CN203923463U - 一种连续晶体高温退火装置 - Google Patents
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- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 20
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种连续晶体高温退火装置，包括上料区域、温场加热区域、冷却区域、下料区域及置于上料区域上的隔绝装置，所述温场加热区域与冷却区域相连，所述上料区域与温场加热区域一端相连，下料区域与冷却区域一端相连，所述温场加热区域还包括依次相连的低温区域、中温区域、高温区域及中温过渡区域，所述上料区域、低温区域、中温区域、高温区域、中温过渡区域、冷却区域及下料区域均设置有轮毂和连接轮毂的传动履带。采用本实用新型可以实现晶体退火工艺的不间断性，退火周期短，且不受晶体形状制约，各温度区域温度恒定，减少了大量的升、降温时间，提高了生产效率，同时避免了晶体应力开裂，提高了产品质量及成品率。
Description
技术领域
本实用新型属于人工晶体生产技术领域，具体是涉及一种连续晶体高温退火装置。
背景技术
众所周知，晶体生产环境皆是在极高的温度下进行，在晶体生产以及后续生产加工过程中极易产生应力，因此需要对晶体材料进行退火以释放应力。在传统晶体退火工艺中，退火温度控制模糊，同一加热装置实现不同温度的加热升温工作，且温度降低过程不受控制，极易造成因炉内降温速度过快而造成晶体应力开裂，且低温度降温过慢，增加退火时间，一般需要6～7天左右，增加了晶体材料加工制造周期，进而增加了生产成本。为了实现高温晶体快速退火，降低生产成本，同时现有的退火装置空间较小，感应加热温度不均匀，晶体退火效果不佳。为了解决上述问题，目前出现了各种各样的高温晶体退火装置，如申请号为200410016379.1的中国专利就公开了一种耐高温的晶体退火装置，它包括置于带有真空排气口的底盘上，并通过真空密封圈与底盘密封圈接触设有进、出水口及气压表的钟罩，中罩体内设有包含侧屏蔽筒和上、下热挡板的保温屏蔽装置，钟罩体上设有充气阀和出气阀；置于最内层侧壁的发热体采用钨丝棒制成，发热体通过电极接头紧固于钼电极板上，钼电极板由钢玉绝缘环支撑板支撑，两端紧固于水冷电极杆上，钼电极板上方发热体所包围的空间内，设有退火室。采用该技术方案，虽然能使退火晶体控制室温度高达2000℃以上，能确保温度均匀和温场稳定。但是采用该技术方案难以对大尺寸、多形状、多规格产品进行一次性退火，增加了晶体材料退火频次，造成了退火装置的极大浪费。且该装置退火制程不连续，需要重复完成升、降温，降低了生产效率，进而增加了生产成本。
实用新型内容
为了克服现有技术中晶体高温退火装置退火制程不连续所存在的不足，提供了一种连续晶体高温退火装置，通过该晶体退火装置可以实现在线连续的晶体材料快速退火。
本实用新型是通过如下技术方案予以实现的。
一种连续晶体高温退火装置，包括上料区域、温场加热区域、冷却区域、下料区域及置于上料区域上的隔绝装置，所述温场加热区域与冷却区域相连，所述上料区域与温场加热区域一端相连，下料区域与冷却区域一端相连，所述温场加热区域还包括依次相连的低温区域、中温区域、高温区域及中温过渡区域，所述上料区域、低温区域、中温区域、高温区域、中温过渡区域、冷却区域及下料区域均设置有轮毂和连接轮毂的传动履带。
所述传动履带的步进速度通过轮毂进行调整。
所述的上料区域及下料区域为室温条件，低温区域为室温至500℃，中温区域为400℃～1600℃，高温区域为800℃～2700℃，中温过渡区域为400℃～1600℃，冷却区域为室温～500℃。
所述低温区域、中温区域、高温区域中的温度变化梯度为10℃。
本实用新型的有益效果是：
与现有技术相比，采用本实用新型所述的连续晶体高温退火装置，在实现晶体材料的高温退火工艺中具有如下优点：
(1)采用本实用新型所述的连续晶体高温退火装置，省去了重复升、降温时间，且低温区域采取快速降温方式，缩短了退火时间，从而大大缩短了退火周期；
(2)采用本实用新型所述的连续晶体高温退火装置，实现了温场的恒定控制，使低、中、高温场区域以变化幅度为10℃恒定控制温度，单一加热装置控制其相应的控制温度，改善了传统退火装置需要同一加热装置不同温度变化加热方式，减少了加热装置负荷，实现了温度精确控制。
(3)采用本实用新型所述的连续晶体高温退火装置，增加了退 火容量，能使大尺寸、多形状、多规格产品同时在线完成，不受空间制约，增加了一次退火数量，极大的减少了退火频次，提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1-上料区域，2-温场加热区域，3-冷却区域，4-下料区域，5-轮毂，6-传动履带，7-隔绝装置，8-晶体材料，21-低温区域，22-中温区域，23-高温区域，24-中温过渡区域。
具体实施方式
下面结合附图进一步描述本实用新型的技术方案，但要求保护的范围并不局限于所述。
如图1所示，本实用新型所述的一种连续晶体高温退火装置，包括上料区域1、温场加热区域2、冷却区域3、下料区域4及置于上料区域1上的隔绝装置7，所述温场加热区域2与冷却区域2相连，所述上料区域1与温场加热区域2一端相连，下料区域4与冷却区域3一端相连，所述温场加热区域2还包括依次相连的低温区域21、中温区域22、高温区域23及中温过渡区域24，所述上料区域1、低温区域21、中温区域22、高温区域23、中温过渡区域24、冷却区域3及下料区域4均设置有轮毂5和连接轮毂5的传动履带6。采用本技术方案，在使用时，只需在上料区域1将晶体材料8放置于隔绝装置7中并置于传动履带6上，在轮毂5的带动下依次经过上料区域1、低温区域21、中温区域22、高温区域23中温过渡区域24及下料区域4，既可以实现晶体材料8的高温退火工艺；本实用新型通过低、中、高温场区域温度叠加增强了可操作性，且每区域的温度和传送速度可以通过轮毂5和传动履带6分别控制，使得每区域退火温度与退火时间独立可控。从而实现了晶体退火工艺的不间断性，退火周期短，且不受晶体形状制约，各温度区域温度恒定，减少了大量的升、降温时间，较传统的退火方法可以节省约50％时间，大大提高生产效率， 降低生产成本。在本技术方案中，所使用的晶体材料8为不同工艺生长的晶体材料。
所述传动履带6的步进速度可以通过轮毂5进行调整，以实现晶体材料8在高温区域23的停留时间，从而实现较好的保温效果。
所述的上料区域1及下料区域4为室温条件，低温区域21为室温至500℃，中温区域22为400℃～1600℃，高温区域23为800℃～2700℃，中温过渡区域24为400℃～1600℃，冷却区域3为室温～500℃。在实际应用中，冷却区域3为不加热区域，且需要通入惰性气体以实现晶体材料8在低温区间内的快速降温。通过冲入惰性气体冷却，节省了大量低温降温时间，提高了生产效率，同时避免了晶体应力开裂，提高了产品质量及成品率。
所述低温区域21、中温区域22、高温区域23中的温度变化梯度为10℃，以实现退火过程缓和进行。
所述隔绝装置7为与退火晶体一致的晶体材料8制备而得，且纯度要求99.99％以上，并可以重复使用。
所述高温区域23中的最高温度随工艺要求做改变，以实现退火后晶体材料的不同性质。
下面结合实施例附图进一步详细说明本实用新型的应用。
如图1所示，本实用新型的工作工程为：在使用时，启动各温度区域的轮毂5，并适当调整轮毂5的速度，开启各温度区域加热装置使其达到已经设定的温度并且控制温度恒定，再依次间隔等距将晶体材料8放置于隔绝装置7中并置于传动履带6上，在轮毂5的带动下由上料区域1缓慢步进，需要退火的晶体材料8通过控制低温区域中的轮毂5速度使其进入低温区域21，并控制低温区域21中轮毂5的速度使其缓慢通过变化幅度为10℃的低温区域21，依次进入已设定好温度的中温区域22，当进入已经设定好的高温区域23最高温度时，停止各区域中的轮毂5，使晶体材料8在最高温度保温，得到保温时间后，开启各区域轮毂5，并在上料区域1依次间隔等距放置晶体材料8，当已经进过最高温度的晶体材料8通过中温过渡区域24、冷却区域3及下料区域4后，收回已退火的晶体材料8及隔绝装置7，完 成退火制程。依次重复上述操作，得到不间断的在线晶体高温退火。
Claims (3)
1.一种连续晶体高温退火装置，包括上料区域(1)、温场加热区域(2)、冷却区域(3)、下料区域(4)及置于上料区域(1)上的隔绝装置(7)，其特征在于：所述温场加热区域(2)与冷却区域(2)相连，所述上料区域(1)与温场加热区域(2)一端相连，下料区域(4)与冷却区域(3)一端相连，所述温场加热区域(2)还包括依次相连的低温区域(21)、中温区域(22)、高温区域(23)及中温过渡区域(24)，所述上料区域(1)、低温区域(21)、中温区域(22)、高温区域(23)、中温过渡区域(24)、冷却区域(3)及下料区域(4)均设置有轮毂(5)和连接轮毂(5)的传动履带(6)。
2.根据权利要求1所述的一种连续晶体高温退火装置，其特征在于：所述传动履带(6)的步进速度通过轮毂(5)进行调整。
3.根据权利要求1所述的一种连续晶体高温退火装置，其特征在于：所述的上料区域(1)及下料区域(4)为室温条件，低温区域(21)为室温至500℃，中温区域(22)为400℃～1600℃，高温区域(23)为800℃～2700℃，中温过渡区域(24)为400℃～1600℃，冷却区域(3)为室温～500℃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320874880.6U CN203923463U (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 一种连续晶体高温退火装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320874880.6U CN203923463U (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 一种连续晶体高温退火装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203923463U true CN203923463U (zh) | 2014-11-05 |
Family
ID=51819318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320874880.6U Expired - Lifetime CN203923463U (zh) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 一种连续晶体高温退火装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203923463U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103710760A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 贵州蓝科睿思技术研发中心 | 一种晶体高温退火装置 |
-
2013
- 2013-12-27 CN CN201320874880.6U patent/CN203923463U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103710760A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 贵州蓝科睿思技术研发中心 | 一种晶体高温退火装置 |
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20141105 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |