CN204155914U

CN204155914U - 晶片盒放置架

Info

Publication number: CN204155914U
Application number: CN201420611206.3U
Authority: CN
Inventors: 张韬
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority date: 2014-10-21
Filing date: 2014-10-21
Publication date: 2015-02-11
Anticipated expiration: 2024-10-21

Abstract

本实用新型提供了一种晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接；传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间。

Description

晶片盒放置架

技术领域

本实用新型涉及半导体生产中的存储装置，具体涉及一种晶片盒放置架。

背景技术

在半导体晶片的制造过程中，不论制造部操作人员还是工程部的工程师经常会遭遇到晶片盒(pod)丢失的情况发生，造成晶片盒丢失的原因基本上是由于前一个工艺的工作人员随意把晶片盒放在了某个晶片架(wafer rack)或某个晶片推车(wafer trolley)上，一旦这种情况发生，常常需要花费制造部和工程部工作人员的大量时间与精力来寻找丢失的晶片盒，并且由于晶片盒的丢失可能造成晶片排队时间延长(wafer over Q-time issue)，严重的还会导致晶片废弃(over Q-time defect worse scrap)。

目前业界一般通过机台SMIF(Standard Mechanical Interface，标准机械界面)以及晶片存储间(lot Stocker)来记录晶片盒的位置，例如：机台的工作记录、机台SMIF EAP(Equipment Automation Programming，设备自动化系统)输入/输出记录以及lot Stocker进出传送记录，但是由于在半导体制造厂的不同区域的晶片架或晶片推车上存放大量的各种晶片盒，一旦晶片盒被随机放置在任意一个晶片架或晶片推车上就很难追踪，而且区域较大，单单人力寻找效率非常低下，会严重影响晶片的周转率(turn rate)。

因此，亟需提供一种晶片盒放置架，以方便追踪每个晶片盒的具体位置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片盒放置架，以跟踪每个晶片盒的具体位置，并将晶片盒的位置信息自动反馈到设备自动化系统。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。

可选的，所述每组晶片盒固定槽具有唯一的地址以及独立的编号。

可选的，根据所述晶片盒放置架所处的不同位置进行编号，所述晶片盒放置架的编号与所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽的编号。

可选的，所述译码器位于所述晶片盒固定槽的边缘。

可选的，所述每组晶片盒固定槽上还安装有防止晶片盒晃动的定位销。

可选的，所述定位销为突起的柱状物。

可选的，所述定位销的数量为三个，分别位于所述晶片盒固定槽相对的两侧，并紧贴放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。

可选的，所述传感器位于所述晶片盒固定槽对应所述晶片盒底部的位置。

可选的，所述固定支架的底部设置有滚轮。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶片盒放置架的有益效果是：

1、本实用新型通过对晶片盒放置架进行编号，并且在每组晶片盒固定槽上都安装传感器与译码器，传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间；

2、本实用新型对每组晶片盒固定槽进行编号，并且晶片盒固定槽的编号上同时体现其所在的晶片盒放置架的编号，从而更为详细的确定晶片盒所在的具体位置。

附图说明

图1为本实用新型一实施例所提供的晶片盒放置架的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例所提供的晶片盒放置架中晶片盒固定槽的结构示意图。

图3为图2在C处的截面图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

本实用新型可以利用多种替换方式实现，下面通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的描述，在详述本实用新型实施例时，为了便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

请参考图1，其为本实用新型一实施例所提供的晶片盒放置架的结构示意图，如图1所示，所述晶片盒放置架10包括固定支架11以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板12，每层支撑板12上设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽13，所述每组晶片盒固定槽13上安装有传感器14以及译码器15，所述传感器14与译码器15通过数据线与一设备自动化系统(EquipmentAutomation Programming，EAP)连接。

本实施例中，所述的晶片盒放置架10具有编号，根据编号追踪晶片盒放置架10的位置来跟踪放置于晶片盒放置架10上的晶片盒20的具体位置，根据所述晶片盒放置架10所处的不同位置进行编号，例如：将半导体厂内的所有的晶片盒放置架根据厂房及区域的不同进行统一编号，AETRK01/BPHRK01/CCVDRK03，A、B、C代表的是厂房，ET、PH、CVD分别代表的是刻蚀区域、曝光区域以及化学气相沉积区域，RK01、RK02、RK03代表的是序列号，从而使得每个晶片盒放置架都具有唯一的编号；需要说明的是，本实施例中是按照厂房及区域的不同进行的编号，在其他实施例中也可以采用其他的方式进行编号，达到区分晶片盒放置架的目的即可。

所述的每组晶片盒固定槽13具有唯一的地址以及独立的编号，所述晶片盒放置架10的编号与所述晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽13的编号，即根据晶片盒放置架10的编号以及晶片盒固定槽13在晶片盒放置架上的位置进行编号，例如按照晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上从上往下从左往右的顺序进行编号，编号为AETRK01-11，其代表的是晶片盒放置架AETRK01上第一排左边第一个晶片盒固定槽，译码器15将晶片盒固定槽13的编号传递至设备自动化系统，则可以直接找到相对应的晶片盒20。

本实施例中，所述译码器15为红外智能标签阅读器(smart tag reader)，能够将晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的编号传输给所述设备自动化系统，并且所述译码器15位于所述晶片盒固定槽13的边缘，方便读取晶片盒的编号、晶片的制造进程等信息，并同时将该信息传至所述设备自动化系统；从所述设备自动化系统上读取到晶片盒20的信息以及晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的编号，则可以确定晶片盒20的具体位置，从而避免了人工寻找；所述传感器14位于所述晶片盒固定槽13对应所述晶片盒20底部的位置，晶片盒20放置于所述晶片盒固定槽13上时，所述传感器14位于所述晶片盒20的底部，用于检测所述晶片盒固定槽13上是否放置晶片盒；所述传感器14与译码器15的具体位置如图2所示。

所述每组晶片盒固定槽13上还安装有定位销16，可以有效的防止晶片盒20的晃动以及避免晶片盒20因运输而跌落。所述定位销16为突起的柱状物，如图3所示。本实施例中，所述定位销16的数量为三个，所述定位销16位于所述晶片盒固定槽13相对的两侧，并紧贴放置于所述晶片盒固定槽13上的晶片盒20，请参考图2，当晶片盒20放置于所述晶片盒固定槽13上时，所述三个定位销16分别位于所述晶片盒20相对的两侧A边与B边的外围，在A边的外围上设置有一个定位销16，位于A边的中间，在B边的外围上设置有两个定位销16，分别为位于B边的两侧，从而达到防止晶片盒20晃动的目的；可以理解的是，所述定位销16的数量并不局限于三个，自其它实施例中，可以根据实际的需要确定。

在所述固定支架11的底部还设置有滚轮17，以方便移动所述晶片盒放置架10。需要说明的是，本实用新型所述的晶片盒放置架10可以是新制作的，也可以在现有的晶片架或晶片推车上进行改进，在晶片架或晶片推车上的每层支撑板上设置多组晶片盒固定槽，并在每组晶片盒固定槽上安装传感器以及译码器，所述传感器与译码器通过数据线与设备自动化系统连接，所述传感器、译码器以及设备自动化系统均为本领域技术人员所熟知的结构，所述设备自动化系统上设置有相应的接口(这些接口可以是现有的设备自动化系统预留的各种用于外接设备的接口)，本领域技术人员可通过数据线直接将传感器、译码器连接在设备自动化系统相应的接口上即可实现信号的传输，而无需对设备自动化系统进行改进，由此即可实现晶片盒具体位置的跟踪，避免晶片盒的丢失；在现有的晶片架或晶片推车上进行改进，方法简单，并且充分利用了现有的资源，避免材料的浪费。

以下详细说明所述晶片盒放置架10的工作方法，将一晶片盒20放置于一晶片盒放置架10的一晶片盒固定槽13上，传感器14检测到晶片盒20并将信号传输至译码器15，译码器15将晶片盒放置架10的编号，更优选的为晶片盒固定槽13的编号以及所读取的晶片盒20的信息传输至设备自动化系统，由于编号是唯一的，并且编号代表晶片盒放置架10与晶片盒固定槽13的具体位置，因此通过设备自动化系统读取到晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的编号，从而确定晶片盒20的位置，由此防止晶片盒的丢失，避免寻找晶片盒浪费时间。

综上所述，本实用新型通过对晶片盒放置架进行编号，并且在每组晶片盒固定槽上都安装传感器与译码器，传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间；本实用新型对每组晶片盒固定槽进行编号，并且晶片盒固定槽的编号上同时体现其所在的晶片盒放置架的编号，从而更为详细的确定晶片盒所在的具体位置。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。

2.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每组晶片盒固定槽具有唯一的地址以及独立的编号。

3.如权利要求2所述的晶片盒放置架，其特征在于，根据所述晶片盒放置架所处的不同位置进行编号，所述晶片盒放置架的编号与所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽的编号。

4.如权利要求3所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述译码器位于所述晶片盒固定槽的边缘。

5.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每组晶片盒固定槽上还安装有防止晶片盒晃动的定位销。

6.如权利要求5所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位销为突起的柱状物。

7.如权利要求6所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位销的数量为三个，分别位于所述晶片盒固定槽相对的两侧，并紧贴放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。

8.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述传感器位于所述晶片盒固定槽对应所述晶片盒底部的位置。

9.如权利要求1～8任意一项所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述固定支架的底部设置有滚轮。