CN204545419U - 一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及材料粉体制备技术领域，具体是一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备。包括自动送料系统、ETGA/VIGA熔炼系统、真空获得及测量系统、雾化喷嘴、雾化室、工作台架及粉末旋风收集系统，其中ETGA/VIGA熔炼系统和雾化室安装在工作台架上，所述自动送料系统、ETGA/VIGA熔炼系统、雾化室及粉末旋风收集系统由上至下依次密封连接，所述真空获得及测量系统与ETGA/VIGA熔炼系统和雾化室密封连接，所述雾化喷嘴设置于雾化室的顶部。本实用新型将真空无坩埚气体雾化法和及有坩埚复合的气体雾化法结合一起，既可制备高品质钛及钛合金粉末也可以制备镍基或钴基的高温合金粉末，降低了制造成本。

Description

一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备

技术领域

本实用新型涉及材料粉体制备技术领域，具体是一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备。

背景技术

3D打印的核心是它对传统制造模式的颠覆，因此，从某种意义上说，3D打印最关键的不是机械制造，而是材料研发。合金粉末内部的组织结构对3D打印最终产品的影响较大，组织粗大的粉末熔覆性能较差。高性能金属构件直接制造所用材料主要是钛及钛合金粉末材料和镍基或钴基的高温合金类粉末材料。目前钛及钛合金粉末制备方法主要有等离子旋转电极、单棍快淬、雾化法等，其中旋转电极法因其动平衡问题，主要制备20目左右的粗粉；单棍快淬法制备的粉末多为不规则形状、杂质含量高，而气体雾化法制备的粉末具有氧及其他杂质含量低、球形度好、粒度可控、冷却速度快、细粉收得率高等优点，是高品质钛及钛合金粉末的主要制备工艺。

镍基或钴基的高温合金粉末的制备方法主要有雾化法、旋转电极法、还原法等。雾化法主要有二流雾化、离心雾化等方法。气雾化(含真空雾化)属于二流雾化，具有环境污染小、粉末球形度高、氧含量低以及冷却速率大等优点。目前气体雾化法制备粉末设备普遍存在制备手段及功能单一，无法实现高温合金粉末和钛合金粉末的复合，制造成本高，熔炼温度低无法制备高熔点材料的粉体，收集的粉体大小不细化，尾排容易造成大气污染，安全措施不完善，真空度不高材料易氧化，粉体材料纯度不高的缺点，无法真正实现的高纯环境下合金粉体雾化合成。

实用新型内容

为了解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，包括自动送料系统、EIGA/VIGA熔炼系统、真空获得及测量系统、雾化喷嘴、雾化室、工作台架及粉末旋风收集系统，其中自动送料系统、EIGA/VIGA熔炼系统、雾化室及粉末旋风收集系统由上至下依次密封连接，所述EIGA/VIGA熔炼系统和雾化室安装在工作台架上，所述真空获得及测量系统与EIGA/VIGA熔炼系统和雾化室密封连接，所述雾化喷嘴设置于雾化室的顶部，用于将EIGA/VIGA熔炼系统熔炼的金属液雾化至雾化室内。

所述自动送料系统包括伺服电机、移动平台、连接杆、丝杠导轨、支撑架及过渡室，其中过渡室安装在EIGA/VIGA熔炼系统的上方、并密封连接，所述支撑架设置于过渡室的上方，所述丝杠导轨竖直设置于支撑架上、并端部与安装在支撑架上的伺服电机连接，所述移动平台与丝杠导轨传动连接， 所述连接杆的上端与移动平台固联，下端穿过过渡室与EIGA/VIGA熔炼系统连接。

所述EIGA/VIGA熔炼系统包括熔炼室、高频电源、陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一及感应电极熔炼子系统二，其中熔炼室的上、下两端分别与过渡室和雾化室密封连接，所述熔炼室的一侧设有与真空获得及测量系统连接的开口，另一侧设有熔炼室门，所述熔炼室内设有陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二，所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二与连接杆的下端固联、并与设置于熔炼室外部的高频电源电连接。

所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一包括塞杆、熔炼坩埚及感应熔炼线圈，其中熔炼坩埚设置于熔炼室的底部、并熔炼坩埚的底部设有与所述雾化喷嘴同轴的底部通孔，所述感应熔炼线圈环绕于熔炼坩埚的外侧、并与高频电源电连接，所述塞杆竖直设置、并下端插设于熔炼坩埚内，上端与连接杆的下端固联。

所述感应电极熔炼子系统二包括料棒和悬浮熔炼线圈，其中料棒竖直设置于熔炼室内、并与所述雾化喷嘴同轴，所述料棒的上端与连接杆的下端连接，料棒的下端为自由端，所述悬浮熔炼线圈环绕在料棒的自由端外侧、并与高频电源电连接。

所述雾化喷嘴包括多孔雾化喷嘴和环缝雾化喷嘴，所述多孔雾化喷嘴用于陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一，所述环缝雾化喷嘴用于感应电极熔炼子系统二。

所述真空获得及测量系统包括支撑架、机械泵、管道、罗茨泵、小阀门、扩散泵及大阀门，其中扩散泵、罗茨泵及机械泵由上至下依次连接，所述罗茨泵通过支撑架安装在工作台架上，所述大阀门设置于扩散泵的上方、并与EIGA/VIGA熔炼系统和雾化室密封连接，所述小阀门设置于扩散泵和罗茨泵之间。

所述粉末旋风收集系统包括小管道、一级锥形收集室、大台架、手套箱、大管道、二级锥形收集室、小台架及收粉罐，其中一级锥形收集室和二级锥形收集室分别设置于大台架和小台架上，所述一级锥形收集室和二级锥形收集室的上部通过大管道连通，所述一级锥形收集室的上部通过小管道与雾化室的底部连通，所述一级锥形收集室的底部与手套箱密封连接，所述二级锥形收集室的底部与收粉罐密封连接。所述小管道通过弯头与雾化室的底部连通。

还包括安全防爆系统，所述安全防爆系统包括排气管道、机械防爆片、压力安全阀、静电接地点及连接管道，其中排气管道的一端和连接管道的一端通过机械防爆片密封连接，所述连接管道的另一端与EIGA/VIGA熔炼系统和雾化室密封连接，所述压力安全阀与连接管道密封连接，所述静电接地点安装在连接管道上。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型将高真空无坩埚气体雾化法和有坩埚复合的惰性气体雾化制粉方法结合一起，可制备多种高性能的新材料：微晶、非晶粉末、钛合金、铌合金、钒钛合金等易与陶瓷坩埚发生反应的金属合金高纯球形粉末的制备；高温合金、低熔点合金等金属合金高纯球形粉末的制备；应用于3D打印用的高端耗材；生物医学用钛合金粉，航空航天用钛合金粉，高温合金粉，等离子喷涂用各种粉末。

2.本实用新型的真空获得及测量系统，其由于采用扩散泵+罗茨泵+机械泵组成的三级泵抽系统，为整个工艺过程提供高的真空度及低的压升率，降低氧和其它杂质气体含量，为获得高纯度的合金材料提供了基础。

3.本实用新型熔炼真空室，立式U型，前开门，方便维护及VIGA与EIGA工作模式转换。

4.本实用新型中采用多孔雾化喷嘴和环缝雾化喷嘴分别与陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一和感应电极熔炼子系统二相配套使用，获得了稳定的雾化条件。

5.本实用新型的粉末旋风收集系统是排出粉尘浓度低于0.001毫克/立方米的粉体旋风及双级布袋式过滤收粉系统。

7.本实用新型的防爆系统优点在于多重保护，确保操作者和设备的安全。

8.本实用新型不仅适用于工业化批量生产球形微粉使用，也能很好满足科研制备多种及少量球形微粉的需求，降低了设备制造成本及粉体生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本实用新型中自动送料系统的结构示意图；

图4为本实用新型中陶瓷坩埚感应熔炼拨塞浇注子系统一的结构示意图；

图5为图4的左视图；

图6为本实用新型中感应电极熔炼子系统二的结构示意图；

图7为图6的左视图；

图8为本实用新型中EIGA感应电极熔化原理图；

图9为本实用新型中真空获得及测量系统的结构示意图；

图10为本实用新型中安全防爆系统的结构示意图；

图11为本实用新型中粉末旋风收集系统的结构示意图；

其中：1为自动送料系统，101为伺服电机，102移动平台，103连接杆，104为丝杠导轨，105为支撑架，106过渡室，2为EIGA/VIGA熔炼系统，201为大真空法兰，202为小真空法兰，203为熔炼室，204为熔炼室门，205为料棒，206为悬浮熔炼线圈，207为塞杆，208为熔炼坩埚，209为感应熔炼线圈，210为连接法兰，211为高频电源，3为真空获得及测量系统，301为支撑架，302为机械泵，303为管道，304为罗茨泵，305为小阀门，306为扩散泵，307为大阀门，4为安全防爆系统，401为排气管道，402为机械防爆片，403为压力安全阀，404为静电接地点，405为连接管道，5为雾化室，6为工作台架，7为粉 末旋风收集系统，701为弯头，702为小管道，703为一级锥形收集室，704为大台架，705为手套箱，706为大管道，707为二级锥形收集室，708为小台架，709为收粉罐。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1、图2所示，本实用新型包括自动送料系统1、EIGA/VIGA熔炼系统2、真空获得及测量系统3、安全防爆系统4、雾化喷嘴、雾化室5、工作台架6及粉末旋风收集系统7，其中自动送料系统1、EIGA/VIGA熔炼系统2、雾化室5及粉末旋风收集系统7由上至下依次密封连接，所述EIGA/VIGA熔炼系统2和雾化室5安装在工作台架6上，所述真空获得及测量系统3与EIGA/VIGA熔炼系统2和雾化室5密封连接。所述雾化喷嘴设置于雾化室5的顶部，用于将EIGA/VIGA熔炼系统2熔炼的金属液雾化至雾化室5内。所述EIGA(electrode induction melting gas atomization)为电极感应熔化气体雾化(无坩埚)；VIGA(vacuum inert gas atomization)为真空惰性气体雾化(有坩埚)，这种也是雾化的一种方式，区别在于它的熔炼需要一个熔炼坩埚，把要熔炼的材料先放在坩埚里面再熔炼。

如图3所示，所述自动送料系统1包括伺服电机101、移动平台102、连接杆103、丝杠导轨104、支撑架105及过渡室106，其中过渡室106安装在EIGA/VIGA熔炼系统2的上方、并密封连接，所述支撑架105设置于过渡室106的上方，所述丝杠导轨104通过螺钉竖直设置于支撑架105上、并端部与安装在支撑架105上的伺服电机101连接，所述移动平台102与丝杠导轨104传动连接，所述连接杆103的上端与移动平台102固联，下端穿过过渡室106与EIGA/VIGA熔炼系统2连接。所述伺服电机101通过丝杠导轨104驱动移动平台102和连接杆103上、下移动。 

如图4-7所示，所述EIGA/VIGA熔炼系统2包括大真空法兰201、熔炼室203、高频电源211、陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一及感应电极熔炼子系统二，其中熔炼室203的上部与过渡室106密封连接，底部通过连接法兰210与雾化室6真空密封连接，所述雾化喷嘴安装在连接法兰210上。所述熔炼室203的一侧设有开口，该开口处设有通气管道，所述通气管道的端部通过大真空法兰201与真空获得及测量系统3连接，所述通气管道的一侧通过小真空法兰202与雾化室5连接。所述熔炼室203的另一侧设有熔炼室门204，所述熔炼室门204为U型前开门结构，方便维护及VIGA与EIGA工作模式转换。所述熔炼室203内设有陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二，所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二与连接杆103的下端固联、并与设置于熔炼室203外部的高频电源211电连接。

所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一包括塞杆207、熔炼坩埚208及感应熔炼线圈209，其中熔炼坩埚208设置于连接法兰210上、并底部设有便于熔炼后金属液体流出的底部通孔，该底部通孔与所述雾化喷嘴同轴。所述感应熔炼线圈209环绕于熔炼坩埚208的外侧、并与高频电源211电连接， 所述塞杆207竖直设置、并下端插设于熔炼坩埚208内，上端与连接杆103的下端固联。所述塞杆207采用耐高温绝缘管，熔炼坩埚208为陶瓷坩埚，感应熔炼线圈209为紫铜水冷螺线管。所述塞杆207至于熔炼坩埚208底部并与自动送料系统1中的连接杆103机械连接，共用直线行走机构，精确控制塞杆207与熔炼坩埚208之间的环隙，从而精确控制合金流量，有利于雾化过程的稳定控制。

所述感应电极熔炼子系统二包括料棒205和悬浮熔炼线圈206，其中料棒205与所述雾化喷嘴同轴设置于熔炼室203内、并上端与连接杆103的下端连接，所述料棒205的下端为自由端，所述悬浮熔炼线圈206环绕在料棒205的自由端外侧、并与高频电源211电连接。

图8所示，所述感应电极熔炼子系统二采用悬浮熔化原理，避免了陶瓷坩埚对合金的污染，有利于保证合金成分的纯度，为后续雾化制粉或双辊急冷提供了纯净的合金液，可以熔化钛合金、铌合金、钒合金等易氧化合金。

所述雾化喷嘴(现有技术)包括多孔雾化喷嘴和环缝雾化喷嘴，所述多孔雾化喷嘴用于陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一，所述环缝雾化喷嘴用于感应电极熔炼子系统二。

所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一和感应电极熔炼子系统二可互换使用，分别完成有坩埚和无坩埚的惰性气体雾化制粉，并共用一套MOSFET高频电源进行感应熔炼，不用单独为VIGA单配熔炼电源，减少了设备研制费用，同时VIGA融化效率提高。将塞杆207、熔炼坩埚208及感应熔炼线圈209取下，换成料棒205以及悬浮熔炼线圈206，实现感应电极熔炼子系统二的功能切换，将料棒205与自动送料系统1中的连接杆103机械连接，共用直线行走机构，整机采用计算机PID控制料棒205的直线进给速度，进给机构采用交流伺服电机驱动，确保行程稳定的一定过热度的高纯合金液流的行程。悬浮熔炼线圈206为紫铜水冷锥形螺线管，悬浮熔炼线圈206与mosfet高频电源连接。悬浮熔炼线圈206的几何参数及电参数和料棒尺寸及进给速度旋转速度的匹配。

如图9所示，所述真空获得及测量系统3包括支撑架301、机械泵302、管道303、罗茨泵304、小阀门305、扩散泵306及大阀门307，其中扩散泵306、罗茨泵304及机械泵302由上至下依次连接，具体为：罗茨泵304的底部通过管道303与机械泵302密封连接，上端通过小阀门305与扩散泵306密封连接，罗茨泵304和机械泵302为扩散泵306的前级泵使用。所述罗茨泵304通过支撑架301安装在工作台架6上，所述大阀门307设置于扩散泵306的上方、并通过大真空法兰201和小真空法兰202分别与EIGA/VIGA熔炼系统2和雾化室5密封连接。真空获得及测量系统3为EIGA/VIGA熔炼系统2提供工作真空，通过大阀门307为整个设备提供工作真空。由于采用扩散泵306+罗茨泵304+机械泵302组成的三级泵抽系统，为整个工艺过程提供高的真空度及低的压升率，降低氧和其它杂质气体含量，为获得高纯度的合金材料提供了基础。

如图10所示，所述安全防爆系统4包括排气管道401、机械防爆片402、压力安全阀403、静电接地点404及连接管道405，其中排气管道401的一端和连接管道405的一端通过机械防爆片402密封连接，所述连接管道405的另一端与EIGA/VIGA熔炼系统2和雾化室5密封连接，所述压力安全阀403与连接管道405密封连接，所述静电接地点404安装在连接管道405上。当工作压力高于设定的安全压力时可通过压力安全阀403实现泄压，也可通过机械防爆片402实现泄压，静电接地点404可避免设备由于产生静电带来的安全隐患。

如图11所示，所述粉末旋风收集系统7包括小管道702、一级锥形收集室703、大台架704、手套箱705、大管道706、二级锥形收集室707、小台架708及收粉罐709，其中一级锥形收集室703和二级锥形收集室707分别设置于大台架704和小台架708上，所述一级锥形收集室703和二级锥形收集室707的上部通过大管道706连通，所述一级锥形收集室703的上部通过小管道702及弯头701与雾化室5的底部连通，所述一级锥形收集室703的底部与手套箱705密封连接，所述二级锥形收集室707的底部与收粉罐709密封连接。所述一级锥形收集室703为旋风式，所述二级锥形收集室707为二级布袋式。所述粉末旋风收集系统7收集雾化出的合金粉末，实现排出粉尘浓度低于0.001毫克/立方米的粉体旋风及双级布袋式过滤收粉系统。

本实用新型的工作原理是：

无坩埚气体雾化制备

将钛合金样棒置入自动送料系统1内，调整钛合金样棒与EIGA/VIGA熔炼系统2的位置，检查设备的密封是否完好，熔炼时通过真空获得及测量系统3对设备进行抽真空。当达到工作真空后，可开启充气系统向系统内充熔炼所需要的工作气体，当达到设定工作真空后，分别启动EIGA/VIGA熔炼系统2、自动送料系统1、粉末旋风收集系统7，完成钛合金样棒的熔炼、雾化、收集的全过程，最后按照工艺要求对粉体进行包装。安全防爆系统4保证设备的安全可靠。

有坩埚气体雾化制备

将合金材料置于EIGA/VIGA熔炼系统2的熔炼坩埚208内，检查设备的密封是否完好，熔炼时通过真空获得及测量系统3对设备进行抽真空。当达到工作真空后，可开启充气系统向系统内充熔炼所需要的工作气体，当达到设定工作真空后，分别启动EIGA/VIGA熔炼系统2、自动送料系统1、粉末旋风收集系统7，完成合金材料棒的熔炼、雾化、收集的全过程，最后按照工艺要求对粉体进行包装。安全防爆系统4保证设备的安全可靠。

Claims (10)

1.一种高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：包括自动送料系统(1)、EIGA/VIGA熔炼系统(2)、真空获得及测量系统(3)、雾化喷嘴、雾化室(5)、工作台架(6)及粉末旋风收集系统(7)，其中自动送料系统(1)、EIGA/VIGA熔炼系统(2)、雾化室(5)及粉末旋风收集系统(7)由上至下依次密封连接，所述EIGA/VIGA熔炼系统(2)和雾化室(5)安装在工作台架(6)上，所述真空获得及测量系统(3)与EIGA/VIGA熔炼系统(2)和雾化室(5)密封连接，所述雾化喷嘴设置于雾化室(5)的顶部，用于将EIGA/VIGA熔炼系统(2)熔炼的金属液雾化至雾化室(5)内。

2.按权利要求1所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述自动送料系统(1)包括伺服电机(101)、移动平台(102)、连接杆(103)、丝杠导轨(104)、支撑架(105)及过渡室(106)，其中过渡室(106)安装在EIGA/VIGA熔炼系统(2)的上方、并密封连接，所述支撑架(105)设置于过渡室(106)的上方，所述丝杠导轨(104)竖直设置于支撑架(105)上、并端部与安装在支撑架(105)上的伺服电机(101)连接，所述移动平台(102)与丝杠导轨(104)传动连接，所述连接杆(103)的上端与移动平台(102)固联，下端穿过过渡室(106)与EIGA/VIGA熔炼系统(2)连接。

3.按权利要求2所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述EIGA/VIGA熔炼系统(2)包括熔炼室(203)、高频电源(211)、陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一及感应电极熔炼子系统二，其中熔炼室(203)的上、下两端分别与过渡室(106)和雾化室(5)密封连接，所述熔炼室(203)的一侧设有与真空获得及测量系统(3)连接的开口，另一侧设有熔炼室门(204)，所述熔炼室(203)内设有陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二，所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一或感应电极熔炼子系统二与连接杆(103)的下端固联、并与设置于熔炼室(203)外部的高频电源(211)电连接。

4.按权利要求3所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一包括塞杆(207)、熔炼坩埚(208)及感应熔炼线圈(209)，其中熔炼坩埚(208)设置于熔炼室(203)的底部、并熔炼坩埚(208)的底部设有与所述雾化喷嘴同轴的底部通孔，所述感应熔炼线圈(209)环绕于熔炼坩埚(208)的外侧、并与高频电源(211)电连接，所述塞杆(207)竖直设置、并下端插设于熔炼坩埚(208)内，上端与连接杆(103)的下端固联。

5.按权利要求3所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述感应电极熔炼子系统二包括料棒(205)和悬浮熔炼线圈(206)，其中料棒(205)竖直设置于熔炼室(203)内、并与所述雾化喷嘴同轴，所述料棒(205)的上端与连接杆(103)的下端连接，料棒(205) 的下端为自由端，所述悬浮熔炼线圈(206)环绕在料棒(205)的自由端外侧、并与高频电源(211)电连接。

6.按权利要求3所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述雾化喷嘴包括多孔雾化喷嘴和环缝雾化喷嘴，所述多孔雾化喷嘴用于陶瓷坩埚感应熔炼拔塞浇注子系统一，所述环缝雾化喷嘴用于感应电极熔炼子系统二。

7.按权利要求1所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述真空获得及测量系统(3)包括支撑架(301)、机械泵(302)、管道(303)、罗茨泵(304)、小阀门(305)、扩散泵(306)及大阀门(307)，其中扩散泵(306)、罗茨泵(304)及机械泵(302)由上至下依次连接，所述罗茨泵(304)通过支撑架(301)安装在工作台架(6)上，所述大阀门(307)设置于扩散泵(306)的上方、并与EIGA/VIGA熔炼系统(2)和雾化室(5)密封连接，所述小阀门(305)设置于扩散泵(306)和罗茨泵(304)之间。

8.按权利要求1所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述粉末旋风收集系统(7)包括小管道(702)、一级锥形收集室(703)、大台架(704)、手套箱(705)、大管道(706)、二级锥形收集室(707)、小台架(708)及收粉罐(709)，其中一级锥形收集室(703)和二级锥形收集室(707)分别设置于大台架(704)和小台架(708)上，所述一级锥形收集室(703)和二级锥形收集室(707)的上部通过大管道(706)连通，所述一级锥形收集室(703)的上部通过小管道(702)与雾化室(5)的底部连通，所述一级锥形收集室(703)的底部与手套箱(705)密封连接，所述二级锥形收集室(707)的底部与收粉罐(709)密封连接。

9.按权利要求8所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：所述小管道(702)通过弯头(701)与雾化室(5)的底部连通。

10.按权利要求1-9任一项所述的高真空感应无坩埚及有坩埚惰性气体雾化制粉设备，其特征在于：还包括安全防爆系统(4)，所述安全防爆系统(4)包括排气管道(401)、机械防爆片(402)、压力安全阀(403)、静电接地点(404)及连接管道(405)，其中排气管道(401)的一端和连接管道(405)的一端通过机械防爆片(402)密封连接，所述连接管道(405)的另一端与EIGA/VIGA熔炼系统(2)和雾化室(5)密封连接，所述压力安全阀(403)与连接管道(405)密封连接，所述静电接地点(404)安装在连接管道(405)上。