CN204224741U - 一种新型真空设备的排气装置 - Google Patents
一种新型真空设备的排气装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204224741U CN204224741U CN201420660099.3U CN201420660099U CN204224741U CN 204224741 U CN204224741 U CN 204224741U CN 201420660099 U CN201420660099 U CN 201420660099U CN 204224741 U CN204224741 U CN 204224741U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- heat insulation
- heater
- quartz crucible
- water cooling
- cooling plant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的新型真空设备的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可以投入生产。
Description
技术领域
本实用新型属于真空设备领域，具体涉及一种新型真空设备的排气装置。
背景技术
现在应用的真空熔炼技术是在无氧气氛下对固体硅材料进行熔化，现有技术中的熔炼设备包括真空罩、熔炼室和模具，目前广泛应用于制备多晶硅领域。其工作过程是：先将真空罩内的空气抽除，再将熔炼室内的待处理材料加热直至融化，然后将融化后的熔液倒入模具内成型。此时气体杂质的排出是由炉壁排出设备外。
上述方式的缺陷在于：
1、挥发性杂质会在挥发的过程中与石墨和碳毡反应，出现石墨和碳毡受热损耗，减少石墨寿命，容易使石墨脆断；
2、挥发性杂质会与保温碳毡反应，吸附在保温碳毡的缝隙处，使石墨和碳毡寿命缩短。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于连接光纤的固定夹紧装置。
为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：
提供一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，其特征在于，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。
本实用新型中，所述延伸到石英坩埚内的排气管上安装有过滤器。
本实用新型中，所述抽气管路上安装有阀门。
本实用新型中，所述炉体一侧还开设有炉门。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型可提供一种结构简单、使用方便、成本较低的新型真空设备的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可以投入生产。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：
图1为本实用新型中的的截面结构示意图；
图中：炉体1，隔热侧板2，石墨护板3，石英坩埚4，隔热底板5，支撑底板6，炉门7，环形加热板8，过滤器9，隔热顶板10，排气管11，水冷装置12，阀门13，抽气管路14，阀泵15。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型提供一种新型真空设备的排气装置的具体实施例，包括炉体1、水冷装置12、阀泵15，所述炉体1内安装有石英坩埚4，所述石英坩埚4外围设有石墨护板3，且在石墨护板3的下端面安装有支撑底板6，所述支撑底板6下表面安装有隔热底板5；所述隔热底板5的两端固定连接有隔热侧板2，且在两侧的两块隔热侧板5上端连接有隔热顶板10；所述石英坩埚4的外侧还安装有环形加热板8；所述水冷装置12安装在炉体1顶面上，该水冷装置12通过排气管11依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚4内；水冷装置12通过抽气管路14与阀泵相连通。
其中，所述延伸到石英坩埚4内的排气管11上安装有过滤器。所述抽气管路14上安装有阀门13。所述炉体1一侧还开设有炉门7。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (4)
1.一种新型真空设备的排气装置，包括炉体、水冷装置、阀泵，其特征在于，所述炉体内安装有石英坩埚，所述石英坩埚外围设有石墨护板，且在石墨护板的下端面安装有支撑底板，所述支撑底板下表面安装有隔热底板；所述隔热底板的两端固定连接有隔热侧板，且在两侧的两块隔热侧板上端连接有隔热顶板；所述石英坩埚的外侧还安装有环形加热板；所述水冷装置安装在炉体顶面上，该水冷装置通过排气管依次通过炉体上壁和隔热顶板贯通到石英坩埚内；水冷装置通过抽气管路与阀泵相连通。
2.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述延伸到石英坩埚内的排气管上安装有过滤器。
3.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述抽气管路上安装有阀门。
4.根据权利要求1所述的真空设备的排气装置，其特征在于，所述炉体一侧还开设有炉门。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420660099.3U CN204224741U (zh) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 一种新型真空设备的排气装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420660099.3U CN204224741U (zh) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 一种新型真空设备的排气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204224741U true CN204224741U (zh) | 2015-03-25 |
Family
ID=52922859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420660099.3U Expired - Fee Related CN204224741U (zh) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 一种新型真空设备的排气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204224741U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111076539A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-28 | 德翼高科(杭州)科技有限公司 | 一种融熔渗硅用真空感应炉 |
-
2014
- 2014-11-07 CN CN201420660099.3U patent/CN204224741U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111076539A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-28 | 德翼高科(杭州)科技有限公司 | 一种融熔渗硅用真空感应炉 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104386682B (zh) | 一种石墨化炉及热处理石墨粉的方法 | |
| MX361864B (es) | Metodo para fabricar material no metalico inorganico en placa, utilizando escoria fundida. | |
| CN204224741U (zh) | 一种新型真空设备的排气装置 | |
| CN104495817A (zh) | 一种石墨制品提纯的方法 | |
| CN203657465U (zh) | 节能型真空双腔保温炉 | |
| CN202181254U (zh) | 一种制备石英坩埚用多孔石墨模具 | |
| CN204097597U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉的活动坩埚盖板 | |
| CN105502405B (zh) | 一种多晶硅晶圆炉内碳素保温毡表面除磷的方法 | |
| CN206089060U (zh) | 微波干燥箱 | |
| CN103539126B (zh) | 一种多晶硅快速凝固方法 | |
| CN202643882U (zh) | 一种多晶铸锭炉热电偶装置 | |
| CN204324887U (zh) | 一种石墨化炉 | |
| CN203173825U (zh) | 一种真空设备中热场的排气装置 | |
| CN102476925A (zh) | 一种真空玻璃制造方法及由此方法制造出的真空玻璃 | |
| CN204534114U (zh) | 气瓶抽真空装置 | |
| CN205435784U (zh) | 一种不锈钢加热装置 | |
| CN105088338A (zh) | 一种多晶铸锭炉及排气装置 | |
| CN104231374A (zh) | 齿形垫片生产工艺 | |
| CN203582837U (zh) | 一种高压水冷式纯露提取设备 | |
| CN204997031U (zh) | 一种高真空连续铸造机 | |
| CN103712442A (zh) | 节能型真空双腔保温炉 | |
| CN204684819U (zh) | 石墨真空碳化炉 | |
| CN203461960U (zh) | 生产玻璃基板用贵金属加热装置 | |
| CN203360622U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉 | |
| CN202539529U (zh) | 一种低压铸造机与保温炉的连接结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20151223 Address after: 510000, room 9, No. six, Lane 201, Yamashita Road, Luogang District, Guangdong, Guangzhou Patentee after: Guangzhou happy Electromechanical Equipment Co., Ltd. Address before: Fuchun Street Jinping road Fuyang city Hangzhou city Zhejiang province 311400 No. 19 Building No. 6 room 717 Patentee before: FUYANG KEXIN ECONOMIC INFORMATION CONSULTING CO., LTD. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150325 Termination date: 20161107 |