CN202968759U - 一种磷化铟生长材料烘烤炉 - Google Patents

一种磷化铟生长材料烘烤炉 Download PDF

Info

Publication number
CN202968759U
CN202968759U CN 201220559404 CN201220559404U CN202968759U CN 202968759 U CN202968759 U CN 202968759U CN 201220559404 CN201220559404 CN 201220559404 CN 201220559404 U CN201220559404 U CN 201220559404U CN 202968759 U CN202968759 U CN 202968759U
Authority
CN
China
Prior art keywords
indium phosphide
insulating ceramic
baking furnace
growth material
heating rods
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201220559404
Other languages
English (en)
Inventor
关活明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Electro-Optical Technology Inc (us) 62 Martin Road Concord Massachusetts 017 Of Huaxing Of Taishan City
Original Assignee
Electro-Optical Technology Inc (us) 62 Martin Road Concord Massachusetts 017 Of Huaxing Of Taishan City
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Electro-Optical Technology Inc (us) 62 Martin Road Concord Massachusetts 017 Of Huaxing Of Taishan City filed Critical Electro-Optical Technology Inc (us) 62 Martin Road Concord Massachusetts 017 Of Huaxing Of Taishan City
Priority to CN 201220559404 priority Critical patent/CN202968759U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202968759U publication Critical patent/CN202968759U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。所述烘烤炉包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。烤炉外套1由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，石墨电阻加热棒2分8组通过绝缘陶瓷件4平行均匀排列固定在夹套内壁，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制，不锈钢外表与绝缘陶瓷件4之间填充有隔热材料，以起保温作用。石英管3一端封口，以便与真空抽取系统连接。本实用新型磷化铟生长材料烘烤炉控温精准，升降温速度快，炉腔系统密封性好，使磷化铟生长材料的质量得到保证。

Description

一种磷化铟生长材料烘烤炉
技术领域
本实用新型涉及一种烘烤装置，更具体地说，本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。
背景技术
磷化铟已成为一种制造微波器件和光电集成电路的重要半导体材料。为了能够提高磷化铟生长材料的质量，改善其电学性质，研究和控制磷化铟单晶生长和热处理过程所产生的缺陷是一条重要的途径。近几年来，高温退火处理方法被用于降低磷化铟单晶中的残留热应力、改善晶片的电学均匀性和制备半绝缘磷化铟材料。
根据磷化铟晶体生长需求，烘烤炉在温度和时间上要求严苛，需要专门设计烘烤炉以满足所需的精度的要求，以获得高质量的磷化铟生长材料。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种磷化铟生长材料所需烘烤炉，以获得高质量的磷化铟生长材料。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：提供一种磷化铟生长材料烘烤炉，包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。所述烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套升温时盖紧，降温时打开，可节省生产时间；夹套外壁由不锈钢制作；夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，加热棒为石墨电阻加热棒，其通过绝缘陶瓷件平行均匀排列固定在夹套内壁；石墨电阻加热棒分8组，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制；石墨电阻加热棒的粗细、长短可根据炉体最高加热温度和炉体大小确定；不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，以起保温作用。所述石英管一端封口，另一端开口，与真空抽取系统连接时能将烤出来的副产物和杂质能及时的排出。
本实用新型的有益效果是：提供的磷化铟生长材料烘烤炉控温精准，升降温速度快，使生产时间大为降低。而且以一端封口石英管作为炉腔，使炉腔系统密封性得到保证，与真空抽取系统连接时能将烤出来的副产物和杂质能及时的排出，使磷化铟生长材料的质量得到保证。
附图说明
附图是本实用新型的结构示意图。
图中：外套1、加热棒2、石英管3、绝缘陶瓷件4。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
参见附图，本实用新型包括：包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。所述烘烤炉外套1由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套升温时盖紧，降温时打开，可节省生产时间；夹套外壁由不锈钢制作；夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，加热棒2为石墨电阻加热棒，其通过绝缘陶瓷件4平行均匀排列固定在夹套内壁；石墨电阻加热棒分8组，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制；石墨电阻加热棒的粗细、长短可根据炉体最高加热温度和炉体大小确定；不锈钢外表与绝缘陶瓷件4之间填充有隔热材料，以起保温作用。所述石英管3一端封口，以便与真空抽取系统连接。

Claims (1)

1.一种磷化铟生长材料烘烤炉，其特征在于：所述烘烤炉包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，石英管一端封口，另一端开口。
CN 201220559404 2012-10-29 2012-10-29 一种磷化铟生长材料烘烤炉 Expired - Lifetime CN202968759U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220559404 CN202968759U (zh) 2012-10-29 2012-10-29 一种磷化铟生长材料烘烤炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220559404 CN202968759U (zh) 2012-10-29 2012-10-29 一种磷化铟生长材料烘烤炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202968759U true CN202968759U (zh) 2013-06-05

Family

ID=48509859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220559404 Expired - Lifetime CN202968759U (zh) 2012-10-29 2012-10-29 一种磷化铟生长材料烘烤炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202968759U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103774238A (zh) * 2014-02-20 2014-05-07 北京七星华创电子股份有限公司 热处理装置
US10432134B2 (en) 2013-05-31 2019-10-01 Dow Global Technologies Llc Support structure for solar module

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10432134B2 (en) 2013-05-31 2019-10-01 Dow Global Technologies Llc Support structure for solar module
CN103774238A (zh) * 2014-02-20 2014-05-07 北京七星华创电子股份有限公司 热处理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106868584B (zh) 一种单晶炉用电阻加热器及使用该电阻加热器制备硅单晶的方法
CN110514004A (zh) 一种难熔高熵合金的定向凝固熔炼设备及熔炼方法
CN206157273U (zh) 一种新型单晶炉
CN202968759U (zh) 一种磷化铟生长材料烘烤炉
CN102039370B (zh) 大型石膏型精密铸造的铸型制造方法
CN202898593U (zh) 一种改进的单晶炉热屏导流筒
CN104264213A (zh) 一种大尺寸掺杂蓝宝石晶体的efg生长装置及其生长工艺
CN206666673U (zh) 一种多工位坩埚下降炉
CN204251771U (zh) 一种蓝宝石晶体生长装置
CN102254621A (zh) 一种内锡法Nb3Sn超导线的热处理方法
CN204959088U (zh) 一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构
CN203420008U (zh) 一种熔体长晶用真空炉
CN103614772A (zh) 一种多晶硅铸锭加热方法及应用该方法的多晶硅铸锭炉
CN201933198U (zh) 化合物半导体加热装置
CN202971119U (zh) 一种抽真空系统装置
CN102795620B (zh) 一种用于生产高纯石墨的加压焙烧炉
CN201901727U (zh) 一种密闭式单晶炉热场系统
CN104294362A (zh) 大尺寸方形氟化钙晶体的制备方法
CN104264214A (zh) 一种导模法生长铽镓石榴石晶体的生长装置及其生长工艺
CN204461936U (zh) 一种玻璃密度仪
CN201952483U (zh) 一种铜材退火管
CN103243386A (zh) 一种多晶硅铸锭炉系统
CN107021606A (zh) 连熔法生产光纤用外套管的方法
CN204373385U (zh) 微波熔铝装置
CN204550792U (zh) 一种新型单晶炉

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20130605

CX01 Expiry of patent term