CN204575602U - 用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪 - Google Patents
用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型为一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器，其特征在于：第一隔膜阀上设有定量管，第二隔膜阀上设有第一针阀和第二针阀；第一隔膜阀和第二隔膜阀之间设有第一色谱柱，第二隔膜阀和检测器之间设有第二色谱柱。本实用新型通过针阀放空实现中心切割；采用密闭性更好的隔膜阀，且装置了带吹扫阀芯膜片的内吹扫气路，进一步保证了气密性；检测器采用等离子体发射检测器，保证了灵敏度达到ppb级别，实现了快速在线分析氧气和氩气中的氮气。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种在线分析气相色谱仪，特别是公开一种针对氧气和氩气中氮气的在线检测分析设备，实现了快速对氧气和氩气中氮气在的线分析。
背景技术
随着工业的飞速发展，氩气在半导体、冶金、电子以及新材料等领域应用越来越广泛，对氩气的纯度要求越来越高，其中氮气是高纯氩气主要杂质。分析氩气中氮气有许多检测方法，一般的氩中氮检测仪灵敏度只能达到ppm级，对于ppb级别杂质只能用其他方法检测，但实际应用都不是很方便快捷。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足，设计一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，是一种针对氧气和氩气中氮气的在线检测分析设备，配置了带内吹扫的隔膜阀，相对于现有技术中外吹扫切换阀，本实用新型进一步避免了外界环境干扰，提高了色谱分析结果的准确性，更符合市场需求。
本实用新型是这样实现的：一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器，其特征在于：第一隔膜阀上设有定量管，第二隔膜阀上设有第一针阀和第二针阀；第一隔膜阀和第二隔膜阀之间设有第一色谱柱，第二隔膜阀和检测器之间设有第二色谱柱。
作为优选，第一载气气路与第一隔膜阀的②号接口连接，样品进口气路与第一隔膜阀的⑥号接口连接，样品出口气路和第一隔膜阀的⑤号接口连接，第一隔膜阀的①号接口与第一隔膜阀的④号接口连接的管路上设有定量管；第一隔膜阀的③号接口和第二隔膜阀的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱。
作为优选，第二载气气路与第二隔膜阀的①号接口连接，第一针阀与第二隔膜阀的④号接口连接，第二针阀与第二隔膜阀的②号接口连接；第二隔膜阀的⑥号接口和检测器连接的管路上设有第二色谱柱。
作为优选，第一隔膜阀和第二隔膜阀是六通内吹扫隔膜阀，装置了吹扫阀芯膜片的内吹扫气路。检测器采用等离子体发射检测器（PED检测器）；第一色谱柱和第二色谱柱采用2m的5A分子筛填充柱。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过针阀放空实现中心切割；采用密闭性更好的隔膜阀，且装置了带吹扫阀芯膜片的内吹扫气路，进一步保证了气密性；采用的等离子体发射检测器保证了灵敏度达到ppb级别，本实用新型可以循环在线分析，能够快速得到分析结果，且重复性好、灵敏度高，实现了快速在线分析氧气和氩气中的氮气。
附图说明
图1 是本实用新型在线分析仪的流程示意图。
图2 是本实用新型第一隔膜阀开启时流程示意图。
图3 是本实用新型第二隔膜阀开启时流程示意图。
图中：1、第一隔膜阀； 2、第二隔膜阀； 3、检测器； 4、定量管； 5、第一色谱柱；6、第二色谱柱； 7、第一载气气路； 8、第二载气气路； 9、样品进口气路； 10、样品出口气路； 11、第一针阀； 12、第二针阀； 13、吹扫气气路进口； 14、吹扫气气路出口。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。
根据附图1～3，本实用新型一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路9、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器3。第一隔膜阀1上设有定量管4，第二隔膜阀2上设有第一针阀11和第二针阀12；第一隔膜阀1和第二隔膜阀2之间设有第一色谱柱5，第二隔膜阀2和检测器3之间设有第二色谱柱6。
第一载气气路7与第一隔膜阀1的②号接口连接，样品进口气路9与第一隔膜阀1的⑥号接口连接，样品出口气路10和第一隔膜阀1的⑤号接口连接，第一隔膜阀1的①号接口与第一隔膜阀1的④号接口连接的管路上设有定量管4；第一隔膜阀1的③号接口和第二隔膜阀2的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱5。
第二载气气路8与第二隔膜阀的①号接口连接，第一针阀11与第二隔膜阀2的④号接口连接，第二针阀12与第二隔膜阀2的②号接口连接；第二隔膜阀2的⑥号接口和检测器连接的管路上设有第二色谱柱6。
第一隔膜阀1和第二隔膜阀2是六通内吹扫隔膜阀，装置了吹扫阀芯膜片的内吹扫气路，吹扫气从吹扫气气路进口13进入第一隔膜阀1阀芯后，再经吹扫气路流通至第二隔膜阀2阀芯，然后从吹扫气气路出口14流出。检测器3采用等离子体发射检测器（PED检测器）；第一色谱柱5和第二色谱柱6采用2m的5A分子筛填充柱。
本实用新型采用中心切割，通过针阀放空氩气和氧气来实现氩气和氧气中氮气的分析。具体步骤如下：
a、样品从样品进口气路9进入第一隔膜阀1，此时第二隔膜阀2呈关闭状态，气体可以进入定量管后再从样品出口气路10流出，如图1所示。
b、打开第一隔膜阀1，第一载气气路7中载气带的定量管4的样品气进入第一色谱柱5后由第二隔膜阀2上的第一针阀11放空氩气和氧气，此时关闭第一隔膜阀1，如图2所示。
c、当氮气组分将要从第一色谱柱5流出时，打开第二隔膜阀2，使氮气组分进入第二色谱柱6再进入检测器3，如图3所示。
d、当氮气组分完全进入第二色谱柱6后，关闭第二隔膜阀2，回到初始位置，如图1所示。
本实用新型由上述a、b、c、d步骤实现了氩气和氧气中氮气杂质分析。整个过程两隔膜阀的开关时阀芯膜片在内吹扫气的保护下完成，避免空气的渗透。一次进样分析时间很短，降低了运行成本和提高工作效率。
以上所述为本实用新型的较佳实施例，本实用新型的保护以本实用新型权利要求所述为准，凡依据本实用新型所作的等同变化与替换，皆应属于本实用新型专利的保护范围。
Claims (4)
1.一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器，其特征在于：第一隔膜阀（1）上设有定量管（4），第二隔膜阀（2）上设有第一针阀（11）和第二针阀（12）；所述的第一隔膜阀（1）和第二隔膜阀（2）之间设有第一色谱柱（5），所述的第二隔膜阀（2）和检测器（3）之间设有第二色谱柱（6）。
2.根据权利要求1所述的用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，其特征在于：第一载气气路（7）与所述第一隔膜阀（1）的②号接口连接，样品进口气路（9）与所述第一隔膜阀（1）的⑥号接口连接，样品出口气路（10）和所述第一隔膜阀（1）的⑤号接口连接，第一隔膜阀（1）的①号接口与第一隔膜阀（1）的④号接口连接的管路上设有定量管（4）；所述第一隔膜阀（1）的③号接口和所述第二隔膜阀（2）的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱（5）。
3.根据权利要求1所述的用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，其特征在于：第二载气气路（8）与所述第二隔膜阀的①号接口连接，所述的第一针阀（11）与第二隔膜阀（2）的④号接口连接，所述的第二针阀（12）与第二隔膜阀（2）的②号接口连接；所述第二隔膜阀（2）的⑥号接口和检测器连接的管路上设有第二色谱柱（6）。
4.根据权利要求1所述的用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，其特征在于：所述的第一隔膜阀（1）和第二隔膜阀（2）是六通内吹扫隔膜阀，装置了吹扫阀芯膜片的内吹扫气路；检测器（3）采用等离子体发射检测器；第一色谱柱（5）和第二色谱柱（6）采用2m的5A分子筛填充柱。
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Publications (1)
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| CN (1) | CN204575602U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105758965A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-07-13 | 上海福劳斯检测技术有限公司 | 一种基于等离子发射检测器的食品级二氧化碳在线分析仪 |
| CN108982203A (zh) * | 2018-08-13 | 2018-12-11 | 朗析仪器（上海）有限公司 | 一种用于测定制冷剂中不凝气的在线分析仪 |
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2015
- 2015-04-22 CN CN201520246285.7U patent/CN204575602U/zh active Active
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