CN204009352U - 液体供给装置和光刻胶涂布设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。该液体供给装置包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路，其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。本实用新型通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态，管口始终位于桶体内液体的液面以下，实现液体的持续输出，避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示面板制作工艺，尤其是指一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。
背景技术
在液晶显示面板的制造工艺中，多种工序中均会用到液体材料的传输和供给，如涂覆光刻胶和显影液喷涂等，成为必不可少工艺过程。
图1为现有技术光刻胶涂布设备的光刻胶供给结构的示意图，包括用于储存光刻胶的桶体1，通常采用聚乙烯PE材料制成，所述桶体1的端盖上设置有两个连通管路，分别插伸进入桶体1的内部，其中第一管路2为不锈钢管，延伸至桶体1的底部上方位置处，用于光刻胶的向外传输；第二管路3为气体输入管，用于向桶体1的内部输入一定压力的气体。当进行光刻胶涂布时，利用气压差的原理通过第二管路3向桶体1内输入气体，使得桶体1内部的气压大于外部气压，使内部的光刻胶沿第一管路2输出，供给至光刻胶涂布设备。
然而在实际的光刻胶涂布工艺中，由于第二管路3向桶体1内部气体的输入，在所输入气体压力的作用下，会使桶体发生变形，桶体1长度上的变形量大于宽度上的变形量，如图2所示，造成第一管路2与桶体1的底部距离加大，这样位于桶体1底部的光刻胶无法进入第一管路2，不能得到利用，造成材料的浪费。
实用新型内容
本实用新型技术方案的目的是提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备，用于解决现有技术液体材料的传输和供给中，桶底所存储液体材料不能充分利用的问题。
本实用新型提供一种液体供给装置，包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路，其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述管口处设置有用于液体流入所述液体传输管路的侧开口。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述弹性伸缩结构包括第一端和第二端，其中所述第一端较所述第二端为远离所述管口的一端，且所述第一端到所述管口的距离小于等于所述弹性伸缩结构在自由伸缩状态时的长度与所述第二端到所述管口的距离之和。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述弹性伸缩结构在所述桶体内部设置于所述液体传输管路的末端，所述弹性伸缩结构的顶端端口形成为所述管口。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述液体传输管路包括与所述弹性伸缩结构连接的管路本体，所述弹性伸缩结构包括相对于所述管路本体沿接近所述桶体的内壁方向所延伸出的第一伸缩管路和套设于所述管路本体的外部或者设置于所述管路本体内部的第二伸缩管路。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述第一伸缩管路和所述第二伸缩管路为一体连接。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述弹性伸缩结构包括：压簧和设置于所述压簧内部、沿所述压簧长度方向设置的伸缩管。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述压簧和所述伸缩管之间还设置有密封圈。
优选地，上述所述的液体供给装置，所述液体供给装置还包括用于向所述桶体内部输入预定压力气体的气体传输管路。
本实用新型还提供一种光刻胶涂布设备，包括如上任一项所述的液体供给装置，其中所述桶体内存储的为光刻胶，所述液体传输管路和所述弹性伸缩管路均为由抗腐蚀的金属材料制成。
本实用新型具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：
通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态，管口始终位于桶体内液体的液面以下，实现液体的持续输出，避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。
附图说明
图1表示现有技术光刻胶供给结构在使用时的第一状态示意图；
图2表示现有技术光刻胶供给结构在使用时的第二状态示意图；
图3表示本实用新型第一实施例所述液体供给装置的结构示意图；
图4表示本实用新型第二实施例所述液体供给装置的部分结构示意图；
图5表示本实用新型第二实施例所述液体供给装置的第一状态结构示意图；
图6表示本实用新型第二实施例所述液体供给装置的第二状态结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本实用新型进行详细描述。
本实用新型实施例所述液体供给装置，包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路，其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，且所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。
所述液体供给装置通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，并使液体传输管路的管口与桶体的内壁抵压连接，这样当进行液体传输时，即使桶体变形导致液体传输管路上移时，利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态，管口始终位于桶体内液体的液面以下，实现液体的持续输出，避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。
本领域技术人员可以理解，所述液体传输管路通常竖直插设于桶体内部，因此采用本实施例，液体传输管路位于桶体内部的管口延伸至与桶体的底面接触。
此外，为进一步保证桶体内部的液体能够顺利进入液体传输管路，在液体传输管路的管口处设置有用于液体流入所述液体传输管路的侧开口。
图3表示本实用新型第一实施例所述液体供给装置的结构示意图，包括桶体10、盖设于桶体10上的盖体11以及穿伸盖体11上的通透孔进入桶体11内部的液体传输管路20。
采用本实用新型第一实施例，该液体传输管路20的中间区域段形成为弹性伸缩结构21，液体传输管路20与弹性伸缩结构21两端连接的部分不具备弹性伸缩功能，且液体传输管路20的管口22与桶体10的底面接触。
该弹性伸缩结构21包括第一端24和第二端25，其中所述第一端24较所述第二端25为远离所述管口22的一端，如图所示，所述第一端24到所述管口22的距离为S，第二端25到管口22的距离为s，而弹性伸缩结构21在自由伸缩状态时的长度为L，为使管口22与桶体10的底面保持接触状态，具体地，上述各长度之间的关系应满足以下公式：S≤s+L。也即，当液体传输管路20插伸放置于桶体10内时，使液体传输管路20的管口22压设于桶体10的底面上，弹性伸缩结构21被压缩，当由于桶体10的变形膨胀导致液体传输管路20上移时，管口22在脱离桶体10的底面过程中，弹性伸缩结构21逐渐伸长至自由伸缩状态，这样由于弹性伸缩结构21的伸长，使得当S≤s+L时，管口10始终保持与桶体10的底面接触状态。
本领域技术人员可以理解，桶体10的膨胀变形量通常很小，而弹性伸缩定结构21的压缩量完全能够保证管口10始终与桶体10的底面接触。
上述包括弹性伸缩结构21的液体传输管路20，制作材料可以依据桶体10内所存放液体的不同而不同，如当桶体10内所存放的液体为不具备腐蚀性能的液体时，该液体传输管路20可以为塑胶材料制成，当桶体10内所存放的液体为具备腐蚀性的光刻胶时，液体传输管路20由金属材料制成。另外，液体传输管路20为分区段结构，弹性伸缩结构21分别插设或套设于液体传输管路20两端不具备伸缩功能的管体中，本领域技术人员应该了解弹性伸缩结构21为不同材料时的具体结构，在此不详细描述。
上述结构的液体供给装置可以用于光刻胶、显微液的传输等。
图4表示本实用新型第二实施例所述液体供给装置的部分结构示意图,图5和图6为第二实施例所述液体供给装置的不同状态示意图。第二实施例中，以液体供给装置应用于光刻胶的传输为例，对液体供给装置的结构进行了说明。
结合图4和图5，与第一实施例相同，第二实施例所述液体供给装置包括桶体100、盖设于桶体100上的盖体110以及穿伸盖体110上的通透孔进入桶体110内部的液体传输管路200。其中在第二实施例中，该液体传输管路200在桶体100内部的末端形成为弹性伸缩结构210，弹性伸缩结构210的顶端端口形成为液体传输管路20的管口220。
具体地，结合图4，该液体传输管路200包括与所述弹性伸缩结构210连接的管路本体240，且弹性伸缩结构210构包括相对于所述管路本体240沿接近所述桶体的内壁方向所延伸出的第一伸缩管路和套设于所述管路本体240的外部或者设置于所述管路本体240内部的第二伸缩管路，其中第一伸缩管路和第二伸缩管路为一体连接。
在第二实施例中，弹性伸缩结构210的第一端24到管口220的距离为S，
第二端25到管口220的距离为s，而弹性伸缩结构210在自由伸缩状态时的长度为L，为使管口220与桶体100的底面保持接触状态，具体地，上述各长度之间的关系应满足以下公式：S≤s+L。也即，当液体传输管路200插伸放置于桶体100内时，使液体传输管路200的管口220压设于桶体100的底面上，弹性伸缩结构210被压缩，当由于桶体100的变形膨胀导致液体传输管路200上移时，管口220在脱离桶体100的底面过程中，弹性伸缩结构210逐渐伸长至自由伸缩状态，这样由于弹性伸缩结构210的伸长，使得当S≤s+L时，管口220始终保持与桶体100的底面接触状态。
本实施例中，该弹性伸缩结构210包括：压簧213和设置于所述压簧213内部、沿所述压簧213长度方向设置的伸缩管214，且压簧213和伸缩管214之间还设置有密封圈215。该结构的弹性伸缩结构210，利用伸缩管214实现管路本体240与弹性伸缩结构210之间的管路连接；利用压簧213可以使弹性伸缩结构210在桶体100内的设置参数满足公式：S≤s+L，管口220始终保持与桶体100的底面接触状态；此外利用密封圈215实现压簧213与伸缩管214之间的密封，防止液体在两者之间的泄漏。
另外，本实施例中，所述管路本体240上套设有支架300，压簧213和伸缩管214分别固定于该支架300上，通过该支架300与管路本体240固定连接。另外，为使桶体100内的光刻胶能够充分注入液体传输管路200中，弹性伸缩结构210的管口220处设置有侧开口221。
进一步，为防止液体传输管路200被光刻胶腐蚀，管路本体240与弹性伸缩结构210均由抗腐蚀的金属材料制成。
参阅图5和图6，在第二实施例用于光刻胶传输的供给装置中，还包括用于向所述桶体100内部输入预定压力气体的气体传输管路400。另外，本领域技术人员还可以理解，在用于光刻胶传输的液体供给装置中，还包括用于固定桶体100的支撑架500。
结合图5，当利用该液体供给装置进行光刻胶涂布时，首先将上述结构的液体传输管路200和气体传输管路400分别通过盖体110上的通透孔插设于桶体100的内部，并使液体传输管路200的管口220抵压于桶体100的底面，也即弹性伸缩结构210被压缩变形。之后通过气体传输管路400向桶体100内输入预定压力气体，使桶体100内的光刻胶在该压力作用下，传输进入液体传输管路200内，并沿液体传输管路200上升而被传输至桶体100的外部；结合图6，在光刻胶涂布的过程中，桶体100在气体传输管路400所输入气体的压力作用下产生变形，导致液体传输管路200随盖体110上移时，液体传输管路200的管口220在弹性伸缩结构210的弹性恢复力作用下而伸长，管口220始终保持与桶体100的底面接触状态。
因此，采用本实用新型实施例所述液体供给装置，液体传输管路的管口始终位于桶体内液体的液面以下，实现液体的持续输出，避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。
本实用新型具体实施例另一方面还提供一种包括如上液体供给装置的光刻胶涂布设备，液体供给装置的桶体内所存储的为光刻胶，为避免被光刻胶腐蚀，上述的液体传输管路和弹性伸缩管路均为由抗腐蚀的金属材料制成。
本领域技术人员应该能够了解上述结构用于供给光刻胶的液体供给装置在光刻胶涂布设备中的设置方式，在此不详细描述。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种液体供给装置，包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路，其特征在于，所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构，所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。
2.如权利要求1所述的液体供给装置，其特征在于，所述管口处设置有用于液体流入所述液体传输管路的侧开口。
3.如权利要求1所述的液体供给装置，其特征在于，所述弹性伸缩结构包括第一端和第二端，其中所述第一端较所述第二端为远离所述管口的一端，且所述第一端到所述管口的距离小于等于所述弹性伸缩结构在自由伸缩状态时的长度与所述第二端到所述管口的距离之和。
4.如权利要求1所述的液体供给装置，其特征在于，所述弹性伸缩结构在所述桶体内部设置于所述液体传输管路的末端，所述弹性伸缩结构的顶端端口形成为所述管口。
5.如权利要求4所述的液体供给装置，其特征在于，所述液体传输管路包括与所述弹性伸缩结构连接的管路本体，所述弹性伸缩结构包括相对于所述管路本体沿接近所述桶体的内壁方向所延伸出的第一伸缩管路和套设于所述管路本体的外部或者设置于所述管路本体内部的第二伸缩管路。
6.如权利要求5所述的液体供给装置，其特征在于，所述第一伸缩管路和所述第二伸缩管路为一体连接。
7.如权利要求1所述的液体供给装置，其特征在于，所述弹性伸缩结构包括：压簧和设置于所述压簧内部、沿所述压簧长度方向设置的伸缩管。
8.如权利要求7所述的液体供给装置，其特征在于，所述压簧和所述伸缩管之间还设置有密封圈。
9.如权利要求1所述的液体供给装置，其特征在于，所述液体供给装置还包括用于向所述桶体内部输入预定压力气体的气体传输管路。
10.一种光刻胶涂布设备，其特征在于，包括如上权利要求1至9任一项所述的液体供给装置，其中所述桶体内存储的为光刻胶，所述液体传输管路和所述弹性伸缩管路均为由抗腐蚀的金属材料制成。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021103127A1 (zh) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | Tcl华星光电技术有限公司 | 汲取器、汲取装置及涂布系统 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7029459B2 (ja) * | 2017-09-06 | 2022-03-03 | 富士フイルム株式会社 | 薬液収容体 |
| DE202022002781U1 (de) * | 2022-02-23 | 2023-05-11 | Oam Gmbh | Zapf- und Regeleinrichtung sowie Behältnis mit einer solchen Zapf- und Regeleinrichtung |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2437817A (en) * | 1944-03-11 | 1948-03-16 | James J Hennessy | Railway journal lubricator |
| US3352125A (en) * | 1965-08-16 | 1967-11-14 | Gen Motors Corp | Pressure compensated polyphase expansion valve refrigeration system |
| US4694975A (en) * | 1984-05-10 | 1987-09-22 | Mckesson Corporation | Method and apparatus for storing and dispensing fluids containered under gas pressure |
| JPH0633041B2 (ja) * | 1985-01-28 | 1994-05-02 | 日産自動車株式会社 | 自動車の燃料タンク内のフイルタ装置 |
| US5540355A (en) * | 1990-10-24 | 1996-07-30 | Water Chef | Water cooler and dispensing system |
| DE59801967D1 (de) * | 1997-04-25 | 2001-12-06 | Riedel De Haen Gmbh | Behälterverschluss |
| US6817485B2 (en) * | 1998-04-08 | 2004-11-16 | Aicello Chemical Co., Ltd. | Container for photoresist liquid |
| FR2817845B1 (fr) * | 2000-12-08 | 2003-03-21 | Valois Sa | Distributeur de produit fluide |
-
2014
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021103127A1 (zh) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | Tcl华星光电技术有限公司 | 汲取器、汲取装置及涂布系统 |
Also Published As
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| US10099912B2 (en) | 2018-10-16 |
| US20150345709A1 (en) | 2015-12-03 |
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |