳光学参考腔进行支撑。
在本发明的优选实施例中，真空腔室和热屏蔽层之间通过绝热螺钉(或其它绝热结构联结，另外，真空腔室外部还分布有用于真空抽气的法兰盘，热屏蔽层主要是用于屏蔽真空腔室外部环境的热影响，其和真空腔室内部用通过绝热螺钉(或其它绝热结构联结；热屏蔽层和腔体支架之间通过绝热螺钉(或其它绝热结构联结。另外，热屏蔽层的数量根据实际控温方法和要求来设计，多个热屏蔽层之间通过绝热螺钉(或其它绝热结构联结。
腔体支架和滑块、腔体支撑垫、腔体竖直运动支撑以及热屏蔽层之间的配合实现超稳光学参考腔的支撑。腔体支架有4个导向滑槽，其和滑块相配合实现腔体支撑垫的水平移动。腔体支架和热屏蔽层之间通过绝热螺钉(或其它绝热结构联结。腔体支架和腔体竖直运动支架相互配合实现超稳光学参考腔能够可靠和准确的竖直方向上的运动。
腔体竖直支撑主要和竖直直线推进器、腔体支架等实现超稳光学参考腔竖直方向上的运动。其和竖直直线推进器之间通过一定方式(如螺钉、焊接等联结方式联结。腔体竖直支撑和腔体之间是可以竖直方向山的无摩擦运动的。
滑块个数一共是4个，他们和腔体支架、4个水平直线推进器、4个腔体支撑垫等实现其携带腔体支撑垫在腔体支架滑槽内的水平运动。滑块和腔体支架之间是通过水平滑槽实现水平运动的。4个滑块分别和4个腔体支撑垫是通过一定方式(如无放气的真空胶等固定连接的。4个滑块分别和4个水平直线推进器之间通过一定方式(如螺钉、焊接等联结方式联结。
本发明的该种超稳光学参考腔支撑调节装置结构，实现超稳光学参考腔支撑位置的精密调节。本发明的调节支架结构就是通过竖直直线推进器和腔体竖直支撑相联结顶起超稳光学参考腔，然后调节4个水平直线推进器，让滑块携带腔体支撑垫运动到理想位置后，调节竖直直线推进器和腔体竖直支撑结合体，使得超稳光学参考腔顺利平稳的放置在腔体支撑垫上，进而完成全部操作；具体的说，本发明的超稳光学参考腔支撑调节装置的调节方法，包括以下步骤：
第一步：以超稳光学参考腔3的轴线作为X轴，以竖直直线推进器15的轴线作为Z轴，确定三维坐标系；根据有限元数值模拟仿真计算，确定四个腔体支撑垫23的初始支撑位置，四个腔体支撑垫23在X轴和Y轴方向上是对称放置，即第一水平直线推进器11和第三水平直线推进器13与第二水平直线推进器12和第四水平直线推进器14推进的滑块携带的腔体支撑垫23关于Y轴对称；第一水平直线推进器11和第二水平直线推进器12与第三水平直线推进器13和第四水平直线推进器14推进的滑块携带的腔体支撑垫23在关于X轴对称；这四个腔体支撑垫23在Z方向上是处于同一平面内，即四个水平直线推进器推进的滑块在Z轴方向上是处于同一平面内；
第二步：将超稳光学参考腔3放置在上述第一步所述的初始支撑位置，并封装真空，抽气达到真空度要求；
第三步：实验测试当前支撑位置是否为最佳位置，如果是最佳位置，则调节结束，如果不是最佳位置，根据当前支撑位置的实验测试结果，预估下一支撑位置；
第四步：旋转竖直直线推进器15让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑162沿着Z轴正方向运动，此时，腔体竖直运动支撑162将超稳光学参考腔3托起，当超稳光学参考腔3被托起运动到合适位置后，停止旋转竖直直线推进器15，并记下旋转总圈数N；
第五步：按照所述第三步中预估的下一支撑位置，计算水平直线推进器需要旋转的圈数M；按照旋转圈数M旋转第一水平直线推进器11，使其滑块携带腔体支撑垫23到达下一支撑位置，随后按照旋转圈数M旋转第二水平直线推进器12、第三水平直线推进器13和第四水平直线推进器14，使其滑块携带腔体支撑垫23到达下一支撑位置；
第六步：旋转竖直直线推进器15让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑162沿着Z负方向运动，旋转圈数为N，腔体竖直运动支撑162将支撑超稳光学参考腔3到达和腔体支撑垫23相接触的位置，腔体竖直运动支撑162脱离超稳光学参考腔3，到达第一步中腔体竖直运动支撑162所在的位置；
第七步：重复第三步到第六步直至当前支撑位置为最佳位置。
Claims (8)
1.一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，包括真空腔室(1)以及设置在真空腔室(1)内用于支撑超稳光学参考腔(3)的腔体支架(16)，腔体支架(16)的截面为U型结构，包括底部的弧面板和设置在弧面板上的两支撑面板，支撑面板的顶部两端均开设有滑槽(161)，每个滑槽内均设置有一可滑动的滑块(21)，且滑块(21)上设置有用于支撑超稳光学参考腔(3)的腔体支撑垫(23)，四个腔体支撑垫(23)的顶面位于同一水平面，所述腔体支架(16)的弧面板上放置有一腔体竖直运动支撑(162)；
所述支撑调节装置还包括四个水平直线推进器和一个竖直直线推进器(15)，每个水平直线推进器活动端分别连接一滑块(21)，用于带动腔体支撑垫(23)在滑槽(161)内的滑动，所述竖直直线推进器(15)的活动端穿过真空腔室(1)和腔体支架(16)与竖直运动支撑(162)连接，所述竖直直线推进器(15)用于实现超稳光学参考腔(3)竖直方向上的运动。
2.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，所述真空腔室(1)为筒状结构设计，且在筒状结构的两端设置有第一真空法兰盘(18)，每个水平直线推进器均通过一第二真空法兰盘(19)连接在第一真空法兰盘(18)上，竖直直线推进器(15)通过一第二真空法兰盘(19)密封连接在真空腔室(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，所述真空腔室(1)的内壁设置有热屏蔽层(17)，所述热屏蔽层(17)位于真空腔室(1)与腔体支架(16)之间。
4.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，所述真空腔室(1)内的真空度在10-5Pa数量级以上。
5.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，所述真空腔室(1)上还开设有用于连接真空抽气设备的第三真空法兰盘(20)。
6.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，四个腔体支撑垫(23)中，两支撑板面板之间的腔体支撑垫(23)对称设置，每个支撑面板上的两个腔体支撑垫(23)之间对称设置。
7.根据权利要求1所述的一种超稳光学参考腔支撑调节装置，其特征在于，所述腔体支架(16)底部的弧面板与真空腔室(1)的内壁贴合。
8.如权利要求1至7任一项所述的超稳光学参考腔支撑调节装置的调节方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一步：以超稳光学参考腔(3)的轴线作为X轴，以竖直直线推进器(15)的轴线作为Z轴，确定三维坐标系；根据有限元数值模拟仿真计算，确定四个腔体支撑垫(23)的初始支撑位置，四个腔体支撑垫(23)在X轴和Y轴方向上是对称放置，即第一水平直线推进器(11)和第三水平直线推进器(13)与第二水平直线推进器(12)和第四水平直线推进器(14)推进的滑块携带的腔体支撑垫(23)关于Y轴对称；第一水平直线推进器(11)和第二水平直线推进器(12)与第三水平直线推进器(13)和第四水平直线推进器(14)推进的滑块携带的腔体支撑垫(23)在关于X轴对称；这四个腔体支撑垫(23)在Z方向上是处于同一平面内，即四个水平直线推进器推进的滑块在Z轴方向上是处于同一平面内；
第二步：将超稳光学参考腔(3)放置在上述第一步所述的初始支撑位置，并封装真空；
第三步：实验测试当前支撑位置是否为最佳位置，如果是最佳位置，则调节结束，如果不是最佳位置，根据当前支撑位置的实验测试结果，预估下一支撑位置；
第四步：旋转竖直直线推进器(15)让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑(162)沿着Z轴正方向运动，此时，腔体竖直运动支撑(162)将超稳光学参考腔(3)托起，当超稳光学参考腔(3)被托起运动到合适位置后，停止旋转竖直直线推进器(15)，并记下旋转总圈数N；
第五步：按照所述第三步中预估的下一支撑位置，计算水平直线推进器需要旋转的圈数M；按照旋转圈数M旋转第一水平直线推进器(11)，使其滑块携带腔体支撑垫(23)到达下一支撑位置，随后按照旋转圈数M旋转第二水平直线推进器(12)、第三水平直线推进器(13)和第四水平直线推进器(14)，使其滑块携带腔体支撑垫(23)到达下一支撑位置；
第六步：旋转竖直直线推进器(15)让其内部杆件推动腔体竖直运动支撑(162)沿着Z负方向运动，旋转圈数为N，腔体竖直运动支撑(162)将支撑超稳光学参考腔(3)到达和腔体支撑垫(23)相接触的位置，腔体竖直运动支撑(162)脱离超稳光学参考腔(3)，到达第一步中腔体竖直运动支撑(162)所在的位置；
第七步：重复第三步到第六步直至当前支撑位置为最佳位置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910152682.0A CN109884763B (zh) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910152682.0A CN109884763B (zh) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109884763A true CN109884763A (zh) | 2019-06-14 |
| CN109884763B CN109884763B (zh) | 2023-12-26 |
Family
ID=66930105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910152682.0A Active CN109884763B (zh) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109884763B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111510141A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-08-07 | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 | 微型原子钟物理封装及微型原子钟 |
| CN114625187A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-06-14 | 华南师范大学 | 一种高精度温度控制的超稳光学腔 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110102893A1 (en) * | 2009-10-31 | 2011-05-05 | Gregory Solyar | Adjustable optical mount |
| CN204575943U (zh) * | 2015-02-12 | 2015-08-19 | 中国科学院光电研究院 | 一种用于euv光刻机的真空反射镜片安装和调节装置 |
| CN105240452A (zh) * | 2015-09-29 | 2016-01-13 | 北京控制工程研究所 | 一种可应用于超高真空系统的局部承载式主动隔振装置 |
| WO2018094876A1 (zh) * | 2016-11-24 | 2018-05-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光学元件支撑装置及检测系统 |
| CN209590374U (zh) * | 2019-02-28 | 2019-11-05 | 中国科学院国家授时中心 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置 |
-
2019
- 2019-02-28 CN CN201910152682.0A patent/CN109884763B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110102893A1 (en) * | 2009-10-31 | 2011-05-05 | Gregory Solyar | Adjustable optical mount |
| CN204575943U (zh) * | 2015-02-12 | 2015-08-19 | 中国科学院光电研究院 | 一种用于euv光刻机的真空反射镜片安装和调节装置 |
| CN105240452A (zh) * | 2015-09-29 | 2016-01-13 | 北京控制工程研究所 | 一种可应用于超高真空系统的局部承载式主动隔振装置 |
| WO2018094876A1 (zh) * | 2016-11-24 | 2018-05-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光学元件支撑装置及检测系统 |
| CN209590374U (zh) * | 2019-02-28 | 2019-11-05 | 中国科学院国家授时中心 | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111510141A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-08-07 | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 | 微型原子钟物理封装及微型原子钟 |
| CN111510141B (zh) * | 2020-06-03 | 2023-09-15 | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 | 微型原子钟物理封装及微型原子钟 |
| CN114625187A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-06-14 | 华南师范大学 | 一种高精度温度控制的超稳光学腔 |
| CN114625187B (zh) * | 2022-01-28 | 2024-02-13 | 华南师范大学 | 一种高精度温度控制的超稳光学腔 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109884763B (zh) | 2023-12-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110220926B (zh) | 一种基于五轴运动平台的x射线检测装置 | |
| CN109884763A (zh) | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法 | |
| Assoufid et al. | Development of a high-performance gantry system for a new generation of optical slope measuring profilers | |
| CN103309176B (zh) | 一种带升降真空爪的六自由度微动台 | |
| CN102865809B (zh) | 一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法 | |
| CN101300662A (zh) | 图案形成方法及图案形成装置、以及元件制造方法 | |
| CN104502315A (zh) | 一种微区荧光扫描测量系统 | |
| CN108181663B (zh) | 基于类金字塔结构型原子干涉重力加速度测量装置 | |
| CN103411681A (zh) | 多模块面阵红外探测器三维拼接结构及实现方法 | |
| CN209590374U (zh) | 一种超稳光学参考腔支撑调节装置 | |
| Fang et al. | The BIPM Kibble balance for realizing the kilogram definition | |
| CN105259161A (zh) | 一种智能控制的激光等离子体测量装置及测量方法 | |
| CN108227028B (zh) | 基于类金字塔结构的原子干涉重力加速度测量装置 | |
| Kim et al. | Realization of the kilogram using the KRISS Kibble balance | |
| CN103543612B (zh) | 一种带真空罩的动铁式无线缆六自由度磁浮运动平台 | |
| CN204302500U (zh) | 一种深空粒子激发x射线谱仪的真空定标设备 | |
| CN104006828B (zh) | 一种惯性器件轴系误差标定方法 | |
| CN108007578A (zh) | 一种红外大面阵多模块自动拼接机构 | |
| CN107807431A (zh) | 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置和方法 | |
| CN117214787A (zh) | 一种医用回旋加速器全自动磁场测量装置及运动控制方法 | |
| CN113376138A (zh) | 显微镜三维移动聚焦系统和应用 | |
| CN110560893A (zh) | 激光退火光学系统 | |
| CN114001724B (zh) | 一种用于serf原子自旋陀螺仪光路与磁场三维正交重合的方法 | |
| CN112556676B (zh) | 一种对原子喷泉运动参数进行调节的装置 | |
| CN210587645U (zh) | 激光退火设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |