CN204187923U - 一种循环烘干系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种循环烘干系统，属于半导体材料烘干技术领域。循环烘干系统包括：密闭腔体、设于密闭腔体内的散热器和贯流风叶，所述贯流风叶与密闭腔体外侧的烘干电机连接，烘干电机带动贯流风叶转动，所述散热器与提供循环热源的模温机连接。本实用新型利用模温机加热散热器来提供热源，再利用贯流风叶使热气快速循环流动于密封腔体内，加热安全性高，且温度容易控制，烘干效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料烘干技术领域，更具体地涉及一种用于硅片的循环烘干系统。
背景技术
硅片材料作为重要的半导体器件，在清洗设备或湿法处理设备中清洗完后，都需要进行烘干工艺处理，以方便硅片材料的收集。而现有的硅片烘干设备一般采用电加热提供热源，或采用红外线加热提供热源，所有热源均设在烘干设备的内部而构成一体化设计，在操作不当或加热系统出现故障时容易引发火灾，因此，内部热源设计成为安全隐患；通电加热进行烘干处理，采用常规的烘干设备进行烘干，靠近内部加热器的硅片很快就烘干，而反之，远离的硅片则不易烘干，导致设备腔体内的温度不易控制，烘干硅片的受热会不均匀，烘干效率不高，能耗高。
因此，如何提出一种热源安全性好、烘干效率高的循环烘干系统，是业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述的技术问题，提出一种利用模温机加热散热器来提供热源、再利用贯流风叶使热气快速流动于密封腔体内的循环烘干系统，加热安全性高，且温度容易控制，烘干效率高，能够灵活充入合适的加热媒介，如氮气、压缩空气或其他气源。
本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种循环烘干系统，包括密闭腔体、设于密闭腔体内的散热器，其特征在于，还包括设于密闭腔体内的贯流风叶，所述贯流风叶与密闭腔体外侧的烘干电机连接，烘干电机带动贯流风叶转动，所述散热器与提供循环热源的模温机连接。
所述模温机内存储有导热介质，模温机的导热介质输出口与散热器的入口连通、导热介质回流口与散热器的出口连通，导热介质通过模温机内的加热器及冷却器调控加温。
所述密闭腔体上设有氮气或压缩空气进气口和气体检测装置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：代替传统的加热热源，利用模温机热交换给腔体内的散热器加热，进行烘干硅片，减少安全隐患，能耗低；且模温机可精确的控制、调节流经散热器的导热介质温度，使烘干效果更优良。利用烘干电机带动贯流风叶使腔体内的热气流形成回流，便于热气流与腔体内的硅片充分接触，达到均匀烘干目的，加速烘干速度。同时，通过进气口能够灵活选择合适的充入加热媒介，如氮气、压缩空气或其他气源，保证加热环境利于均匀烘干。
附图说明
图1和图2为本实用新型较佳实施例的结构示意图。
图中，1-密闭腔体，2-气体检测装置，3-进气口，4-贯流风叶，5-散热器，6-烘干电机。
具体实施方式
请参见图1和图2，本实用新型涉及一种循环烘干系统，包括密闭腔体1，设于该密闭腔体1上的进气口3和气体检测装置2，设于该密闭腔体1内的散热器5和贯流风叶4，设于该密闭腔体1外侧的烘干电机6，以及提供热源与散热器5连接的模温机。密闭腔体1装入硅片材料处于可靠的密封状态，能够更好地保证烘干效果，同时减少腔体内保护气体的损失。两个散热器5设于密闭腔体1内的两侧，模温机设置在密闭腔体1外侧，模温机的导热介质通过管道流经散热器5，模温机提供动力使得导热介质循环流动，给散热器5提供源源不断的热源，以此彻底改变了烘干设备内部热源的构造设计，杜绝了安全隐患。每个散热器5上方设有一个贯流风叶4，密闭腔体1的外侧设有烘干电机6，烘干电机6通过固定板固定，烘干电机6连接贯流风叶4带动其转动，使得散热器5的热气在密闭腔体1内循环流动，左侧贯流风叶带动热气逆时针旋转、右侧贯流风叶带动热气顺时针旋转，吹向硅片材料表面，达到均匀烘干的效果，提高了烘干效率。为了保证烘干环境利于均匀烘干，密闭腔体1内要充入氮气或压缩空气，气源通过进气口3排入密闭腔体1内，气体检测装置2用来检测密闭腔体1内的充入气体浓度，判断是否满足当前需求，从而及时作出调整。
模温机内存储有导热介质，导热介质选用煤油或水；模温机设置有导热介质输出口、导热介质回流口、导热介质循环泵、及管道，导热介质输出口与散热器5的入口连通，导热介质回流口与散热器5的出口连通，导热介质通过管道流经散热器5再回流到模温机中，从而把热量源源不断的传输给散热器5，回流的导热介质再通过模温机内加热器及冷却器重新加温，加热器和冷却器能够精确的控制、调节导热介质的温度，从而可以有效控制密闭腔体1内的烘干温度，使烘干效果更好。
以上具体实施例仅用以举例说明本实用新型的结构，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种循环烘干系统，包括密闭腔体、设于密闭腔体内的散热器，其特征在于，还包括设于密闭腔体内的贯流风叶，所述贯流风叶与密闭腔体外侧的烘干电机连接，烘干电机带动贯流风叶转动，所述散热器与提供循环热源的模温机连接。
2.根据权利要求1所述的循环烘干系统，其特征在于，所述模温机内存储有导热介质，模温机的导热介质输出口与散热器的入口连通、导热介质回流口与散热器的出口连通，导热介质通过模温机内的加热器及冷却器调控加温。
3.根据权利要求1所述的循环烘干系统，其特征在于，所述密闭腔体上设有氮气或压缩空气进气口和气体检测装置。
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