CN204261888U - 固体蜡自动上蜡装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种固体蜡自动上蜡装置，包括熔蜡机，所述熔蜡机可移动的设置在水平导轨上，所述熔蜡机内部成型有密封的熔蜡腔，所述熔蜡机的侧壁内侧设置有加热层，所述熔蜡机的底部设置有保温层，所述熔蜡机连通有滴蜡管，所述滴蜡管的喷嘴下侧放置有陶瓷盘，所述滴蜡管上依次设置有流量计和阀门，所述陶瓷盘上设置有可在三维空间移动的加热单元，所述熔蜡机、流量计、阀门和加热单元都与一控制器连接，提供一种采用全自动控制，保证加热、滴蜡、压片同时进行，缩短工艺时间，提高生产效率的固体蜡自动上蜡装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种固体蜡自动上蜡装置，属于半导体加工领域。
背景技术
晶片上蜡工艺中，一般是将固体蜡置于陶瓷盘贴片位置，再加热陶瓷盘，将固体蜡熔化完全，再对陶瓷盘进行保温，放置晶片，压片。从熔蜡到压片均需对陶瓷盘保温，使其保持一定的温度，贴片时逐个进行，大大阻碍生产效率的提高，而且浪费能源资源。同时，固体蜡量不易控制，晶片上蜡厚薄不均，严重影响集成化生产。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为克服上述问题，提供一种上蜡均匀的固体蜡自动上蜡装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种固体蜡自动上蜡装置，包括熔蜡机，所述熔蜡机可移动的设置在水平导轨上，所述熔蜡机内部成型有密封的熔蜡腔，所述熔蜡机的侧壁内侧设置有加热层，所述熔蜡机的底部设置有保温层，所述熔蜡机连通有滴蜡管，所述滴蜡管的喷嘴下侧可放置有陶瓷盘，所述滴蜡管上依次设置有流量计和阀门，所述陶瓷盘上设置有可在三维空间移动的加热单元，所述熔蜡机、流量计、阀门和加热单元都与一控制器连接。
优选地，所述加热单元上固定连接有第一机械臂。
优选地，所述陶瓷盘上还设置有可在三维空间移动的压片气囊。
优选地，所述压片气囊上侧固定连接有气缸，所述气缸与第二机械臂连接。
优选地，所述熔蜡机还包括电机，所述熔蜡机通过电机驱动在所述水平导轨上移动。
优选地，所述水平导轨还可移动的设置在垂直导轨上。
优选地，所述控制器为PLC控制器。
本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，所述熔蜡机的底部设置有保温层，所述保温层具有保温功能，能够长时间保证工艺中液体蜡用量，提高生产效率，节约能源，所述熔蜡机连通有滴蜡管，所述滴蜡管的喷嘴下侧设置有陶瓷盘，所述滴蜡管上依次设置有流量计和阀门，所述陶瓷盘上设置有可在三维空间移动的加热单元，陶瓷盘局部集中加热，当加热完成即滴蜡，既节约能源，又提高生产效率，所述熔蜡机、流量计、阀门和加热单元都与一控制器连接，所述流量计随时将流量数据反馈到控制器中，可根据预先设定的数值控制阀门以控制蜡滴大小及滴蜡速度，节约液体蜡。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的俯视图；
图2是本实用新型一个实施例的主视图(省略了导轨和加热单元)。
图中标记：1-熔蜡机，2-水平导轨，3-陶瓷盘，4-加热单元，5-滴蜡管，6-压片气囊，7-气缸，8-晶片，11-加热层，12-保温层，13-固体蜡，14-流量计，15-阀门。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的本实用新型所述一种固体蜡自动上蜡装置，包括熔蜡机1，所述熔蜡机1可移动的设置在水平导轨2上，所述熔蜡机1内部成型有密封的熔蜡腔，所述熔蜡机1的侧壁内侧设置有加热层11，所述熔蜡机1的底部设置有保温层12，所述保温层12具有保温功能，能够长时间保证工艺中液体蜡用量，提高生产效率，节约能源，所述熔蜡机1连通有滴蜡管5，所述滴蜡管5的喷嘴下侧设置有陶瓷盘3，所述滴蜡管5上依次设置有流量计14和阀门15，如图2所示，所述陶瓷盘3上设置有可在三维空间移动的加热单元4，如图1所示，所述加热单元4与加工的晶片8大小相当，可采用现有的加热丝或其他加热装置，陶瓷盘3局部集中加热，当加热完成即滴蜡，既节约能源，又提高生产效率，所述熔蜡机1、流量计14、阀门15和加热单元4都与一控制器连接，所述流量计14随时将流量数据反馈到控制器中，可根据预先设定的数值控制阀门15以控制蜡滴大小及滴蜡速度，节约液体蜡。
在优选的实施方案中，所述加热单元4上固定连接有第一机械臂，所述加热单元4通过第一机械臂实现在三维空间内的移动，所述第一机械臂可采用常规的机械臂，具体不限定。
在优选的实施方案中，所述陶瓷盘3上还设置有可在三维空间移动的压片气囊6，所述压片气囊6用于将晶片8与融化的蜡层压紧。
在优选的实施方案中，所述压片气囊6上侧固定连接有气缸7，所述气缸7与第二机械臂连接，所述压片气囊6通过第二机械臂实现在三维空间的移动。
在优选的实施方案中，所述熔蜡机1还包括电机，所述熔蜡机1通过电机驱动在所述水平导轨2上移动。
在优选的实施方案中，所述水平导轨2还可移动的设置在垂直导轨上，使得熔蜡机1可实现水平和垂直移动。
在优选的实施方案中，所述控制器为PLC控制器，但不限于此，还可采用工业上常用的其他控制器。
本新型所述固体蜡自动上蜡装置的整体运行原理如下：
(1)先将固体蜡13条置于熔蜡机1的熔蜡腔内，关闭阀门15，加热固体蜡13使其融化，并通过第一机械臂使加热单元4置于陶瓷盘3上贴蜡部位进行预加热。
(2)通过控制器打开阀门15，将液体蜡滴从滴蜡管5中滴落在陶瓷盘3上放置晶片8的加热部位。
(3)旋转陶瓷盘3，放置晶片8在液体蜡层上，通过第二机械臂使压片气囊6移动到晶片8上方，并通过气缸7运动进行按压。
(4)重复上述动作2、3，直至陶瓷盘3一周上的所有晶片8贴完。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，包括熔蜡机，所述熔蜡机可移动的设置在水平导轨上，所述熔蜡机内部成型有密封的熔蜡腔，所述熔蜡机的侧壁内侧设置有加热层，所述熔蜡机的底部设置有保温层，所述熔蜡机连通有滴蜡管，所述滴蜡管的喷嘴下侧放置有陶瓷盘，所述滴蜡管上依次设置有流量计和阀门，所述陶瓷盘上设置有可在三维空间移动的加热单元，所述熔蜡机、流量计、阀门和加热单元都与一控制器连接。
2.如权利要求1所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述加热单元上固定连接有第一机械臂。
3.如权利要求1所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述陶瓷盘上还设置有可在三维空间移动的压片气囊。
4.如权利要求3所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述压片气囊上侧固定连接有气缸，所述气缸与第二机械臂连接。
5.如权利要求1所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述熔蜡机还包括电机，所述熔蜡机通过电机驱动在所述水平导轨上移动。
6.如权利要求1所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述水平导轨还可移动的设置在垂直导轨上。
7.如权利要求1所述的固体蜡自动上蜡装置，其特征在于，所述控制器为PLC控制器。
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