CN204387313U - 旋转靶材芯轴机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头分别套设有密封结构，而该密封结构扣设在背管两端的开口处，形成背管两端的密封结构。本实用新型在背管两端开口处利用石棉与铝板实现密封，令冷却水可以流至背管两端处，从而有效实现了背管端头处的冷却，进而提升芯轴机构对背管的冷却效果，从而有效避免因喷涂过程中过热导致靶材开裂等现象。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种旋转靶材芯轴机构，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造技术领域。
背景技术
旋转靶材在加工过程中因上时间处于高温加工中，而靶材本身遇到高温会出现裂痕，而未解决上述问题在喷涂靶材的背管内通入冷却液，进而实现靶材的冷却，从而确保靶材的质量。
但现有针对旋转靶材的冷却结构为芯轴，而现有芯轴的结构中端盖扣设在背管两端并采用密封圈密封，而这种端盖的密封结构其占据背管两端端头较大空间，进而无法达到背管两端短狗冷却的效果，进而靶材局部高温而断裂，从而无法达到有效冷却的目的。
由此，本发明人考虑对现有的旋转靶材芯轴结构进行改进，本案由此产生。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种旋转靶材芯轴机构，其采用石棉加铝板的结构实现背管与芯轴机构之间的密封，用以实现背管两端端部的冷却，从而提高冷却效果，进而有效避免因喷涂过程中过热导致靶材开裂等现象。
为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头分别套设有密封结构，而该密封结构扣设在背管两端的开口处，形成背管两端的密封结构。
进一步，所述密封结构包括石棉层及铝板，所述铝板扣设在背管两端的开口处，而所述石棉层是夹设在背管与铝板之间，用以实现背管两端的冷却密封。
进一步，所述石棉层的厚度为4~6mm。
进一步，所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。
进一步，所述多通交叉孔为开设在左、右端头内的多条管状通孔，而该多条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管内腔连通的多通式的孔结构。
进一步，所述左、右端头上均套设有固定法兰，每个固定法兰内圆与左或右端头外圆配合卡接并通过密封圈密封，而每个固定法兰的外圆与背管内圆卡接并通过前述密封结构密封。
进一步，所述芯轴机构为不锈钢轴体。
与现有技术相比较，本实用新型的优点：
本实用新型在背管两端开口处利用石棉与铝板实现密封，令冷却水可以流至背管两端处，从而有效实现了背管端头处的冷却，进而提升芯轴机构对背管的冷却效果，从而有效避免因喷涂过程中过热导致靶材开裂等现象。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
实施例：请参阅图1所示，旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管A内，所述芯轴机构包括中空管体1及左、右端头2、3，所述左、右端头2、3分别于管体1的左、右端2、3配合连接并形成一体式芯轴结构，所述芯轴机构为不锈钢轴体。
请参阅图1所示，前述左、右端头2、3上均套设有固定法兰4，每个固定法兰4内圆与左或右端头2或3外圆配合卡接并通过密封圈密封，而每个固定法兰4的外圆与背管A内圆卡接并通过前述密封结构5密封。
请参阅图1所示，前述密封结构5套设在左、右端头2、3上并扣设在背管A两端的开口处，形成背管A两端的密封结构。所述密封结构5包括石棉层51及铝板52，所述铝板52扣设在背管A两端的开口处，而所述石棉层51是夹设在背管A与铝板52之间，用以实现背管两端的冷却密封，所述石棉层51的厚度为4~6mm。
请参阅图1所示，前述左、右端头2、3内均具开设有通孔6，所述通孔包括沿着左、右端头2、3轴心开设的直孔61，及多通交叉孔62，所述多通交叉孔62与左、右端头2、3中直孔61底端连通，该多通交叉孔62与中空背管A连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道，所述多通交叉孔62为开设在左、右端头2、3内的多条管状通孔，而该多条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管内腔连通的多通式的孔结构。
请参阅图1所示，本实用新型在背管A两端开口处利用石棉层51与铝板52实现密封，令冷却水可以流至背管两端处，从而有效实现了背管端头处的冷却，进而提升芯轴机构对背管的冷却效果，从而有效避免因喷涂过程中过热导致靶材开裂等现象。
以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
Claims (5)
1.旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，其特征在于：所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头分别套设有密封结构，而该密封结构扣设在背管两端的开口处，形成背管两端的密封结构。
2.根据权利要求1所述的旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述密封结构包括石棉层及铝板，所述铝板扣设在背管两端的开口处，而所述石棉层是夹设在背管与铝板之间，用以实现背管两端的冷却密封。
3.根据权利要求2所述的旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述石棉层的厚度为4~6mm。
4.根据权利要求1所述的旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。
5.根据权利要求4所述的旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述多通交叉孔为开设在左、右端头内的多条管状通孔，而该多条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管内腔连通的多通式的孔结构。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN106011768A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-10-12 | 江苏宇天港玻新材料有限公司 | 一种磁控溅射工艺中使用的旋转银靶 |
| CN114672776A (zh) * | 2022-03-16 | 2022-06-28 | 先导薄膜材料有限公司 | 中空背板的靶材绑定方法 |
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