CN204289365U - 一种简易常压低温射频等离子体反应器 - Google Patents
一种简易常压低温射频等离子体反应器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种简易常压低温射频等离子体反应器，包括横置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有用于引入惰性气体的第一支管和引入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管靠近进气端的外周壁上交叉缠绕有线圈与水冷紫铜管，所述石英玻璃管内靠近线圈区域为辉光放电区，远离线圈区域为改性反应区，所述改性反应区内置有待改性样品。本实用新型不仅能够产生等离子体，并利用等离子体对待改性产品进行改性，而且用材简单，价格低廉，适合在常温常压下使用，适用性好，便于推广。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种简易常压低温射频等离子体反应器。
背景技术
低温等离子体是在常温下发生的等离子体(虽然电子的温度很高)，低温等离子体可以被用于氧化、变性等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。现有的等离子体反应器结构复杂，价格高昂，而且操作麻烦，导致企业、学校等单位经费紧张，更要对操作人员进行培训，费时耗力。
实用新型内容
本实用新型针对上述现有技术存在的问题做出改进，即本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、适用性好的简易常压低温射频等离子体反应器。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种简易常压低温射频等离子体反应器，包括横置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有用于引入惰性气体的第一支管和引入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管靠近进气端的外周壁上交叉缠绕有线圈与水冷紫铜管，所述石英玻璃管内靠近线圈区域为辉光放电区，远离线圈区域为改性反应区，所述改性反应区内置有待改性样品。
进一步的，所述待改性样品置于样品台上，所述样品台与可动支架栓接，所述可动支架置于铁架台并沿铁架台上下升降。
进一步的，所述第一支管和第二支管沿其进气方向上均依次设置有流量计和针阀。
进一步的，所述水冷紫铜管上设有水冷循环机。
进一步的，所述线圈经匹配网络与射频电源相连接。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型不仅能够产生等离子体，并利用等离子体对待改性产品进行改性，适合在常温常压下对各种实验所需等离子进行科学实验方面的初步探索，而且用材简单，价格低廉，适用性好，便于推广。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细的说明。
附图说明
图1为本实用新型实施例的构造示意图。
图中：1-石英玻璃管，2-进气总管，21-第一支管，22-第二支管，3-线圈，4-水冷紫铜管，5-辉光放电区，6-改性反应区，7-待改性样品，8-密封塞，9-压力表，10-样品台，11-可动支架，12-铁架台，13-流量计，14-针阀，15-水冷循环机，16-匹配网络，17-射频电源。
具体实施方式
如图1所示，一种简易常压低温射频等离子体反应器，包括横置的石英玻璃管1，所述石英玻璃管1的一端连接有进气总管2，所述进气总管2分别连接有用于引入惰性气体的第一支管21和引入反应气体的第二支管22，所述石英玻璃管1靠近进气端的外周壁上交叉缠绕有线圈3与水冷紫铜管4，所述石英玻璃管1内靠近线圈3区域为辉光放电区5，远离线圈3区域为改性反应区6，所述改性反应区6内置有待改性样品7。优选的，所述惰性气体为氩气。
在本实施例中，石英玻璃管1的另一端设有密封塞8，当石英玻璃管1内反应完全后，打开密封塞8，排出气体；所述石英玻璃管1上设有用于测量管内压力的压力表9，避免管内压力超过一个大气压而爆裂，此时石英玻璃管1内的压力为常压。当然，石英玻璃管1的另一端也可以不设密封塞8。
在本实施例中，所述待改性样品7置于样品台10上，所述样品台10倾斜设置在石英玻璃管1的改性反应区6内，所述样品台10与可动支架11栓接，所述可动支架11横置于铁架台12上并沿铁架台12上下升降，通过左右移动铁架台12、上下升降可动支架11将待改性样品7置于最佳位置；通过转动样品台10从而将待改性样品7置于适宜角度，所述角度范围为10~30度，优选15度，所采用角度避免样品从样品台10滑落。
在本实施例中，所述第一支管21和第二支管22沿其进气方向上均依次设置有流量计13和针阀14，通过流量计13和针阀14便于控制进入进气总管2的氩气、反应气体的量。
在本实施例中，所述水冷紫铜管4上设有水冷循环机15，通过水冷循环机15使得冷却水得以循环利用，提高冷却水的利用率；通过水冷紫铜管4内流通的冷却水不断对石英玻璃管1、线圈3进行冷却，其中线圈3外部包裹有用于绝缘的皮管；缠绕在石英玻璃管1外周壁的水冷紫铜管4使得石英玻璃管1冷却均匀，避免石英玻璃管1冷却不均引起破裂；水冷紫铜管4与线圈3并列交叉，加速线圈3的散热，延缓皮管老化。
在本实施例中，线圈3经匹配网络16与射频电源17相连接。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型的涵盖范围。
Claims (5)
1.一种简易常压低温射频等离子体反应器，包括横置的石英玻璃管，其特征在于：所述石英玻璃管的一端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有用于引入惰性气体的第一支管和引入反应气体的第二支管，所述石英玻璃管靠近进气端的外周壁上交叉缠绕有线圈与水冷紫铜管，所述石英玻璃管内靠近线圈区域为辉光放电区，远离线圈区域为改性反应区，所述改性反应区内置有待改性样品。
2.根据权利要求1所述的一种简易常压低温射频等离子体反应器，其特征在于：所述待改性样品置于样品台上，所述样品台与可动支架栓接，所述可动支架置于铁架台并沿铁架台上下升降。
3.根据权利要求1所述的一种简易常压低温射频等离子体反应器，其特征在于：所述第一支管和第二支管沿其进气方向上均依次设置有流量计和针阀。
4.根据权利要求1所述的一种简易常压低温射频等离子体反应器，其特征在于：所述水冷紫铜管上设有水冷循环机。
5.根据权利要求1所述的一种简易常压低温射频等离子体反应器，其特征在于：所述线圈经匹配网络与射频电源相连接。
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| CN201420713723.1U CN204289365U (zh) | 2014-11-25 | 2014-11-25 | 一种简易常压低温射频等离子体反应器 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110113856A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-08-09 | 三明学院 | 一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器及其使用方法 |
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2014
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