CN204347652U - 温控装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种温控装置。所述温控装置包括电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。通过互为备份的第一检测单元和第二检测单元，能够有效防止由于检测单元本身损坏而产生的断电，避免对产品的损害。

Description

温控装置

技术领域

本实用新型涉及温度控制领域，特别是涉及一种温控装置。

背景技术

半导体制造过程中，许多机器使用加热来完成工艺。同样的，这不仅仅局限于半导体或某个行业，例如在机械加工、生物化学等领域，使用设定的温度来达到所需目的也是非常常见的。而对这些需要加热获得一定温度的工艺，必须对其温度进行检测监控。

图1为一种常见的温控装置的示意图。如图1所示，该温控装置包括：电源1，该电源1按照设定程序为加热机构2进行供电，使得加热机构2工作，待加热机构2工作后，热电耦3(一种常见的温度检测元件)就侦测加热机构2的温度，并反馈至控制机构4中。该控制机构4根据热电耦3传递的信息控制电源1的运作。例如当热电耦3侦测到温度过高时，会发生断裂，从而将温度过高这一信息传递至控制机构4，控制机构4则会使得电源1切断，停止对加热机构2供电。从而达到安全目的。

一般情况下，这种突然的断电会影响到正在进行中的产品，而由于温度的突然降低，这些产品基本上会报废掉。

在实际生产中，这种断电还是比较容易发生的。经检测发现，并非每次断电都是由于温度过高，热电耦3本身损坏也会造成误判。为了降低对产品的损害，目前的常规做法是定期对热电耦3进行更换。

但是，热电耦3的损耗具有不可测性，定期的更换也不能够有效改善这一问题，对产品的影响还是不容忽视。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种温控装置，以防止热电耦本身的损坏导致温控装置的误判。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种温控装置，包括：

电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。

可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括继电器，所述第一检测单元、第二检测单元连接所述继电器，所述继电器还与所述控制机构相连接。

可选的，对于所述的温控装置，所述第一检测单元和第二检测单元结构相同。

可选的，对于所述的温控装置，所述第一检测单元和第二检测单元均为热电耦。

可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的分析机构，所述分析机构接收所述控制机构传递的信息并进行分析。

可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的警报器，所述分析机构通过所述控制机构传递警报信息至所述警报器。

本实用新型提供的温控装置，包括电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。相比现有技术，通过设置第一检测单元和作为备份的第二检测单元，在第一检测单元出现损坏后，第二检测单元能够马上代替第一检测单元工作，从而避免了断电的发生，进而防止对产品的影响。而若确实是温度过高，则第一检测单元和第二检测单元都会检测到然后将信号传送到控制机构，从而进行正常的断电，也避免了事故的发生。

附图说明

图1为现有技术中温控装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中温控装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中第一检测单元、第二检测单元及继电器的连接示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的温控装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

发明人经过长期研究认为，目前的温控装置出现断电绝大多数都是由于检测元件自身的损坏而造成的，实际温度过高的情况寥寥无几，因此这给生产带来了很大的损失。于是发明人将检测元件设计成包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元，当一个检测单元损坏时，另一个立即接替并继续进行工作，直至正在进行的生产过程完成。而两个检测单元同时损坏的几率要大大低于一个检测单元损坏的几率，因此就基本上避免了由于装置本身异常所导致的产品损失。

基于此，本实用新型提出如下的方案：所述温控装置包括电源20、与所述电源20相连接的加热机构21、与所述加热结构21相连接的检测元件22以及与所述电源20和检测元件22相连接的控制机构23，所述检测元件22检测所述加热机构21的热量并将检测信息传递至所述控制机构23，所述控制机构23根据获得的检测信息控制所述电源20对加热机构21的供电，其中，所述检测元件22包括互为备份的第一检测单元221和第二检测单元222。

下面对本实用新型做详细介绍。请参考图2，本实用新型的温控装置中，所述加热机构21用于对相应的设备进行加热，并维持所需的温度范围。电源20则是为所述加热机构21供电。所述电源20的开启和关闭由控制机构23进行控制。通常在设备开启后，控制机构23对电源20下达指令，对加热机构21进行加热，检测元件22则对加热机构21进行实时检测，并将检测信息传递至控制机构23，所述控制机构23根据获得的检测信息控制电源20对加热机构21的供电，直至生产过程结束，控制机构23使得电源20断开。

请参考图2和图3，在本实用新型中，所述检测元件22包括互为备份的第一检测单元(TC1)221和第二检测单元(TC2)222。当然，根据检测需要，所述检测元件22可以是多个，例如加热机构21具有多个子机构，每个检测元件22对应连接于一个子机构，每个检测元件22还都连接至控制机构23。为了简便，图2中仅示出了一个检测元件22。

所述第一检测单元221和第二检测单元222以结构相同为佳，防止由于检测单元的不同而影响对加热机构的检测效果。优选的，所述第一检测单元221和第二检测单元222为相同型号的热电耦。

在一个实施例中，第一检测单元221可以用来进行温度的检测，第二检测单元222则用于安全检测。当然，第一检测单元221和第二检测单元222的用途可以互换，或者同时用作温度和安全的检测。为了使得第一检测单元221和第二检测单元222互为备份，本实用新型引入继电器R。

请参考图3，图3简要的示出了第一检测单元221和第二检测单元222与继电器R的连接关系，即第一检测单元221和第二检测单元222的外接端A分别连接至继电器R的接触端C。所述第一检测单元221和第二检测单元222的外接端A还与控制机构23相连接，继电器R的外接端B与控制机构22相连接。

以第一检测单元221损坏为例，当第一检测单元221损坏，控制机构23会收到一个信号，并作出回应，对继电器R发送相应的运作信号，该继电器R在接收到运作信号时启动，使得第二检测单元222接替第一检测单元221的工作。从而在第一检测单元221由于自身异常损坏时，整个温控装置能够不受影响，避免了对产品的损害。而若确实是温度过高，则第一检测单元221和第二检测单元222都会检测到然后将信号传送到控制机构23，从而控制机构23在接收到信息后，能够做出正确判断，及时控制电源20断电，防止发生安全事故。

所述继电器为较佳选择，但是本实用新型并不限定仅是继电器，例如时序电路等也是可以实现使得第一检测单元221和第二检测单元222互为备份。

所述温控装置还包括分析机构24，所述分析机构24与所述控制机构23相连接。当其中一个检测单元发生损坏后，控制机构23还同时传递信息至分析机构24，所述分析机构24一方面向设备发出指令，停止新的产品进入设备；另一方面对控制机构23发出指令，当设备内的产品加工完成后，使得电源20断电，从而技术人员可以将损坏的检测单元更换。如此既能够使得正在加工的产品正常完结，又能够避免冒着仅存在一个检测单元对后续产品进行加工的风险。进一步的，为了防止意外，可以对当前产品进行加检。

如图2所示，为了便于提醒温控装置出现异常，在所述温控装置中添加警报器25，所述报警器24连接至控制机构23。待电源20断开，停止对加热机构21加热时，控制机构23控制警报器25预警。所述警报器25可以设置不同的预警级别，例如用于区别设备空置和检测单元损坏。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (6)

1.一种温控装置，其特征在于，包括：电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。

2.如权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述温控装置还包括继电器，所述第一检测单元、第二检测单元连接所述继电器，所述继电器还与所述控制机构相连接。

3.如权利要求2所述的温控装置，其特征在于，所述第一检测单元和第二检测单元结构相同。

4.如权利要求3所述的温控装置，其特征在于，所述第一检测单元和第二检测单元均为热电耦。

5.如权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的分析机构，所述分析机构接收所述控制机构传递的信息并进行分析。

6.如权利要求5所述的温控装置，其特征在于，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的警报器，所述分析机构通过所述控制机构传递警报信息至所述警报器。