CN203916411U - 一种吸附柱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种吸附柱，包括吸附柱柱体，所述吸附柱柱体内部设有芯部，该吸附柱还包括微波加热磁控管，所述微波加热磁控管的一端设置在所述芯部，其另一端从所述吸附柱柱体的外壁中伸出。该吸附柱能保证吸附柱芯部上的吸附剂的温度上升速度均匀。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产领域，涉及一种吸附柱，具体是一种多晶硅尾气回收用的吸附柱。
背景技术
在多晶硅生产过程中，由还原尾气回收工序向还原车间提供合格的氢气，而对氢气的吸附情况会直接影响回收氢气的品质。
多晶硅尾气回收系统具体是通过吸附柱完成对尾气的提纯，为下一步的回收利用提供纯度较高的氢气，而氢气的质量将直接影响还原炉硅棒的生成，对提高还原炉的收率起着至关重要的作用。
在传统的吸附柱中，内盘管水路管线及外盘管水路管线在吸附柱内部的上部及下部的换热面积是相同的，在吸附剂的活化过程中，吸附剂的温度上升速度不均匀，其中吸附柱内部的下部温度上升速度较慢，而吸附柱内部的上部温度上升速度较快，导致吸附柱中的吸附剂的活化过程时间延长，从而降低了吸附柱的使用效率，降低了吸附柱的处理能力，进而制约了多晶硅的产量。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种吸附柱，该吸附柱能保证其芯部上的整体吸附剂的温度上升速度均匀。
解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：该吸附柱包括吸附柱柱体，所述吸附柱柱体内部设有芯部，其中，该吸附柱还包括微波加热磁控管，所述微波加热磁控管的一端设置在所述芯部，其另一端从所述吸附柱柱体的外壁中伸出。
优选的是，所述微波加热磁控管采用多个，多个微波加热磁控管在吸附柱柱体的外壁上排列为一列或平行的多列。
优选的是，所述微波加热磁控管位于吸附柱柱体外壁的中下部，以加快吸附柱下部的加热速度。
优选的是，所述微波加热磁控管位于吸附柱柱体的外壁高度的60%以下的位置。
进一步优选的是，所述微波加热磁控管与吸附柱柱体之间的倾斜角为30°～60°，从而可使微波加热面积最大化。
更优选的是，所述吸附柱柱体的外壁上设置有微波折射板，所述微波折射板的位置与所述微波加热磁控管的位置相应，从而可加大微波的利用效率。
优选的是，所述吸附柱柱体内还设有芯部管线，所述芯部管线设于吸附柱柱体的芯部位置上。
优选的是，所述吸附柱柱体外还设有外盘管水路管线，所述外盘管水路管线设置在吸附柱柱体的外壁上。
优选的是，所述吸附柱柱体内还设有内盘管水路管线，所述内盘管水路管线设置在芯部管线和外盘管水路管线之间。
本实用新型通过在吸附柱中增设新的加热结构，即增设微波加热磁控管，以用于对吸附柱柱体的中下部额外进行单独加热，可使得吸附剂在活化过程中，吸附柱柱体内部的吸附剂的温度上升速度保持均匀，从而可缩短吸附剂的活化时间，提高吸附柱的处理能力，并提高了吸附柱的使用效率，最终可以提高多晶硅的产量。
附图说明
图1是本实用新型实施例2中吸附柱的结构示意图。
图中：1-氢气进口管线；2-氢气出口管线；3-芯部进水管线；4-芯部出水管线；5-内盘管水路进口管线；6-内盘管水路出口管线；7-外盘管水路进口管线；8-外盘管水路出口管线；9-吸附柱柱体；10-微波加热磁控管；11-微波折射板。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种吸附柱，其包括吸附柱柱体，所述吸附柱柱体内部设有芯部，该吸附柱还包括用于对吸附柱柱体的中下部单独进行加热的加热结构，所述加热结构具体可采用微波加热磁控管，所述微波加热磁控管的一端设置在所述芯部，其另一端从所述吸附柱柱体的外壁中伸出。
实施例2：
如图1所示，本实施例中提供的吸附柱包括吸附柱柱体9，吸附柱柱体9内设有芯部，所述芯部设于吸附柱柱体的中心位置。该吸附柱还包括有微波加热磁控管10。吸附柱柱体9的外壁上设有开口，微波加热磁控管10的一端设置在所述芯部，其另一端从吸附柱柱体的外壁中伸出。
其中，微波加热磁控管10具体是对吸附柱柱体9进行加热，即将电能转化为微波，并直接作用于被加热物体，以使吸附柱柱体内部的下部温度得到快速上升（具体可由20℃上升至120℃以上），从而保证吸附柱的芯部的吸附剂的温度上升速度均匀。
优选地，微波加热磁控管10与吸附柱柱体9之间的倾斜角为30°～60°，从而可使微波加热面积最大化。
优选地，微波加热磁控管10采用多个，多个微波加热磁控管10在吸附柱柱体的外壁上排列为一列或平行的多列。
优选地，多个微波加热磁控管10位于吸附柱柱体外壁的中下部，以加快吸附柱下部的加热速度。具体来说，微波加热磁控管10位于吸附柱柱体的外壁高度的60%以下的位置。
优选地，所述吸附柱柱体的外壁上设置有微波折射板11，微波折射板11在吸附柱柱体外壁上的位置与微波加热磁控管10的位置相应，从而可加大微波的利用效率。因此，微波折射板11上与吸附柱柱体上的开口对应的位置设有对应口，以使得微波加热磁控管10能从微波折射板11上的对应口中伸出。
优选地，所述吸附柱柱体9内还设有氢气进口管线1和氢气出口管线2，所述氢气进口管线1设置在吸附柱柱体的下部，氢气出口管线2设置在吸附柱柱体的顶部。
优选地，所述吸附柱柱体内还设有芯部管线，所述芯部管线包括芯部进水管线3和芯部出水管线4，所述芯部进水管线3和芯部出水管线4设置在吸附柱柱体的芯部位置上。
优选地，所述吸附柱柱体外还设有外盘管水路管线，所述外盘管水路管线包括外盘管水路进口管线7和外盘管水路出口管线8，所述外盘管水路进口管线7和外盘管水路出口管线8设置在吸附柱柱体的外壁上，并处于吸附柱柱体的外壁与微波折射板11之间。
优选的是，所述吸附柱柱体内还设有内盘管水路管线，所述内盘管水路管线包括内盘管水路进口管线5和内盘管水路出口管线6，所述内盘管水路进口管线5和内盘管水路出口管线6设置在芯部管线和外盘管水路管线之间。
其中，芯部管线、内盘管水路管线以及外盘管水路管线均用于给所述芯部加热。
通过采用本实施例中的吸附柱，从而缩短了吸附剂的活化时间，提高了吸附柱的处理能力，即提高了吸附柱的使用效率，最终提高了多晶硅的产量。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种吸附柱，包括吸附柱柱体，所述吸附柱柱体内部设有芯部，其特征在于，该吸附柱还包括微波加热磁控管，所述微波加热磁控管的一端设置在所述芯部，其另一端从所述吸附柱柱体的外壁中伸出。
2.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，所述微波加热磁控管采用多个，多个微波加热磁控管在吸附柱柱体的外壁上排列为一列或平行的多列。
3.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，所述微波加热磁控管位于吸附柱柱体外壁的中下部。
4.根据权利要求3所述的吸附柱，其特征在于，所述微波加热磁控管位于吸附柱柱体的外壁高度的60%以下的位置。
5.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，所述微波加热磁控管与吸附柱柱体之间的倾斜角为30°～60°。
6.根据权利要求1～5任一项所述的吸附柱，其特征在于，所述吸附柱柱体的外壁上设置有微波折射板，所述微波折射板的位置与所述微波加热磁控管的位置相应。
7.根据权利要求6所述的吸附柱，其特征在于，所述吸附柱柱体内还设有芯部管线，所述芯部管线设于吸附柱柱体的芯部位置上。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN106512644A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-03-22 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 | 用于电子级多晶硅尾气纯化的多层吸附塔 |
| CN110354636A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-10-22 | 四川远方高新装备零部件股份有限公司 | 一种变压吸附分离柱及其电控系统 |
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