CN204497209U - 一种吸笔 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种吸笔，包括：手持件；抽气单元，所述抽气单元包括连接于所述手持件的抽气管，所述抽气管的一端连接抽气设备、另一端设置有抽气口；送气单元，所述送气单元包括连接于所述手持件的送气管，所述送气管的一端连接送气设备、另一端设置有送气口。本实用新型的吸笔通过送气管可对多个叠置晶圆进行吹气，以使最外侧的晶圆与其余晶圆分离，避免拿取最外侧晶圆时吸附其他晶圆，并在移动过程中导致晶圆脱落的问题，可减少晶圆的破损机率，从而提升太阳能电池制造中的良品率并降低生产成本。

Description

一种吸笔

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别是涉及一种吸取晶圆的吸笔。

背景技术

当电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时，越来越多的国家开始实行“阳光计划”，太阳能成为新型能源得到了大力开发，其中，我们日常生活中使用最多的就是太阳能电池。太阳能电池以半导体材料为主，利用光电材料吸收光能后发生光电转换，使之产生电流以此作为电源供电。

在太阳能电池的制造过程中需要历经多道工序，在不同的工序之间转换时，通常需要将晶圆从一个机台搬运到另一个机台，具体步骤包括：工序完成后，将晶圆一片一片地从一个机台上拿取后叠置于载具上，通过载具对晶圆进行搬运，再从载具上将晶圆一片一片拿取并放置于另一机台上，以进行另一道工序。

在一片一片地拿取载具上叠置的晶圆的过程中，由于相互贴靠的晶圆之间没有空气，再加上晶圆的重量较轻，因此容易受到大气压力而导致晶圆与晶圆之间相互吸附。换句话说，由于相邻的几个晶圆之间会产生吸附现象，于是拿取位于叠置晶圆最外侧的晶圆时往往会有多片晶圆同时往外移动，在受到重力作用后，晶圆开始分离，被晶圆吸附但未被工具拿取的晶圆就将脱落，造成晶圆的破片、缺角等不良品的产生。

因此，如何解决叠置晶圆拿取过程中因吸附现象导致的晶圆破片、缺角等不良率高的问题已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种吸笔，用于解决现有技术中太阳能电池的制造过程中晶圆破损率高、良品率低、生产成本高等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种吸笔，所述吸笔至少包括：

手持件；

抽气单元，所述抽气单元包括连接于所述手持件的抽气管，所述抽气管的一端连接抽气设备、另一端设置有抽气口；

送气单元，所述送气单元包括连接于所述手持件的送气管，所述送气管的一端连接送气设备、另一端设置有送气口。

优选地，所述抽气单元还包括安装于所述抽气口的盘件，所述抽气管吸取晶圆时，所述晶圆贴靠于所述盘件的表面。

更优选地，所述盘件设置有一供所述晶圆贴靠的贴靠表面，所述抽气管穿设于所述盘件，所述抽气口设置于所述贴靠表面。

优选地，所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀。

更优选地，所述抽气管包括依次连接的第一抽气段、第二抽气段及第三抽气段；所述第二抽气段安装于所述手持件内；所述第一抽气段连接于所述抽气设备与所述第二抽气段之间；所述第三抽气段为所述第二抽气段在所述手持件外的延伸段，所述第三抽气段末端为所述抽气口；所述抽气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二抽气段连接。

优选地，所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀。

更优选地，所述送气管包括依次连接的第一送气段、第二送气段及第三送气段；所述第二送气段安装于所述手持件内；所述第一送气段连接于所述送气设备与所述第二送气段之间；所述第三送气段为所述第二送气段在所述手持件外的延伸段，所述第三送气段末端为所述送气口；所述送气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二送气段连接。

优选地，所述手持件呈杆状。

优选地，所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀；所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀；所述抽气控制阀及所述送气控制阀通过按压连板连接，以实现所述抽气控制阀与所述送气控制阀的同步控制。

优选地，所述抽气单元可通过所述抽气设备来控制所述抽气管的空气流通；以及所述送气单元可通过所述送气设备来控制所述送气管的空气流通。

如上所述，本实用新型的吸笔，具有以下有益效果：

本实用新型的吸笔通过送气管可对多个叠置晶圆进行吹气，以使最外侧的晶圆与其余晶圆分离，避免拿取最外侧晶圆时吸附其他晶圆，并在移动过程中导致晶圆脱落的问题，可减少晶圆的破损机率，从而提升太阳能电池制造中的良品率并降低生产成本。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔的侧视示意图。

图2显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔的立体示意图。

图3～图5显示为本实用新型实施例一中提供的吸笔工作原理示意图。

图6显示为本实用新型实施例二中提供的吸笔的立体示意图。

元件标号说明

1                      吸笔

2                      手持件

3                      抽气单元

31                     抽气管

310                    抽气口

311                    第一抽气段

312                    第二抽气段

313                    第三抽气段

32                     盘件

321                    贴靠表面

33                     抽气控制阀

4                      送气单元

41                     送气管

410                    送气口

411                    第一送气段

412                    第二送气段

413                    第三送气段

42                     送气控制阀

5                      按压连板

7                      晶圆

71                     晶圆顶面

81                     抽气设备

82                     送气设备

83                     载具

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1～图6。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一

如图1～图5所示，本实用新型提供一种吸笔1，所述吸笔1连接于抽气设备81及送气设备82，用于一片一片地吸取多个叠置晶圆中位于最外侧的晶圆7，多个叠置晶圆通常放置于一个载具83上。所述吸笔1包括：一个手持件2及安装于所述手持件2的抽气单元3和送气单元4。

具体地，在本实施例中，所述手持件2呈杆状，以方便使用者握持，但在实际操作中，所述手持件2的形状不限于本实施例所列举的杆状，只要可实现使用者对所述吸笔1握持的结构均可，在此不一一赘述。

所述抽气单元3包括贯穿于所述手持件2的抽气管31，所述抽气管31的一端连接抽气设备81；所述抽气管31的另一端连接盘件32；连接于所述抽气管31，用于控制所述抽气管31中空气是否流通的抽气控制阀33。

具体地，所述抽气管31包括抽气口310，以及依次连接的第一抽气段311、第二抽气段312和第三抽气段313。所述第二抽气段312安装于所述手持件2内；所述第一抽气段311连接于所述抽气设备81与所述第二抽气段312之间；所述第三抽气段313为所述第二抽气段312在所述手持件2外的延伸段，所述第三抽气段313末端为所述抽气口310。

具体地，所述盘件32设置于所述第三抽气段313末端，并具有一个贴靠表面321，在本实施例中，所述盘件32与所述第三抽气段313位于同一平面。所述第三抽气段313穿设于所述盘件32，所述第三抽气段313的末端呈90度弯曲，但不以此角度为限，使所述抽气口310位于所述贴靠表面321，所述贴靠表面321可供最外侧的晶圆顶面71贴靠。

具体地，所述抽气控制阀33设置于所述手持件2上，并且与所述抽气管31的第二抽气段312连接。

所述送气单元4包括贯穿于所述手持件2的送气管41，所述送气管41的一端连接送气设备82；以及连接于所述送气管41，用于控制所述送气管41中空气是否流通的送气控制阀42。

所述送气管41包括送气口410，以及依次连接的第一送气段411、第二送气段412和第三送气段413。所述第二送气段412安装于所述手持件2内；所述第一送气段411连接于所述送气设备82与所述第二送气段412之间；所述第三送气段413为所述第二送气段412在所述手持件2外的延伸段，所述第三送气段413末端为所述送气口410。

具体地，所述送气控制阀42设置于所述手持件2上，并且与所述送气管41的第二送气段412连接。

在使用中，由于相互贴靠的所述晶圆7之间没有太多的空气，再加上所述晶圆7的重量较轻，于是所述晶圆7会受到大气压力而相互吸附贴靠。如图3～图5所示，当需要一片一片地拿取所述载具83上叠置的晶圆7时，需要先将所述吸笔1移近多个叠置晶圆，使所述抽气口310朝向所述最外侧的晶圆顶面71，此时，按压所述抽气控制阀33，使所述抽气管31能通过所述抽气设备81而抽气，以此吸取最外侧的所述晶圆7。同时，按压所述送气控制阀42，使所述送气管41能通过所述送气设备82吹气，在本实施例中，所述送气口410朝向多个叠置晶圆的侧边且邻近最外侧的所述晶圆7，所述送气管41可对多个叠置晶圆吹气以使最外侧的所述晶圆7与剩下的晶圆7分离。最外侧的所述晶圆7受到所述抽气口310的吸附，所述晶圆顶面71会稳固地贴靠所述盘件32的贴靠表面321，即可移送所述晶圆7。最后，只要松开所述抽气控制阀33以停止所述抽气管31的抽气，即可使所述晶圆7脱离所述盘件32的贴靠表面321，并完成所述晶圆7的移送。

由以上说明可知，通过所述送气管41可对多个叠置晶圆吹气以使最外侧的所述晶圆7与剩下的晶圆7分离，避免拿取所述晶圆7时，位于上方的几个晶圆7之间相互吸附，导致多片晶圆7同时往外移动后又因重力而分离、掉落，所产生的晶圆破片或缺角的问题。因此，在本实施例中，本实用新型的吸笔使用方便，可减少晶圆破损的机率，从而能提升制程良率并降低生产成本。

需要说明的是，只要所述抽气管31的抽气口310能稳固地吸附最外侧的所述晶圆7，即能完成吸取晶圆7的作业。在本实施例中，还通过增设所述盘件32使所述抽气管31的抽气口310在吸取最外侧的所述晶圆7时，所述晶圆顶面71能稳固地贴靠所述盘件32的贴靠表面321，藉此增加稳固性，可进一步减少所述晶圆7破损的机率，进而提升制程良率与降低生产成本。

除此之外，所述抽气控制阀33只要能控制空气是否流通于所述抽气管31内，而所述送气控制阀42只要能控制空气是否流通于所述送气管41内，即可达成本实施例预期的目的，所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42设置的位置及形状，不仅限于本实施例所揭露的位置及形状。

进一步说明的是，所述抽气单元3并不一定需要包括所述抽气控制阀33，由于所述抽气管31与所述抽气设备81连接，因此，在实际使用中也可直接由所述抽气设备81控制空气是否流通于所述抽气管31内。同样地，所述送气单元4也不一定需要包括所述送气控制阀42，由于所述送气管41与所述送气设备82连接，因此，在实际使用中也可直接由所述送气设备82控制空气是否流通于所述送气管41内。

此外，因为所述手持件2供使用者握持操作，因此在本实施例中，所述抽气单元3包括所述抽气控制阀33，所述送气单元4包括所述送气控制阀42，且所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42设置于所述手持件2上该设计可方便使用者在使用的过程中手持所述手持件2的同时，通过所述手持件2外侧的所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42直接控制所述吸笔1是否吸气或送气，进而让使用者能方便进行操作，从而能增加吸取、运送晶圆作业的流畅性，以此提升作业效率。

实施例二

如图6所示，本实施例中的吸笔1结构与实施例一大致相同，两者之间的差別在于：本实施例的吸笔1还包含一个连接所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42，以使所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42被同步控制的按压连板5。

在本实施例中，进一步通过所述按压连板5连接所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42，在使用上，只要按压所述按压连板5就能连动所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42，藉此同步控制所述抽气控制阀33与所述送气控制阀42，使所述吸笔1可同时进行抽气与送气。当不按压所述按压连板5时，也能同步使所述抽气控制阀33关断所述抽气管31以及使所述送气控制阀42关断送气管41，所述吸笔1便可同时停止抽气与送气。

通过以上人性化的结构设计，只要按压所述按压连板5，即可同时控制抽气与送气，使得本实施例在使用上可更为简单、方便，从而提升本实施例中的吸笔的市场竞争力。

综上所述，本实用新型提供一种吸笔，所述吸笔至少包括：手持件；抽气单元，所述抽气单元包括连接于所述手持件的抽气管，所述抽气管的一端连接抽气设备、另一端设置有抽气口；送气单元，所述送气单元包括连接于所述手持件的送气管，所述送气管的一端连接送气设备、另一端设置有送气口。本实用新型的吸笔通过送气管可对多个叠置晶圆进行吹气，以使最外侧的晶圆与其余晶圆分离，避免拿取最外侧晶圆时吸附其他晶圆，并在移动过程中导致晶圆脱落的问题，可减少晶圆的破损机率，从而提升太阳能电池制造中的良品率并降低生产成本。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种吸笔，其特征在于，所述吸笔至少包括：

手持件；

抽气单元，所述抽气单元包括连接于所述手持件的抽气管，所述抽气管的一端连接抽气设备、另一端设置有抽气口；

送气单元，所述送气单元包括连接于所述手持件的送气管，所述送气管的一端连接送气设备、另一端设置有送气口。

2.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述抽气单元还包括安装于所述抽气口的盘件，所述抽气管吸取晶圆时，所述晶圆贴靠于所述盘件的表面。

3.根据权利要求2所述的吸笔，其特征在于：所述盘件设置有一供所述晶圆贴靠的贴靠表面，所述抽气管穿设于所述盘件，所述抽气口设置于所述贴靠表面。

4.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀。

5.根据权利要求4所述的吸笔，其特征在于：所述抽气管包括依次连接的第一抽气段、第二抽气段及第三抽气段；所述第二抽气段安装于所述手持件内；所述第一抽气段连接于所述抽气设备与所述第二抽气段之间；所述第三抽气段为所述第二抽气段在所述手持件外的延伸段，所述第三抽气段末端为所述抽气口；所述抽气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二抽气段连接。

6.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀。

7.根据权利要求6所述的吸笔，其特征在于：所述送气管包括依次连接的第一送气段、第二送气段及第三送气段；所述第二送气段安装于所述手持件内；所述第一送气段连接于所述送气设备与所述第二送气段之间；所述第三送气段为所述第二送气段在所述手持件外的延伸段，所述第三送气段末端为所述送气口；所述送气控制阀设置于所述手持件上，并与所述第二送气段连接。

8.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述手持件呈杆状。

9.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述抽气单元还包括设置于所述抽气管的控制空气流通的抽气控制阀；所述送气单元还包括设置于所述送气管的控制空气流通的送气控制阀；所述抽气控制阀及所述送气控制阀通过按压连板连接，以实现所述抽气控制阀与所述送气控制阀的同步控制。

10.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：所述抽气单元可通过所述抽气设备来控制所述抽气管的空气流通；以及所述送气单元可通过所述送气设备来控制所述送气管的空气流通。