CN204325483U - 一种旋转靶材芯轴机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。本实用新型改变原有的冷却液流道，进而获得扩大冷却液的流量及流速，从而达到更好的冷却效果，进而确保旋转靶材在喷涂过程中不会因温度过高而出现损坏的现象。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种旋转靶材芯轴机构，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造技术领域。
背景技术
旋转靶材在加工过程中因上时间处于高温加工中，而靶材本身遇到高温会出现裂痕，而未解决上述问题在喷涂靶材的背管内通入冷却液，进而实现靶材的冷却，从而确保靶材的质量。
但现有针对旋转靶材的冷却结构为芯轴，而现有芯轴（如图1所示）的结构中包括左右焊接有端头2，的中空管体1，，而端头2，的轴心线上开设有通孔4，，中空管体1，上开设有若干够通水孔3，，该通水孔3，每个均与背管A，内腔连通，进而实现冷却液的流动，但因通水孔3，径较小导致冷却液流量小，无法达到均匀冷却的效果，进而靶材局部高温而断裂，从而无法达到有效冷却的目的；另一方面芯轴与背管A，之间的密封采用机械密封，而无法达到密封效果，极易出现冷却液泄露的现象。
由此，本发明人考虑对现有的芯轴结构进行改进，本案由此产生。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种旋转靶材芯轴机构，其解决芯轴机构中的漏水及冷却效果不佳等现象，进而提高靶材的合格率。
为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。
进一步，所述多通交叉孔为开设在左、右端头内的多条管状通孔，而该多条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管内腔连通的多通式的孔结构。
进一步，所述左、右端头上均套设有固定法兰，每个固定法兰内圆与左或右端头外圆配合卡接并通过密封圈密封，形成芯轴密封结构；该芯轴密封结构穿设于背管内。
进一步，所述背管的左、右两端头分别与连接有端盖，该端盖伸入至背管内并与背管内壁卡接且其扣设在对应的固定法兰上，所述背管内壁、固定法兰与端盖之间具有缝隙，而缝隙处设置有密封圈形成端盖与背管之间的密封结构。
进一步，所述芯轴机构为不锈钢轴体，其中芯轴所选用材料全部为45号钢。
与现有技术相比较，本实用新型的优点：
1、本实用新型改变原有的冷却液流道，进而获得扩大冷却液的流量及流速，从而达到更好的冷却效果，进而确保旋转靶材在喷涂过程中不会因温度过高而出现损坏的现象；
2、本实用新型利用密封圈实现法兰盘与左或右端头之间的密封，同时实现法兰盘、左或右端头与背管之间的密封，进而得到整个冷却液（冷却水）的流道处于密封状态，有效避免冷却液泄露等现象。
附图说明
图1是现有技术结构示意图；
图2是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
实施例：请参阅图2所示，一种旋转靶材芯轴机构，所述芯轴机构为不锈钢轴体(用的45号钢)，该芯轴机构包括中空管体1及左、右端头2、3，所述左、右端头2、3分别于管体1的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构。
请参阅图2所示，前述左、右端头2、3内均具开设有通孔4，所述通孔包括沿着左、右端头2、3轴心开设的直孔41，及六通交叉孔42，所述六通交叉孔42与左、右端头2、3中直孔41底端连通，该六通交叉孔42与中空背管A连通，从而获得沿左或右端头2或3的通孔4、中空背管A及右或左端头3或2的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。
请参阅图2所示，前述六通交叉孔42为开设在左、右端头2、3内的六条管状通孔，而该六条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔41的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管A内腔连通的多通式的孔结构。
请参阅图2所示，前述芯轴机构位于旋转靶材的中空背管A内，所述芯轴机构的左、右端头2、3上均套设有固定法兰A1，每个固定法兰A1内圆与左或右端头2或3外圆配合卡接并通过密封圈密封5，形成芯轴密封结构；该芯轴密封结构穿设于背管A内。所述背管的左、右两端头2、3分别与连接有端盖A2，该端盖A2伸入至背管A内并与背管A内壁卡接且其扣设在对应的固定法兰A1上，所述背管A内壁、固定法兰A1与端盖A2之间具有缝隙，而缝隙处设置有密封圈5形成端盖与背管之间的密封结构。
以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
Claims (5)
1.一种旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，其特征在于：所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述多通交叉孔为开设在左、右端头内的多条管状通孔，而该多条管状通孔的中部相互交叉设置且相互连通形成中央交叉部，而所述直孔的底端与中央交叉部连通，从而形成具有与中空背管内腔连通的多通式的孔结构。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述左、右端头上均套设有固定法兰，每个固定法兰内圆与左或右端头外圆配合卡接并通过密封圈密封，形成芯轴密封结构；该芯轴密封结构穿设于背管内。
4.根据权利要求3所述的一种旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述背管的左、右两端头分别与连接有端盖，该端盖伸入至背管内并与背管内壁卡接且其扣设在对应的固定法兰上，所述背管内壁、固定法兰与端盖之间具有缝隙，而缝隙处设置有密封圈形成端盖与背管之间的密封结构。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种旋转靶材芯轴机构，其特征在于：所述芯轴机构为不锈钢轴体。
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| CN201420834173.9U CN204325483U (zh) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | 一种旋转靶材芯轴机构 |
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| CN (1) | CN204325483U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106319431A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-01-11 | 芜湖映日科技有限公司 | 无芯轴靶材喷涂设备 |
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2014
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