CN204224694U - 靶材绑定用背板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材绑定用背板，包括背板本体、设置在所述背板本体内的供冷却水流通的水路，所述水路的进水口和出水口位于所述背板本体侧面或表面。本实用新型的靶材绑定用背板，在背板内部设置水路，冷却水直接在背板内部循环，这样靶材在镀膜时产生的热量更能及时迅速传导到背板内部的冷却水内，通过冷却水的流通带到外部，这样不停循环的冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。

Description

靶材绑定用背板

技术领域

本实用新型涉及一种背板，尤其涉及一种靶材绑定用背板。

背景技术

在平板显示器行业，包括TFT与Touch Panel行业的表面镀膜时，膜层起导电线路与透明导电膜功能时，对蚀刻线路精度与表面粗糙度有极高的要求。在镀膜时，大量使用金属靶材与ITO靶材，为了迅速冷却靶材，使靶材原子能有效、均匀沉积在面板基片上，靶材必须绑定在铜背板上。在传统操作中，采用在铜背板后面放置水路通水冷却的方法，将靶材在镀膜时的表面高热量导入背板后面的冷却水。然而，该传统的冷却方法并不能有效地把靶材在镀膜时的表面高热量导入背板后面的冷却水，及时把靶材温度降低下来。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种导热迅速及时、冷却效果好的靶材绑定用背板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种靶材绑定用背板，包括背板本体、设置在所述背板本体内的供冷却水流通的水路，所述水路的进水口和出水口位于所述背板本体侧面或表面。

优选地，所述水路在所述背板本体内部呈U形、波浪形或多弯折形。

优选地，所述背板本体为铜板。

优选地，所述背板本体的一表面上设有用于焊接靶材的沉台。

优选地，所述沉台的深度为1mm。

优选地，所述背板本体包括底板以及盖板，所述底板的一表面上设有内凹的条形槽，所述盖板盖合焊接在所述底板的所述表面上将所述条形槽封闭形成所述水路；

所述条形槽的两端分别延伸至所述底板的侧面，在所述侧面上分别形成所述进水口和出水口；或者，所述盖板上设有两个分别对应所述条形槽两端端部的通孔，两个所述通孔和对应的所述端部分别连通形成所述进水口和出水口。

优选地，所述盖板的形状与所述条形槽形状相对应。

优选地，所述背板本体包括可相互盖合的第一盖板和第二盖板，所述第一盖板和第二盖板相向的表面上分别设有相对应的第一条形槽和第二条形槽，所述第一盖板和第二盖板相向盖合并焊接形成所述背板本体，所述第一条形槽和所述第二条形槽相向闭合形成所述水路。

优选地，所述第一条形槽的两端分别延伸至所述第一盖板的侧面，所述第二条形槽的两端对应所述第一条形槽分别延伸至所述第二盖板的侧面，所述第一条形槽的两端端部和所述第二条形槽的两端端部分别相向盖合形成所述进水口和出水口。

优选地，所述第一条形槽的两端贯通至所述第一盖板与所述第二盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第二条形槽的两端端部相连通形成所述进水口和出水口；或者，

所述第二条形槽的两端贯通至所述第二盖板与所述第一盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第一条形槽的两端端部相连通形成所述进水口和出水口。

本实用新型的靶材绑定用背板，在背板内部设置水路，冷却水直接在背板内部循环，这样靶材在镀膜时的产生的热量更能及时迅速传导到背板内部的冷却水内，通过冷却水的流通带出外部，这样不停循环的冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一实施例的靶材绑定用背板的结构示意图；

图2是图1所示背板沿A-A线的剖面图；

图3是图1所示背板沿B-B线的剖面图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-3所示，本实用新型一实施例的靶材绑定用背板，包括背板本体10、设置在背板本体10内的供冷却水流通的水路20，水路20的进水口21和出水口22位于背板本体10侧面或表面。冷却水通过进水口21流入水路20内，在背板本体10内部流通，从而可把绑定在背板上的靶材镀膜时的产生的热量及时迅速传导到冷却水内，冷却水通过出水口22流通至外部而把热量带出，通过冷却水不断地进出水路20，对背板本体10的不断冷却，使得靶材不变形，靶材溅射出来的原子均匀迅速附着在基板上，形成优质的膜层，大大有助于平面显示器面板的线路蚀刻得更加平滑、整齐、不短路等，有效提高面板成膜时的产品良品率。

其中，背板本体10为铜板。水路20在背板本体10内部可呈U形、波浪形或多弯折形等形状，只要使得冷却水能够随着水路20在背板本体10内部各大致位置均匀流通，以带动热量。进水口21和出水口22可都位于背板本体10的侧面或表面，或者分别位于侧面和表面。

背板本体10的一表面上设有用于焊接靶材的沉台30，靶材通过定位在沉台30上绑定在该背板本体10上。优选地，沉台30的深度为1mm。靶材镀膜时的产生的热量通过其所在的背板本体10表面传导至背板本体10内部的水路20。

在本实施例中，背板本体10包括底板11以及盖板12，底板11的一表面上设有内凹的条形槽。条形槽可呈U形、波浪形或多弯折形等形状。盖板12盖合焊接在底板11的该表面上将条形槽封闭形成水路20。沉台30相背于条形槽而位于底板11的相对另一表面上。

条形槽的两端分别延伸至底板11的侧面，在侧面上分别形成进水口21和出水口22，冷却水从底板11的侧面进出水路20。或者，盖板12上设有两个分别对应条形槽两端端部的通孔，两个通孔和对应的端部分别连通形成进水口21和出水口22，冷却水从盖板12上进出水路20。

盖板12的形状可与条形槽形状相对应，从而盖板12只需覆盖在条形槽上将其封闭。进一步地，在本实施例中，条形槽呈U形，盖板12对应也呈U形，盖板12在尺寸上稍大于条形槽的尺寸设置；该盖板12的周缘通过焊接固定在条形槽槽口上，将条形槽封闭形成水路20，该水路20呈U形。水路20的两端贯通盖板形成进水口21和出水口22。

制作时，背板本体10采用轧制TU1的铜板制作，一体式机械加工，采用数控铣床结合加工中心的工艺，保证背板的平行度和平面度。此工艺的特点是：工件一次装夹，完成所有工序，可以保证加工的精度。

底板11和盖板12之间的焊接采用电子束近常温焊接工艺，可以取得可靠的焊接密封性能，并且保证较小的变形。此焊接工艺的特点是：局部电流很大、焊接可靠；整体不用加热，变形很小；可克服传统钎焊的焊接不均匀，不透彻，浸润不彻底的缺陷，从而达到较好的焊接强度和焊接密封性；不用焊料。背板整体都是相同的母材，可以进行后续的任何热处理而不用担心脱焊；背板在使用过程中整体具有相同的导热系数和热膨胀系数，可以防止焊缝拉裂，避免使用过程中的渗漏，并且提高背板的使用寿命；焊接过程采用数控编程模式，完全自动行走，排除了人为操作的不稳定因素。

焊接后的工件可以进行完全去应力退火或者半去应力退火，然后进行整体的外形加工，得到很高的内在质量和较好的外观质量。

在其他实施例中，背板本体10可包括可相互盖合的第一盖板和第二盖板，第一盖板和第二盖板相向的表面上分别设有相对应的第一条形槽和第二条形槽，第一盖板和第二盖板相向盖合并焊接形成背板本体10，第一条形槽和第二条形槽相向闭合形成水路20。

其中，第一条形槽的两端分别延伸至第一盖板的侧面，第二条形槽的两端对应第一条形槽分别延伸至第二盖板的侧面，第一条形槽的两端端部和第二条形槽的两端端部分别相向盖合形成进水口21和出水口22。或者，第一条形槽的两端贯通至第一盖板与第二盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个通孔和第二条形槽的两端端部相连通形成进水口21和出水口22。又或者，第二条形槽的两端贯通至第二盖板与第一盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个通孔和第一条形槽的两端端部相连通形成进水口21和出水口22。

可以理解地，设置在背板本体10中的水路20可不限于一条，也可为相互隔绝的多条。水路20的轴向段上也可有分叉段供冷却水流通。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种靶材绑定用背板，其特征在于，包括背板本体（10）、设置在所述背板本体（10）内的供冷却水流通的水路（20），所述水路（20）的进水口（21）和出水口（22）位于所述背板本体（10）侧面或表面。

2.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述水路（20）在所述背板本体（10）内部呈U形、波浪形或多弯折形。

3.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述背板本体（10）为铜板。

4.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述背板本体（10）的一表面上设有用于焊接靶材的沉台（30）。

5.根据权利要求4所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述沉台（30）的深度为1mm。

6.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述背板本体（10）包括底板（11）以及盖板（12），所述底板（11）的一表面上设有内凹的条形槽，所述盖板（12）盖合焊接在所述底板（11）的所述表面上将所述条形槽封闭形成所述水路（20）；

所述条形槽的两端分别延伸至所述底板（11）的侧面，在所述侧面上分别形成所述进水口（21）和出水口（22）；或者，所述盖板（12）上设有两个分别对应所述条形槽两端端部的通孔，两个所述通孔和对应的所述端部分别连通形成所述进水口（21）和出水口（22）。

7.根据权利要求6所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述盖板（12）的形状与所述条形槽形状相对应。

8.根据权利要求1所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述背板本体（10）包括可相互盖合的第一盖板和第二盖板，所述第一盖板和第二盖板相向的表面上分别设有相对应的第一条形槽和第二条形槽，所述第一盖板和第二盖板相向盖合并焊接形成所述背板本体（10），所述第一条形槽和所述第二条形槽相向闭合形成所述水路（20）。

9.根据权利要求8所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述第一条形槽的两端分别延伸至所述第一盖板的侧面，所述第二条形槽的两端对应所述第一条形槽分别延伸至所述第二盖板的侧面，所述第一条形槽的两端端部和所述第二条形槽的两端端部分别相向盖合形成所述进水口（21）和出水口（22）。

10.根据权利要求8所述的靶材绑定用背板，其特征在于，所述第一条形槽的两端贯通至所述第一盖板与所述第二盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第二条形槽的两端端部相连通形成所述进水口（21）和出水口（22）；或者，

所述第二条形槽的两端贯通至所述第二盖板与所述第一盖板相背的表面，并在该表面上形成两个通孔，两个所述通孔和所述第一条形槽的两端端部相连通形成所述进水口（21）和出水口（22）。