CN204354326U - 一种小舟一次性组立治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种小舟一次性组立治具，包括基座和设于基座上的侧板定位块、上沟棒定位块及下沟棒定位块，基座为长方体，侧板定位块的下部分别与基座的左右两侧壁面贴合并固定，两侧侧板定位块的内面相互平行且垂直于基座上表面，下沟棒定位块卡装于基座，上沟棒定位块放置于下沟棒定位块上，本实用新型将石英舟的侧板和上下沟棒均通过组立治具各部件加以定位，各部件的定位面保证了石英舟侧板和上下沟棒的垂直度、水平度和相对尺寸，使石英舟组装的一致性好，质量稳定，生产效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及到一种治具，尤其涉及到一种焊接尺寸精准、生产效率高的小舟一次性组立治具。
背景技术
石英舟是硅片热处理过程中的硅片承载工具，一般是由作业人员根据需求，采用不同的石墨块和石墨片搭建并焊接，由于人员水平、使用工具等差异，搭建的石英舟一致性不好，造成产品品质较差，无法一次性达到设计要求，需要作业人员重新修整或返工，所需时间较长，如调整失败会造成产品报废，因此，生产效率低，加工成本高，生产周期长，无法满足需求。
实用新型内容
本实用新型主要解决现有石英舟加工一致性不佳、产品品质差、生产效率低的技术问题；提供了一种焊接尺寸精准、生产效率高的小舟一次性组立治具。
为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：
本实用新型的一种小舟一次性组立治具，用于石英舟的装配，所述石英舟包括两端的侧板和连接侧板且承载硅片的上沟棒、下沟棒，上下沟棒的内侧均设有用于插接硅片的沟槽，所述组立治具包括基座和设于基座上的侧板定位块、上沟棒定位块及下沟棒定位块，所述基座为长方体，基座长度与所述沟棒的长度相吻合，基座宽度与所述侧板的宽度相吻合，所述侧板定位块的下部分别与基座的左右两侧壁面贴合并固定，两侧侧板定位块的内面相互平行且垂直于基座上表面，石英舟侧板可贴靠并定位于侧板定位块的内面，将石英舟的侧板、上下沟棒均通过组立治具中的侧板定位块和上下沟棒定位块来加以定位，精确设计和精密加工的各定位块的定位面保证了石英舟侧板和上下沟棒的垂直度、水平度和相对位置，石英舟组装的一致性好，质量稳定，生产效率高。
作为优选，所述下沟棒定位块呈H型结构，包括一体结构的前立板、后立板和前后立板之间的连接板，所述后立板的高度大于前立板的高度，前后立板的底部分别贴靠并固定于所述基座的前后壁面，前后立板的内面垂直于基座上表面，连接板呈水平状并搁置于基座上表面，连接板的厚度与所述下沟棒的位置高度相吻合，凸出连接板上表面的前立板高度与下沟棒的直径相吻合，前后立板内面与连接板上表面的接角处可搁置并定位下沟棒，H型设计使得下沟棒可卡装在基座上，通过螺栓固定方式固定在基座上，使得下沟棒定位块安装方便准确牢固，下沟棒定位块的连接板下表面贴合于基座上表面，保证水平板上表面水平度好，与前后立板配合可定位下沟棒的位置，连接板厚度为下沟棒与侧板底之间的距离，使得下沟棒的定位方便快捷精确，下沟棒的水平度和位置度好。
作为优选，所述上沟棒定位块呈L型，包括立板和水平板，所述立板置于所述下沟棒定位块的前立板上，水平板搁置于所述下沟棒上并压紧下沟棒，水平板上表面与立板内面的接角处可搁置并定位上沟棒，上沟棒定位块可通过螺栓固定方式而贴靠固定在基座上，安装方便准确，上沟棒定位块的水平板下表面抵压下沟棒并固定下沟棒的位置，而上表面则可搁置上沟棒，并与立板配合定位上沟棒的位置，水平板厚度为上下沟棒之间的距离，使得上下沟棒的定位更方便快捷精确，上下沟棒的水平度和位置度更好。
作为优选，所述侧板定位块对应上下沟棒端部的焊接位置处设有半圆状通孔，设置四个半圆通孔，可以对焊接处背面进行预热，同时，在焊接时还可以减少过热，防止损坏侧板定位块，提高部件的使用寿命。
作为优选，所述组立治具还包括沟部插板，所述沟部插板的宽度与所述侧板的宽度相吻合，沟部插板的高度与上下沟棒之间的距离相吻合，沟部插板的厚度与沟棒上的沟槽相吻合，平整的沟部插板可以保证四个沟棒上的相应沟槽在同一平面上，硅片插入快捷可靠。
作为优选，所述沟部插板前端部边缘的形状与所述沟槽的形状相吻合，保证上下沟棒的沟槽相对位置精确，硅片加工质量好。
作为优选，所述沟部插板材质为不锈钢，加工精度高，保证石英舟的质量。
作为优选，所述基座、侧板定位块和上下沟棒定位块的材质均为高纯石墨，较高的熔点使得治具在焊接加工时不容易受热变形，同时，也不会逸出杂质离子而污染石英舟，保证石英舟的纯净。
本实用新型的有益效果是：将石英舟的侧板和上下沟棒均通过组立治具中的侧板定位块和上下沟棒定位块来加以定位，精确设计和精密加工的各定位块的定位面保证了石英舟侧板和上下沟棒的垂直度、水平度和相对尺寸，石英舟组装的一致性好，质量稳定，生产效率高，而组立治具各部件采用高纯石墨制作，在保证较小的受热变形情况下，又降低了石英舟受杂质离子污染的风险，提高硅片产品质量。
附图说明
图1是石英舟示意图。
图2是本实用新型的一种组立治具结构示意图。
图3是图2结构的爆炸示意图。
图4是本实用新型的使用示意图。
图中1.石英舟，11.侧板，12.上沟棒，121.沟槽，13.下沟棒，2.组立治具，21.基座，22.侧板定位块，221.通孔，23.上沟棒定位块，231.立板，232.水平板，24.下沟棒定位块，241.前立板，242.后立板，243.连接板。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：本实施例的一种小舟一次性组立治具，用于石英舟的装配，如图1所示，石英舟1包括两端的侧板11和连接侧板且承载硅片的上沟棒12、下沟棒13，上下沟棒的内侧均设有用于插接硅片的沟槽121，如图2和图3所示，组立治具2包括基座21和设于基座上的侧板定位块22、上沟棒定位块23、下沟棒定位块24以及沟部插板，基座、侧板定位块、上下沟棒定位块均由高纯石墨制成，基座为长方体，基座长度与沟棒的长度相吻合，基座宽度与侧板的宽度相吻合，侧板定位块的下部分别与基座的左右两侧壁面贴合并固定，两侧板定位块的内面相互平行且垂直于基座上表面，侧板定位块内面作为石英舟侧板的定位面，石英舟的侧板可贴靠并定位于侧板定位块的内面，侧板定位块对应上下沟棒端部的焊接位置处设计有半圆状的通孔221，用于侧板背面相应焊接位置的预热；下沟棒定位块呈H型结构，包括一体结构的前立板241、后立板242和前后立板之间的连接板243，后立板的高度大于前立板的高度，前后立板的底部分别贴靠并卡接固定于基座的前后壁面，前后立板的内面垂直于基座上表面，连接板呈水平状并搁置于基座上表面，连接板的厚度与下沟棒的位置高度相吻合，凸出连接板上表面的前立板高度与下沟棒的直径相吻合，前后立板内面与连接板上表面的接角处可搁置并定位下沟棒，而上沟棒定位块呈L型，包括立板231和水平板232，立板置于下沟棒定位块的前立板上，水平板搁置于下沟棒上并压紧下沟棒，水平板上表面与立板内面的接角处可搁置并定位上沟棒；沟部插板由不锈钢制成，沟部插板的宽度与侧板的宽度相吻合，沟部插板的高度与上下沟棒之间的距离相吻合，沟部插板的厚度与沟棒上的沟槽相吻合，沟部插板的头部边沿角度尺寸与沟槽尺寸一致，当侧板和上下沟棒的相对位置确定后，通过沟部插板的精细调节，使上下沟棒的沟槽开口朝向内面，相对应的四条沟槽均处于同一平面，保证硅片插入通顺可靠。
使用时，如图4所示，先将两侧板定位块和下沟棒定位块通过螺栓固定在基座上，保证侧板定位块内面垂直度和平行度及下沟棒定位块上表面水平度达到要求，将石英舟的两端侧板贴靠在侧板定位块内面上，插入下沟棒并使下沟棒贴靠接角处，放置稳定，转动沟棒使沟槽开口朝向内侧，然后，将上沟棒定位块后端顶靠并贴合在下沟棒的后立板上，前端立板对齐并搁置在前立板上，此时，水平板压紧下沟棒，再将上沟棒放置在上沟棒定位块的接角处，并使上沟棒上的沟槽开口朝内，然后使用沟部插板精细调节上下沟棒的沟槽相对位置，保证四条沟槽均处在同一平面内上，并使其沟槽角度达到设计要求，完成石英舟各部件的调整定位，最后，进入焊接工序，将上下沟棒与侧板焊接，完成整个石英舟的组装。
在本实用新型的描述中，技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本实用新型的技术方案，以上说明并非对本实用新型作了限制，本实用新型也不仅限于上述说明的举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种小舟一次性组立治具，用于石英舟的装配，所述石英舟(1)包括两端的侧板(11)和连接侧板且承载硅片的上沟棒(12)、下沟棒(13)，上下沟棒的内侧均设有用于插接硅片的沟槽(121)，其特征在于：所述组立治具(2)包括基座(21)和设于基座上的侧板定位块(22)、上沟棒定位块(23)及下沟棒定位块(24)，所述基座为长方体，基座长度与所述沟棒的长度相吻合，基座宽度与所述侧板的宽度相吻合，所述侧板定位块的下部分别与基座的左右两侧壁面贴合并固定，两侧板定位块的内面相互平行且垂直于基座上表面，石英舟侧板可贴靠并定位于侧板定位块的内面。
2.根据权利要求1所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述下沟棒定位块(24)呈H型结构，包括一体结构的前立板(241)、后立板(242)和前后立板之间的连接板(243)，所述后立板的高度大于前立板的高度，前后立板的底部分别贴靠并固定于所述基座(21)的前后壁面，前后立板的内面垂直于基座上表面，连接板呈水平状并搁置于基座上表面，连接板的厚度与所述下沟棒(13)的位置高度相吻合，凸出连接板上表面的前立板高度与下沟棒的直径相吻合，前后立板内面与连接板上表面的接角处可搁置并定位下沟棒。
3.根据权利要求2所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述上沟棒定位块(23)呈L型，包括立板(231)和水平板(232)，所述立板置于所述下沟棒定位块的前立板(241)上，水平板搁置于所述下沟棒(13)上并压紧下沟棒，水平板上表面与立板内面的接角处可搁置并定位上沟棒(12)。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述侧板定位块对应上下沟棒端部的焊接位置处设有半圆状通孔(221)。
5.根据权利要求1所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述组立治具还包括沟部插板，所述沟部插板的宽度与所述侧板(11)的宽度相吻合，沟部插板的高度与上下沟棒之间的距离相吻合，沟部插板的厚度与沟棒上的沟槽相吻合。
6.根据权利要求5所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述沟部插板前端部边缘的形状与所述沟槽的形状相吻合。
7.根据权利要求5或6所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述沟部插板材质为不锈钢。
8.根据权利要求1所述的一种小舟一次性组立治具，其特征在于：所述基座(21)、侧板定位块(22)和上下沟棒定位块(23、24)的材质均为高纯石墨。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN107680925A (zh) * | 2016-08-02 | 2018-02-09 | 北京凯德石英股份有限公司 | 一种12英寸石英舟立式成型方法及12英寸石英舟 |
| CN109879586A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-06-14 | 浙江鸿达石英电子科技有限公司 | 一种应用于石英产品的自动定位设备 |
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